激(ji)(ji)(ji)光(guang)位(wei)(wei)(wei)移(yi)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)技(ji)(ji)術(shu)發(fa)展(zhan)(zhan)路線始于(yu)上世(shi)紀，經(jing)過多(duo)年(nian)的(de)(de)(de)研(yan)究和(he)發(fa)展(zhan)(zhan)，如今已成為(wei)非(fei)接(jie)觸(chu)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)領(ling)域(yu)(yu)(yu)的(de)(de)(de)重(zhong)要(yao)(yao)手段(duan)。其主(zhu)要(yao)(yao)應(ying)用(yong)是測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)被測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)物(wu)體的(de)(de)(de)位(wei)(wei)(wei)移(yi)，具有結構小(xiao)巧、測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)速度(du)(du)快(kuai)、精(jing)度(du)(du)高(gao)(gao)、測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)光(guang)斑小(xiao)、抗干擾能力強和(he)非(fei)接(jie)觸(chu)式(shi)的(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)特(te)點，被廣泛(fan)應(ying)用(yong)于(yu)微(wei)位(wei)(wei)(wei)移(yi)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)領(ling)域(yu)(yu)(yu)。在(zai)激(ji)(ji)(ji)光(guang)位(wei)(wei)(wei)移(yi)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)發(fa)展(zhan)(zhan)歷程中，不斷有國內(nei)外(wai)學者致力于(yu)提高(gao)(gao)其性能，如提高(gao)(gao)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)精(jing)度(du)(du)、測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)速度(du)(du)等。近年(nian)來，借助于(yu)現(xian)代技(ji)(ji)術(shu)的(de)(de)(de)發(fa)展(zhan)(zhan)，激(ji)(ji)(ji)光(guang)位(wei)(wei)(wei)移(yi)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)不僅成為(wei)非(fei)接(jie)觸(chu)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)領(ling)域(yu)(yu)(yu)的(de)(de)(de)重(zhong)要(yao)(yao)手段(duan)，而且(qie)可(ke)以與計算機及應(ying)用(yong)軟(ruan)件配合實現(xian)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)數(shu)據實時處理，為(wei)工業生產制定(ding)相關決策提供幫助。激(ji)(ji)(ji)光(guang)位(wei)(wei)(wei)移(yi)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)應(ying)用(yong)領(ling)域(yu)(yu)(yu)不斷拓展(zhan)(zhan)與延伸(shen)，除了(le)(le)精(jing)確測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)物(wu)體的(de)(de)(de)位(wei)(wei)(wei)移(yi)、厚度(du)(du)、直(zhi)徑等幾(ji)何(he)量(liang)(liang)(liang)，還(huan)可(ke)對各(ge)類光(guang)學棱鏡的(de)(de)(de)厚度(du)(du)、角度(du)(du)進(jin)行快(kuai)速、精(jing)確檢測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)，并(bing)可(ke)通過掃描技(ji)(ji)術(shu)實現(xian)。其同(tong)步功能可(ke)用(yong)于(yu)差(cha)動測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)厚、測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)長等，特(te)別適用(yong)于(yu)工業自(zi)動化生產。目前，國際市場只有少數(shu)幾(ji)個發(fa)達國家(jia)擁有成熟的(de)(de)(de)激(ji)(ji)(ji)光(guang)位(wei)(wei)(wei)移(yi)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)產品，幾(ji)乎壟斷了(le)(le)此類產品的(de)(de)(de)市場。在(zai)國內(nei)，雖然有部(bu)分激(ji)(ji)(ji)光(guang)非(fei)接(jie)觸(chu)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)儀器(qi)(qi)的(de)(de)(de)生產廠家(jia)，但大部(bu)分仍(reng)需依靠國外(wai)進(jin)口。因此，如何(he)加強國內(nei)激(ji)(ji)(ji)光(guang)位(wei)(wei)(wei)移(yi)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)技(ji)(ji)術(shu)的(de)(de)(de)研(yan)究和(he)發(fa)展(zhan)(zhan)，實現(xian)自(zi)主(zhu)生產，是當前亟待解決的(de)(de)(de)問題。激(ji)(ji)(ji)光(guang)位(wei)(wei)(wei)移(yi)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)在(zai)微(wei)位(wei)(wei)(wei)移(yi)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)領(ling)域(yu)(yu)(yu)具有廣泛(fan)應(ying)用(yong)。閔行區位(wei)(wei)(wei)移(yi)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)工廠

壓縮機在(zai)(zai)承受載(zai)荷時會(hui)發生微(wei)小變(bian)(bian)(bian)形，變(bian)(bian)(bian)形的(de)(de)大小將(jiang)直接影響零部(bu)件之間的(de)(de)裝配(pei)以及余隙容積等，因(yin)此(ci)準(zhun)確(que)測(ce)(ce)試(shi)(shi)結構的(de)(de)變(bian)(bian)(bian)形對(dui)結構設計驗證至關(guan)重(zhong)要(yao)。測(ce)(ce)試(shi)(shi)與(yu)分(fen)(fen)析結構微(wei)變(bian)(bian)(bian)形的(de)(de)方法有(you)很多種(zhong)[1-8]，傳統(tong)常用(yong)的(de)(de)是千(qian)分(fen)(fen)表(biao)(biao)（如(ru)(ru)圖1所(suo)示）測(ce)(ce)試(shi)(shi)，通過(guo)機械探針接觸(chu)(chu)被測(ce)(ce)物(wu)體表(biao)(biao)面，讀(du)取表(biao)(biao)盤(pan)的(de)(de)指針獲得結構的(de)(de)變(bian)(bian)(bian)形量，該(gai)方法的(de)(de)精度(du)可以達到1um，但是千(qian)分(fen)(fen)表(biao)(biao)在(zai)(zai)使用(yong)過(guo)程(cheng)中存在(zai)(zai)一(yi)些(xie)缺(que)陷：首(shou)先，探針必須與(yu)被測(ce)(ce)物(wu)體接觸(chu)(chu)，而對(dui)某些(xie)復(fu)雜結構的(de)(de)待測(ce)(ce)表(biao)(biao)面，不(bu)太容易(yi)將(jiang)探針伸進去；其次，千(qian)分(fen)(fen)表(biao)(biao)是靠人(ren)工(gong)讀(du)數(shu)(shu)，當結構變(bian)(bian)(bian)形比較(jiao)快(kuai)時（如(ru)(ru)振動），人(ren)工(gong)讀(du)數(shu)(shu)是很難實現(xian)的(de)(de)。因(yin)此(ci)，在(zai)(zai)這(zhe)(zhe)樣的(de)(de)背景下，需要(yao)開發新的(de)(de)測(ce)(ce)試(shi)(shi)方法來(lai)解決這(zhe)(zhe)些(xie)問題。本文應用(yong)激光(guang)三(san)角(jiao)位(wei)移(yi)傳感器（如(ru)(ru)圖2所(suo)示）一(yi)套位(wei)移(yi)測(ce)(ce)試(shi)(shi)系(xi)統(tong)，該(gai)系(xi)統(tong)很好地解決了千(qian)分(fen)(fen)表(biao)(biao)存在(zai)(zai)的(de)(de)缺(que)陷，實現(xian)了非接觸(chu)(chu)式快(kuai)速測(ce)(ce)試(shi)(shi)，同時通過(guo)數(shu)(shu)據(ju)采集卡和(he)(he)軟(ruan)件系(xi)統(tong)可以快(kuai)速記錄測(ce)(ce)試(shi)(shi)數(shu)(shu)據(ju)，并(bing)且在(zai)(zai)軟(ruan)件里面快(kuai)速進行數(shu)(shu)據(ju)處理，提(ti)取有(you)價值(zhi)的(de)(de)信息(xi)。黃浦區位(wei)移(yi)傳感器的(de)(de)用(yong)途和(he)(he)特點(dian)根據(ju)測(ce)(ce)量方式，位(wei)移(yi)傳感器可分(fen)(fen)為(wei)接觸(chu)(chu)式和(he)(he)非接觸(chu)(chu)式。接觸(chu)(chu)式位(wei)移(yi)傳感器易(yi)受損，影響產(chan)品性能。

道(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)路(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)是交通運(yun)輸的(de)(de)(de)重(zhong)要組成(cheng)部分，其(qi)平(ping)整(zheng)度(du)(du)和(he)(he)(he)(he)(he)(he)(he)幾何形狀(zhuang)對(dui)行車安(an)全、行車舒(shu)適性(xing)、車輛燃(ran)油(you)經濟性(xing)等(deng)方面(mian)(mian)都(dou)有(you)著(zhu)重(zhong)要影(ying)響(xiang)。為(wei)了確保道(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)路(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)的(de)(de)(de)安(an)全和(he)(he)(he)(he)(he)(he)(he)舒(shu)適，需要對(dui)道(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)路(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)的(de)(de)(de)平(ping)整(zheng)度(du)(du)和(he)(he)(he)(he)(he)(he)(he)幾何形狀(zhuang)進(jin)行定期檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)和(he)(he)(he)(he)(he)(he)(he)維(wei)(wei)護(hu)(hu)。而激(ji)(ji)光位(wei)(wei)移傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器在(zai)道(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)路(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)領域中(zhong)的(de)(de)(de)應(ying)用(yong)，為(wei)道(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)路(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)的(de)(de)(de)檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)和(he)(he)(he)(he)(he)(he)(he)維(wei)(wei)護(hu)(hu)提供了更加準確和(he)(he)(he)(he)(he)(he)(he)高(gao)(gao)效(xiao)的(de)(de)(de)手段(duan)。激(ji)(ji)光位(wei)(wei)移傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器能(neng)(neng)夠(gou)(gou)快速(su)準確地測(ce)(ce)量道(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)路(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)表(biao)面(mian)(mian)的(de)(de)(de)高(gao)(gao)度(du)(du)和(he)(he)(he)(he)(he)(he)(he)形狀(zhuang)，能(neng)(neng)夠(gou)(gou)對(dui)道(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)路(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)表(biao)面(mian)(mian)的(de)(de)(de)高(gao)(gao)度(du)(du)差和(he)(he)(he)(he)(he)(he)(he)幾何形狀(zhuang)進(jin)行高(gao)(gao)精度(du)(du)的(de)(de)(de)測(ce)(ce)量和(he)(he)(he)(he)(he)(he)(he)分析。其(qi)測(ce)(ce)量過程不需要與道(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)路(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)表(biao)面(mian)(mian)接觸，不會對(dui)道(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)路(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)表(biao)面(mian)(mian)造成(cheng)任何損傷，同(tong)時還能(neng)(neng)夠(gou)(gou)克服(fu)傳(chuan)(chuan)(chuan)統方式中(zhong)受到環境影(ying)響(xiang)和(he)(he)(he)(he)(he)(he)(he)人為(wei)誤差等(deng)問題，并且能(neng)(neng)夠(gou)(gou)對(dui)道(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)路(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)表(biao)面(mian)(mian)的(de)(de)(de)高(gao)(gao)度(du)(du)和(he)(he)(he)(he)(he)(he)(he)形狀(zhuang)進(jin)行實時監測(ce)(ce)和(he)(he)(he)(he)(he)(he)(he)數(shu)據記錄，為(wei)道(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)路(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)建設和(he)(he)(he)(he)(he)(he)(he)維(wei)(wei)護(hu)(hu)提供了更加和(he)(he)(he)(he)(he)(he)(he)準確的(de)(de)(de)數(shu)據支(zhi)持。通過激(ji)(ji)光位(wei)(wei)移傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器進(jin)行道(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)路(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)的(de)(de)(de)檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)和(he)(he)(he)(he)(he)(he)(he)維(wei)(wei)護(hu)(hu)，能(neng)(neng)夠(gou)(gou)及時發現道(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)路(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)表(biao)面(mian)(mian)存在(zai)的(de)(de)(de)問題，并對(dui)其(qi)進(jin)行有(you)效(xiao)的(de)(de)(de)修復和(he)(he)(he)(he)(he)(he)(he)維(wei)(wei)護(hu)(hu)，從(cong)而提高(gao)(gao)道(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)路(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)的(de)(de)(de)使(shi)用(yong)壽命和(he)(he)(he)(he)(he)(he)(he)行車安(an)全性(xing)，降(jiang)低車輛燃(ran)油(you)經濟性(xing)損失和(he)(he)(he)(he)(he)(he)(he)交通事故發生率，為(wei)交通運(yun)輸的(de)(de)(de)安(an)全和(he)(he)(he)(he)(he)(he)(he)發展做出了重(zhong)要貢獻。總之(zhi)，激(ji)(ji)光位(wei)(wei)移傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器在(zai)道(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)路(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)領域中(zhong)的(de)(de)(de)應(ying)用(yong)，不僅提高(gao)(gao)了道(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)路(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)和(he)(he)(he)(he)(he)(he)(he)維(wei)(wei)護(hu)(hu)的(de)(de)(de)效(xiao)率和(he)(he)(he)(he)(he)(he)(he)精度(du)(du)，也為(wei)道(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)路(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)建設和(he)(he)(he)(he)(he)(he)(he)維(wei)(wei)護(hu)(hu)提供了更加準確和(he)(he)(he)(he)(he)(he)(he)的(de)(de)(de)數(shu)據支(zhi)持，是道(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)路(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)檢(jian)(jian)(jian)測(ce)(ce)和(he)(he)(he)(he)(he)(he)(he)維(wei)(wei)護(hu)(hu)領域中(zhong)不可或缺的(de)(de)(de)測(ce)(ce)量工具。

近年北京市(shi)軌道交通建設發展(zhan)迅速，截止目前(qian)運(yun)營線(xian)(xian)路已達19條，為及時掌握高架線(xian)(xian)路運(yun)行狀態，自2012年起(qi)北京地鐵陸(lu)續在5號線(xian)(xian)、13號線(xian)(xian)、八通線(xian)(xian)、機場線(xian)(xian)、亦莊(zhuang)線(xian)(xian)、房山線(xian)(xian)、昌平線(xian)(xian)和(he)15號線(xian)(xian)高架線(xian)(xian)路上安裝自動化監測(ce)系(xi)統，開展(zhan)對橋梁梁體(ti)的(de)(de)位(wei)(wei)(wei)移、裂(lie)(lie)縫(feng)、支座位(wei)(wei)(wei)移、梁體(ti)應力、撓度(du)(du)(du)(du)、環境(jing)溫度(du)(du)(du)(du)和(he)風(feng)力風(feng)向等(deng)參數的(de)(de)監測(ce)。位(wei)(wei)(wei)移是結構監測(ce)的(de)(de)重要參數之(zhi)一，在進行位(wei)(wei)(wei)移傳感(gan)器(qi)(qi)選型設計時，為避免接觸(chu)式(shi)位(wei)(wei)(wei)移傳感(gan)器(qi)(qi)存(cun)在的(de)(de)精度(du)(du)(du)(du)低、易磨損(sun)(sun)、長(chang)期穩定性差等(deng)缺(que)點，本(ben)文將激光(guang)(guang)位(wei)(wei)(wei)移傳感(gan)器(qi)(qi)用(yong)于梁體(ti)、支座位(wei)(wei)(wei)移和(he)結構微(wei)裂(lie)(lie)縫(feng)的(de)(de)測(ce)量。激光(guang)(guang)位(wei)(wei)(wei)移傳感(gan)器(qi)(qi)至(zhi)今(jin)少(shao)有本(ben)身質量出現(xian)異常或損(sun)(sun)壞的(de)(de)情況，取得了良好效果，為傳感(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)選型設計和(he)運(yun)行維(wei)修積累了經驗。激光(guang)(guang)位(wei)(wei)(wei)移傳感(gan)器(qi)(qi)具有結構小(xiao)巧、測(ce)量速度(du)(du)(du)(du)快、精度(du)(du)(du)(du)高等(deng)特(te)點。

激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)位(wei)(wei)(wei)移(yi)(yi)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)線性(xing)精(jing)(jing)(jing)度(du)參(can)數可(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)定義為(wei)其(qi)(qi)(qi)在(zai)所測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)位(wei)(wei)(wei)移(yi)(yi)范圍內的(de)(de)(de)(de)(de)誤(wu)差。該參(can)數可(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)通(tong)過(guo)(guo)一(yi)定的(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)試(shi)方(fang)(fang)法(fa)進行測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)和(he)(he)(he)(he)(he)(he)評估(gu)。為(wei)了(le)保證(zheng)測(ce)(ce)(ce)試(shi)結果的(de)(de)(de)(de)(de)準確性(xing)，通(tong)常需要(yao)使用(yong)(yong)高(gao)(gao)精(jing)(jing)(jing)度(du)的(de)(de)(de)(de)(de)標準位(wei)(wei)(wei)移(yi)(yi)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)或其(qi)(qi)(qi)他測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)設備作為(wei)參(can)照(zhao)，以(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)確保測(ce)(ce)(ce)試(shi)系統(tong)(tong)的(de)(de)(de)(de)(de)可(ke)(ke)(ke)重復(fu)性(xing)和(he)(he)(he)(he)(he)(he)精(jing)(jing)(jing)度(du)。測(ce)(ce)(ce)試(shi)方(fang)(fang)法(fa)可(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)采用(yong)(yong)多種方(fang)(fang)式，如標準偏差法(fa)、小(xiao)二(er)乘法(fa)、方(fang)(fang)差分析法(fa)等。通(tong)過(guo)(guo)對線性(xing)精(jing)(jing)(jing)度(du)參(can)數的(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)試(shi)和(he)(he)(he)(he)(he)(he)評估(gu)，可(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)有效(xiao)地(di)評估(gu)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)位(wei)(wei)(wei)移(yi)(yi)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)性(xing)能和(he)(he)(he)(he)(he)(he)可(ke)(ke)(ke)靠(kao)性(xing)，為(wei)其(qi)(qi)(qi)在(zai)實際應用(yong)(yong)中(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)優(you)化(hua)提供參(can)考依據。為(wei)了(le)優(you)化(hua)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)位(wei)(wei)(wei)移(yi)(yi)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)線性(xing)精(jing)(jing)(jing)度(du)參(can)數，需從多個方(fang)(fang)面(mian)進行考慮。首先(xian)，可(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)通(tong)過(guo)(guo)優(you)化(hua)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)源的(de)(de)(de)(de)(de)功率和(he)(he)(he)(he)(he)(he)波長(chang)，以(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)及優(you)化(hua)光(guang)(guang)(guang)(guang)路設計和(he)(he)(he)(he)(he)(he)光(guang)(guang)(guang)(guang)學(xue)元件的(de)(de)(de)(de)(de)選用(yong)(yong)來提高(gao)(gao)其(qi)(qi)(qi)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)精(jing)(jing)(jing)度(du)。其(qi)(qi)(qi)次(ci)，可(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)采用(yong)(yong)高(gao)(gao)精(jing)(jing)(jing)度(du)的(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)電轉換(huan)器(qi)(qi)和(he)(he)(he)(he)(he)(he)信號放大處(chu)理(li)電路來提高(gao)(gao)信號質量(liang)(liang)(liang)和(he)(he)(he)(he)(he)(he)抗(kang)干擾(rao)能力。另外，還可(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)通(tong)過(guo)(guo)改進激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)位(wei)(wei)(wei)移(yi)(yi)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)機(ji)械(xie)結構(gou)和(he)(he)(he)(he)(he)(he)控(kong)制系統(tong)(tong)，提高(gao)(gao)其(qi)(qi)(qi)穩定性(xing)和(he)(he)(he)(he)(he)(he)重復(fu)性(xing)。同時，在(zai)測(ce)(ce)(ce)試(shi)過(guo)(guo)程(cheng)中(zhong)，需要(yao)嚴格控(kong)制測(ce)(ce)(ce)試(shi)環(huan)境(jing)和(he)(he)(he)(he)(he)(he)測(ce)(ce)(ce)試(shi)條件，以(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)減小(xiao)外界(jie)干擾(rao)對測(ce)(ce)(ce)試(shi)結果的(de)(de)(de)(de)(de)影響，從而(er)提高(gao)(gao)測(ce)(ce)(ce)試(shi)的(de)(de)(de)(de)(de)準確性(xing)和(he)(he)(he)(he)(he)(he)可(ke)(ke)(ke)靠(kao)性(xing)。通(tong)過(guo)(guo)這些優(you)化(hua)措施，可(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)有效(xiao)地(di)提高(gao)(gao)激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)位(wei)(wei)(wei)移(yi)(yi)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)線性(xing)精(jing)(jing)(jing)度(du)參(can)數，使其(qi)(qi)(qi)更加適用(yong)(yong)于工業生(sheng)產和(he)(he)(he)(he)(he)(he)科學(xue)研究(jiu)領(ling)域的(de)(de)(de)(de)(de)高(gao)(gao)精(jing)(jing)(jing)度(du)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)需求。激(ji)(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)位(wei)(wei)(wei)移(yi)(yi)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)應用(yong)(yong)可(ke)(ke)(ke)以(yi)(yi)(yi)(yi)(yi)用(yong)(yong)于工業檢測(ce)(ce)(ce)、機(ji)器(qi)(qi)人導航、自動控(kong)制等領(ling)域。濰坊位(wei)(wei)(wei)移(yi)(yi)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)成本價

激光(guang)位移(yi)傳感器的(de)技術發展對于提高人類生活品質具有重要(yao)的(de)貢獻(xian)。閔行(xing)區位移(yi)傳感器工(gong)廠(chang)

激(ji)(ji)(ji)光(guang)位(wei)移(yi)傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)(de)系統特(te)點及研究意義是(shi)非常重要(yao)的(de)(de)。由于其具有一結構小(xiao)巧、測(ce)(ce)(ce)量速(su)度快、精度高(gao)、測(ce)(ce)(ce)量光(guang)斑小(xiao)、抗(kang)干擾能(neng)力強和(he)非接觸(chu)式的(de)(de)測(ce)(ce)(ce)量特(te)點，激(ji)(ji)(ji)光(guang)位(wei)移(yi)傳(chuan)感(gan)器(qi)廣泛應用(yong)于微位(wei)移(yi)測(ce)(ce)(ce)量領(ling)域。其測(ce)(ce)(ce)量原理是(shi)利(li)用(yong)激(ji)(ji)(ji)光(guang)單色和(he)準直特(te)性(xing)將垂直入射(she)測(ce)(ce)(ce)距面上的(de)(de)激(ji)(ji)(ji)光(guang)點通(tong)過(guo)光(guang)學(xue)系統將其縮小(xiao)的(de)(de)實(shi)像成像在接收光(guang)敏面上。通(tong)過(guo)計算光(guang)斑實(shi)際的(de)(de)位(wei)移(yi)大(da)小(xiao)，就可以實(shi)現對物件位(wei)移(yi)量的(de)(de)測(ce)(ce)(ce)量。激(ji)(ji)(ji)光(guang)位(wei)移(yi)傳(chuan)感(gan)器(qi)主要(yao)由激(ji)(ji)(ji)光(guang)發(fa)射(she)、光(guang)學(xue)成像系統、圖(tu)像傳(chuan)感(gan)器(qi)、驅動電(dian)路(lu)、信號放大(da)處理電(dian)路(lu)、單片(pian)機處理電(dian)路(lu)和(he)數據輸出部分組成。閔行區位(wei)移(yi)傳(chuan)感(gan)器(qi)工(gong)廠

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