NanoX-80003D輪(lun)廓(kuo)測(ce)量(liang)(liang)(liang)主(zhu)要(yao)技(ji)術(shu)參數3D測(ce)量(liang)(liang)(liang)主(zhu)要(yao)技(ji)術(shu)指標(biao)（1）：測(ce)量(liang)(liang)(liang)模(mo)式(shi)：PSI+VSI+CSIZ軸測(ce)量(liang)(liang)(liang)范圍(wei)：大行程PZT掃(sao)描(miao)（300um標(biao)配(pei)/500um選配(pei)）10mm精(jing)(jing)密電(dian)(dian)機(ji)(ji)拓展(zhan)掃(sao)描(miao)CCD相機(ji)(ji)：1920x1200高(gao)速(su)相機(ji)(ji)（標(biao)配(pei)）干涉物(wu)(wu)鏡：（標(biao)配(pei)）,20X,50X,100X(NIKON)物(wu)(wu)鏡切換：5孔電(dian)(dian)動(dong)(dong)鼻切換FOV：1100x700um(10X物(wu)(wu)鏡),220x140um(50X物(wu)(wu)鏡)Z軸聚焦(jiao)：高(gao)精(jing)(jing)密直(zhi)線(xian)平臺(tai)(tai)自動(dong)(dong)聚焦(jiao)照明系統：高(gao)效長壽(shou)白光LED+濾色(se)鏡片電(dian)(dian)動(dong)(dong)切換（綠(lv)色(se)/藍(lan)色(se)）傾斜調節(jie)(jie)：±5°電(dian)(dian)動(dong)(dong)調節(jie)(jie)橫(heng)向分(fen)辨率：≥μm（與所(suo)配(pei)物(wu)(wu)鏡有關）3D測(ce)量(liang)(liang)(liang)主(zhu)要(yao)技(ji)術(shu)指標(biao)（2）：垂直(zhi)掃(sao)描(miao)速(su)度：PSI:<10s，VSI/CSI：<38um/s高(gao)度測(ce)量(liang)(liang)(liang)范圍(wei)：–10mm表面反射(she)率：>(1σ)臺(tai)(tai)階高(gao)重復性：(1σ)VSI/CSI：垂直(zhi)分(fen)辨率<(1σ，10um臺(tai)(tai)階高(gao))。產能(neng) : 45s/點(dian) （移動(dong)(dong) + 聚焦(jiao) + 測(ce)量(liang)(liang)(liang)）（掃(sao)描(miao)范圍(wei) 50um）。中端輪(lun)廓(kuo)儀服務為先

輪廓(kuo)儀(yi)(yi)是(shi)一種兩坐(zuo)標測(ce)量(liang)儀(yi)(yi)器(qi)，儀(yi)(yi)器(qi)傳感器(qi)相對被(bei)測(ce)工件(jian)表(biao)而(er)作勻速(su)滑行，傳感器(qi)的(de)(de)(de)(de)觸針(zhen)感受到(dao)被(bei)測(ce)表(biao)而(er)的(de)(de)(de)(de)幾(ji)何變化，在(zai)X和Z方向分(fen)(fen)別采樣(yang)，并轉換(huan)成(cheng)電(dian)信(xin)(xin)號，該(gai)電(dian)信(xin)(xin)號經放大和處理(li)，再轉換(huan)成(cheng)數字(zi)信(xin)(xin)號儲存在(zai)計算(suan)機系(xi)統的(de)(de)(de)(de)存儲器(qi)中，計算(suan)機對原始表(biao)而(er)輪廓(kuo)進行數字(zi)濾(lv)波，分(fen)(fen)離掉表(biao)而(er)粗(cu)(cu)(cu)糙度(du)(du)成(cheng)分(fen)(fen)后再進行計算(suan)，測(ce)量(liang)結(jie)(jie)果(guo)為(wei)計算(suan)出的(de)(de)(de)(de)符(fu)介某種曲線的(de)(de)(de)(de)實際值及其離基準點(dian)的(de)(de)(de)(de)坐(zuo)標，或放大的(de)(de)(de)(de)實際輪廓(kuo)曲線，測(ce)量(liang)結(jie)(jie)果(guo)通(tong)(tong)過顯示器(qi)輸(shu)出，也可(ke)由(you)打印機輸(shu)出。（來(lai)自網絡）輪廓(kuo)儀(yi)(yi)在(zai)集成(cheng)電(dian)路(lu)的(de)(de)(de)(de)應用：封磚(zhuan)Bump測(ce)量(liang)視場：72*96（um）物鏡(jing)(jing)：干涉50X檢(jian)(jian)測(ce)位置：樣(yang)品(pin)局部面減薄(bo)表(biao)面粗(cu)(cu)(cu)糙度(du)(du)分(fen)(fen)析封裝：300mm硅片背面減薄(bo)表(biao)面粗(cu)(cu)(cu)糙度(du)(du)分(fen)(fen)析面粗(cu)(cu)(cu)糙度(du)(du)分(fen)(fen)析：2D,3D顯示；線粗(cu)(cu)(cu)糙度(du)(du)分(fen)(fen)析：Ra,Ry，Rz，…器(qi)件(jian)多層(ceng)結(jie)(jie)構(gou)臺階(jie)高MEMS器(qi)件(jian)多層(ceng)結(jie)(jie)構(gou)分(fen)(fen)析、工藝控制參(can)數分(fen)(fen)析激光隱(yin)形切(qie)割(ge)工藝控制世界微一的(de)(de)(de)(de)能(neng)夠實現激光槽寬度(du)(du)、深度(du)(du)自動(dong)識別和數據自動(dong)生成(cheng)，大達地縮短(duan)了激光槽工藝在(zai)線檢(jian)(jian)測(ce)的(de)(de)(de)(de)時間(jian)，避免(mian)人工操作帶來(lai)的(de)(de)(de)(de)一致性。安徽輪廓(kuo)儀(yi)(yi)代理(li)商白(bai)光干涉系(xi)統基于無限遠顯微鏡(jing)(jing)系(xi)統，通(tong)(tong)過干涉物鏡(jing)(jing)產生干涉條紋，使基本的(de)(de)(de)(de)光學顯微鏡(jing)(jing)系(xi)統變為(wei)白(bai)光干涉儀(yi)(yi)。

1）白光(guang)輪廓儀的(de)(de)(de)(de)典型(xing)應(ying)用(yong)：對(dui)各種(zhong)產品，不(bu)見和(he)(he)(he)材料表(biao)(biao)面(mian)(mian)(mian)的(de)(de)(de)(de)平(ping)面(mian)(mian)(mian)度(du)，粗糙度(du)，波溫度(du)，面(mian)(mian)(mian)型(xing)輪廓，表(biao)(biao)面(mian)(mian)(mian)缺陷(xian)，磨(mo)損情(qing)況(kuang)(kuang)，腐蝕情(qing)況(kuang)(kuang)，孔隙間隙，臺階高度(du)，完(wan)全變形(xing)情(qing)況(kuang)(kuang)，加工(gong)情(qing)況(kuang)(kuang)等表(biao)(biao)面(mian)(mian)(mian)形(xing)貌特征進行測量和(he)(he)(he)分析(xi)。2）共聚焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)顯(xian)(xian)微鏡(jing)(jing)(jing)方法共聚焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)顯(xian)(xian)微鏡(jing)(jing)(jing)包(bao)括LED光(guang)源、旋轉多(duo)(duo)珍孔盤(pan)、帶有壓電驅動器的(de)(de)(de)(de)物鏡(jing)(jing)(jing)和(he)(he)(he)CCD相機(ji)。LED光(guang)源通過(guo)多(duo)(duo)珍孔盤(pan)（MPD）和(he)(he)(he)物鏡(jing)(jing)(jing)聚焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)到樣(yang)品表(biao)(biao)面(mian)(mian)(mian)上(shang)(shang)，從而反射(she)光(guang)。反射(she)光(guang)通過(guo)MPD的(de)(de)(de)(de)珍孔減小到聚焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)的(de)(de)(de)(de)部分落在(zai)(zai)(zai)CCD相機(ji)上(shang)(shang)。傳統(tong)光(guang)學顯(xian)(xian)微鏡(jing)(jing)(jing)的(de)(de)(de)(de)圖(tu)(tu)像(xiang)(xiang)(xiang)包(bao)含清(qing)晰和(he)(he)(he)模糊的(de)(de)(de)(de)細(xi)節，但是(shi)在(zai)(zai)(zai)共焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)圖(tu)(tu)像(xiang)(xiang)(xiang)中，通過(guo)多(duo)(duo)珍孔盤(pan)的(de)(de)(de)(de)操(cao)作(zuo)濾除模糊細(xi)節（未聚焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)），只有來自聚焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)平(ping)面(mian)(mian)(mian)的(de)(de)(de)(de)光(guang)到達CCD相機(ji)。因(yin)此，共聚焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)顯(xian)(xian)微鏡(jing)(jing)(jing)能夠(gou)在(zai)(zai)(zai)納米范圍內(nei)(nei)獲得高分辨率。每個(ge)共焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)圖(tu)(tu)像(xiang)(xiang)(xiang)是(shi)通過(guo)樣(yang)品的(de)(de)(de)(de)形(xing)貌的(de)(de)(de)(de)水(shui)平(ping)切片，在(zai)(zai)(zai)不(bu)同的(de)(de)(de)(de)焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)點高度(du)捕獲圖(tu)(tu)像(xiang)(xiang)(xiang)產生這樣(yang)的(de)(de)(de)(de)圖(tu)(tu)像(xiang)(xiang)(xiang)的(de)(de)(de)(de)堆(dui)疊(die)，共焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)顯(xian)(xian)微鏡(jing)(jing)(jing)通過(guo)壓電驅動器和(he)(he)(he)物鏡(jing)(jing)(jing)的(de)(de)(de)(de)精確垂直位(wei)移來實現。200到400個(ge)共焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)圖(tu)(tu)像(xiang)(xiang)(xiang)通常(chang)在(zai)(zai)(zai)幾秒內(nei)(nei)被捕獲，之后(hou)軟(ruan)件從共焦(jiao)(jiao)(jiao)(jiao)圖(tu)(tu)像(xiang)(xiang)(xiang)的(de)(de)(de)(de)堆(dui)棧重建精確的(de)(de)(de)(de)三維高度(du)圖(tu)(tu)像(xiang)(xiang)(xiang)。

隨著時代的(de)(de)(de)(de)(de)(de)發展(zhan)，輪(lun)(lun)(lun)廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)儀(yi)也(ye)越來(lai)重要了(le)，不(bu)少(shao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)產品檢(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)都需要通過(guo)(guo)輪(lun)(lun)(lun)廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)儀(yi)進行檢(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)，金日就讓我們來(lai)了(le)解一下輪(lun)(lun)(lun)廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)儀(yi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)工(gong)(gong)作原理(li)與應用吧。輪(lun)(lun)(lun)廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)儀(yi)工(gong)(gong)作原理(li)輪(lun)(lun)(lun)廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)儀(yi)是一種雙坐(zuo)標測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)儀(yi)器。儀(yi)器傳感器相對于測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)工(gong)(gong)件臺以(yi)恒定(ding)速度(du)滑動。傳感器的(de)(de)(de)(de)(de)(de)觸針(zhen)檢(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)儀(yi)表的(de)(de)(de)(de)(de)(de)幾何變化，并(bing)分別在X和(he)Z方(fang)向上對其(qi)(qi)進行采樣(yang)，并(bing)將其(qi)(qi)轉換為(wei)電信號。電信號被放(fang)大和(he)處理(li)，然(ran)后轉換成數(shu)(shu)字信號并(bing)存儲(chu)在計(ji)算(suan)機(ji)(ji)(ji)系統的(de)(de)(de)(de)(de)(de)存儲(chu)器中(zhong)。計(ji)算(suan)機(ji)(ji)(ji)以(yi)數(shu)(shu)字方(fang)式過(guo)(guo)濾原始表格的(de)(de)(de)(de)(de)(de)輪(lun)(lun)(lun)廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)，分離表面并(bing)計(ji)算(suan)粗(cu)糙(cao)度(du)分量(liang)(liang)，測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)結(jie)果為(wei)計(ji)算(suan)符號。某個曲(qu)線(xian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)實際值及(ji)其(qi)(qi)與參考點(dian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)坐(zuo)標，或放(fang)大的(de)(de)(de)(de)(de)(de)實際輪(lun)(lun)(lun)廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)曲(qu)線(xian)。測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)結(jie)果通過(guo)(guo)顯示(shi)器輸出(chu)，也(ye)可以(yi)由打印機(ji)(ji)(ji)輸出(chu)。輪(lun)(lun)(lun)廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)儀(yi)應用輪(lun)(lun)(lun)廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)儀(yi)廣范用于機(ji)(ji)(ji)械加工(gong)(gong)、汽(qi)(qi)車(che)、摩(mo)(mo)托車(che)、精(jing)密(mi)五金、精(jing)密(mi)工(gong)(gong)具、刀 具、模具、光學(xue)元(yuan)件等(deng)行業(ye)適(shi)用于研究機(ji)(ji)(ji)構、大學(xue)、計(ji)量(liang)(liang)機(ji)(ji)(ji)構和(he)企業(ye)計(ji)量(liang)(liang)室。在汽(qi)(qi)車(che)，摩(mo)(mo)托車(che)和(he)制冷行業(ye)，它可以(yi)測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)活塞，活塞銷，齒輪(lun)(lun)(lun)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)總線(xian)參數(shu)(shu)和(he)汽(qi)(qi)車(che)，摩(mo)(mo)托車(che)和(he)壓縮機(ji)(ji)(ji)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)閥門(men)柱塞，可以(yi)測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)各種傾(qing)斜部(bu)件的(de)(de)(de)(de)(de)(de)參數(shu)(shu)。在軸承工(gong)(gong)業(ye)中(zhong)，內(nei)護(hu)套(tao)環的(de)(de)(de)(de)(de)(de)密(mi)封槽的(de)(de)(de)(de)(de)(de)形狀（角度(du)，倒角R，槽深，槽寬(kuan)等(deng)）；各種滾子軸承的(de)(de)(de)(de)(de)(de)滾子和(he)套(tao)圈母線(xian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)冠(guan)部(bu)，角度(du)和(he)對數(shu)(shu)曲(qu)線(xian)；電機(ji)(ji)(ji)軸，圓柱銷，活塞銷，滾針(zhen)軸承，圓柱滾子軸承。NanoX-8000隔振(zhen)系統：集(ji)成氣浮隔振(zhen) + 大理(li)石基(ji)石。

NanoX-8000系(xi)(xi)統(tong)(tong)(tong)主要性能(neng)?菜單式(shi)(shi)系(xi)(xi)統(tong)(tong)(tong)設置，一鍵式(shi)(shi)操(cao)作，自(zi)動數(shu)(shu)據存(cun)儲?一鍵式(shi)(shi)系(xi)(xi)統(tong)(tong)(tong)校(xiao)準?支持連接MES系(xi)(xi)統(tong)(tong)(tong)，數(shu)(shu)據可導入SPC?具(ju)備異常(chang)(chang)報警，急停等功能(neng)，報警信息可儲存(cun)?MTBF≥1500hrs?產(chan)能(neng):45s/點（移動+聚(ju)焦+測(ce)量(liang)）（掃描范(fan)圍(wei)50um）?具(ju)備Globalalignment&Unitalignment?自(zi)動聚(ju)焦范(fan)圍(wei)：±0.3mm?XY運動速度蕞(zui)快表(biao)面(mian)(mian)(mian)三維(wei)微(wei)觀(guan)形貌(mao)(mao)測(ce)量(liang)的(de)(de)意義在生產(chan)中(zhong)，表(biao)面(mian)(mian)(mian)三維(wei)微(wei)觀(guan)形貌(mao)(mao)對(dui)工(gong)程(cheng)零件的(de)(de)許(xu)多技(ji)術性能(neng)的(de)(de)評家具(ju)有蕞(zui)直接的(de)(de)影響，而(er)(er)且(qie)表(biao)面(mian)(mian)(mian)三維(wei)評定參數(shu)(shu)由于能(neng)更(geng)權面(mian)(mian)(mian)，更(geng)真實的(de)(de)反應零件表(biao)面(mian)(mian)(mian)的(de)(de)特征(zheng)及衡量(liang)表(biao)面(mian)(mian)(mian)的(de)(de)質量(liang)而(er)(er)越(yue)來越(yue)受(shou)到重視，因此(ci)表(biao)面(mian)(mian)(mian)三維(wei)微(wei)觀(guan)形貌(mao)(mao)的(de)(de)測(ce)量(liang)就(jiu)越(yue)顯重要。通(tong)過兌(dui)三維(wei)形貌(mao)(mao)的(de)(de)測(ce)量(liang)可以比較權面(mian)(mian)(mian)的(de)(de)評定表(biao)面(mian)(mian)(mian)質量(liang)的(de)(de)優劣，進而(er)(er)確(que)認(ren)加工(gong)方法(fa)的(de)(de)好壞以及設計要求的(de)(de)合理性，這樣就(jiu)可以反過來通(tong)過知道加工(gong)，優化加工(gong)工(gong)藝以及加工(gong)出(chu)高質量(liang)的(de)(de)表(biao)面(mian)(mian)(mian)，確(que)保零件使用功能(neng)的(de)(de)實現。表(biao)面(mian)(mian)(mian)三位微(wei)觀(guan)形貌(mao)(mao)的(de)(de)此(ci)類昂方法(fa)非常(chang)(chang)豐富，通(tong)常(chang)(chang)可分為(wei)接觸(chu)(chu)時和(he)非接觸(chu)(chu)時兩(liang)種，其中(zhong)以非接觸(chu)(chu)式(shi)(shi)測(ce)量(liang)方法(fa)為(wei)主。在共焦圖(tu)像中(zhong)，通(tong)過多珍孔盤的(de)(de)操(cao)作濾(lv)除模糊細節（未聚(ju)焦），只(zhi)有來自(zi)聚(ju)焦平面(mian)(mian)(mian)的(de)(de)光(guang)到達(da)CCD相機(ji)。自(zi)動測(ce)量(liang)輪廓(kuo)儀(yi)試用

共聚(ju)焦(jiao)顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuan)多珍孔盤、帶(dai)有(you)壓電驅(qu)動(dong)器的(de)物鏡和CCD相機。中端輪廓儀服務為先

我(wo)們的(de)輪廓儀有什(shen)么(me)優勢呢(ni)世(shi)界先進水平的(de)產品(pin)技術(shu)合(he)理(li)的(de)產品(pin)價(jia)格24小時到(dao)(dao)(dao)現(xian)場(chang)的(de)本(ben)地化售后服(fu)(fu)務無(wu)償產品(pin)技術(shu)培訓和(he)應用技術(shu)支持個(ge)性化的(de)應用軟件服(fu)(fu)務支持合(he)理(li)的(de)保質期(qi)后產品(pin)服(fu)(fu)務更佳的(de)產品(pin)性價(jia)比和(he)更優解(jie)決(jue)方案非(fei)接(jie)觸式輪廓儀（光學(xue)輪廓儀）是以(yi)白(bai)光干涉(she)為原理(li)制成(cheng)的(de)一款高精度微(wei)(wei)觀(guan)形(xing)貌測量儀器，可測各類從(cong)超光滑到(dao)(dao)(dao)粗(cu)糙、低(di)反(fan)射(she)率到(dao)(dao)(dao)高反(fan)射(she)率的(de)物體表面，從(cong)納(na)米(mi)到(dao)(dao)(dao)微(wei)(wei)米(mi)級(ji)別工(gong)件的(de)粗(cu)糙度、平整度、微(wei)(wei)觀(guan)幾(ji)何輪廓、曲(qu)率等。（本(ben)段來自網絡(luo)）中端(duan)輪廓儀服(fu)(fu)務為先

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