根(gen)據以(yi)(yi)(yi)上分析可知，白(bai)光(guang)干(gan)涉時(shi)域解(jie)調方(fang)案的(de)(de)優點是(shi)：①能(neng)夠實現(xian)測(ce)量(liang)(liang)；②抗(kang)干(gan)擾(rao)能(neng)力(li)強，系統的(de)(de)分辨率(lv)(lv)與(yu)光(guang)源輸(shu)出功率(lv)(lv)的(de)(de)波(bo)(bo)動，光(guang)源的(de)(de)波(bo)(bo)長漂移(yi)(yi)以(yi)(yi)(yi)及外界環(huan)境對光(guang)纖的(de)(de)擾(rao)動等(deng)因素無關；③測(ce)量(liang)(liang)精(jing)度(du)與(yu)零級干(gan)涉條紋的(de)(de)確定(ding)精(jing)度(du)以(yi)(yi)(yi)及反射(she)鏡的(de)(de)精(jing)度(du)有關；④結構簡單，成本較(jiao)低。但(dan)是(shi)，時(shi)域解(jie)調方(fang)法(fa)需要借助(zhu)掃(sao)(sao)描部件(jian)移(yi)(yi)動干(gan)涉儀一端的(de)(de)反射(she)鏡來進(jin)行(xing)相位(wei)補償，所以(yi)(yi)(yi)掃(sao)(sao)描裝置的(de)(de)分辨率(lv)(lv)將(jiang)影響系統的(de)(de)精(jing)度(du)。采用這種解(jie)調方(fang)案的(de)(de)測(ce)量(liang)(liang)分辨率(lv)(lv)一般(ban)是(shi)幾個微米，達到(dao)亞(ya)微米的(de)(de)分辨率(lv)(lv)，主(zhu)要受機械掃(sao)(sao)描部件(jian)的(de)(de)分辨率(lv)(lv)和穩定(ding)性限(xian)(xian)制。文獻[46]所報道(dao)的(de)(de)位(wei)移(yi)(yi)掃(sao)(sao)描的(de)(de)分辨率(lv)(lv)可以(yi)(yi)(yi)達到(dao)0.54μm。當所測(ce)光(guang)程差較(jiao)小時(shi)，F-P腔前后表面干(gan)涉峰值相距很近，難以(yi)(yi)(yi)區分，此時(shi)時(shi)域解(jie)調方(fang)案的(de)(de)應用受到(dao)限(xian)(xian)制。白(bai)光(guang)干(gan)涉膜厚測(ce)量(liang)(liang)技(ji)術可以(yi)(yi)(yi)在不同(tong)環(huan)境下(xia)進(jin)行(xing)測(ce)量(liang)(liang)。萍鄉膜厚儀性價比高企業

靶(ba)(ba)(ba)丸(wan)殼(ke)層折射(she)率(lv)、厚(hou)(hou)度(du)及(ji)(ji)其(qi)分布(bu)參(can)數(shu)是激光(guang)慣性(xing)約束聚變（ICF）物理(li)(li)實驗中非常(chang)(chang)關鍵的(de)(de)(de)參(can)數(shu)，精密測(ce)量(liang)靶(ba)(ba)(ba)丸(wan)殼(ke)層折射(she)率(lv)、厚(hou)(hou)度(du)及(ji)(ji)其(qi)分布(bu)對ICF精密物理(li)(li)實驗研究(jiu)具有非常(chang)(chang)重要的(de)(de)(de)意義。由于靶(ba)(ba)(ba)丸(wan)尺寸微小（亞(ya)毫米量(liang)級(ji)）、結(jie)構特(te)殊（球形結(jie)構）、測(ce)量(liang)精度(du)要求高，如何實現(xian)靶(ba)(ba)(ba)丸(wan)殼(ke)層折射(she)率(lv)及(ji)(ji)其(qi)厚(hou)(hou)度(du)分布(bu)的(de)(de)(de)精密測(ce)量(liang)是靶(ba)(ba)(ba)參(can)數(shu)測(ce)量(liang)技術(shu)研究(jiu)中重要的(de)(de)(de)研究(jiu)內容。本論(lun)文針對靶(ba)(ba)(ba)丸(wan)殼(ke)層折射(she)率(lv)及(ji)(ji)厚(hou)(hou)度(du)分布(bu)的(de)(de)(de)精密測(ce)量(liang)需求，開展了基于白光(guang)干(gan)涉技術(shu)的(de)(de)(de)靶(ba)(ba)(ba)丸(wan)殼(ke)層折射(she)率(lv)及(ji)(ji)厚(hou)(hou)度(du)分布(bu)測(ce)量(liang)技術(shu)研究(jiu)。黑龍(long)江膜(mo)厚(hou)(hou)儀推薦白光(guang)干(gan)涉膜(mo)厚(hou)(hou)測(ce)量(liang)技術(shu)可以實現(xian)對不(bu)同材料的(de)(de)(de)薄膜(mo)進行測(ce)量(liang)。

為(wei)了分(fen)析白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)(fan)(fan)射(she)(she)光(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)范圍，開展了不同壁(bi)(bi)厚(hou)(hou)(hou)(hou)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)靶丸(wan)(wan)(wan)殼(ke)(ke)層(ceng)白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)(fan)(fan)射(she)(she)光(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)實(shi)(shi)驗。圖是(shi)不同殼(ke)(ke)層(ceng)厚(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)靶丸(wan)(wan)(wan)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)(fan)(fan)射(she)(she)光(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)曲線，如圖所示，對(dui)于(yu)殼(ke)(ke)層(ceng)厚(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)30μm的(de)(de)(de)(de)(de)(de)靶丸(wan)(wan)(wan)，其(qi)(qi)白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)(fan)(fan)射(she)(she)光(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)各(ge)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)峰(feng)(feng)非常密(mi)集、干(gan)涉級次數值大；此外，由于(yu)靶丸(wan)(wan)(wan)殼(ke)(ke)層(ceng)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)吸收，壁(bi)(bi)厚(hou)(hou)(hou)(hou)較(jiao)大的(de)(de)(de)(de)(de)(de)靶丸(wan)(wan)(wan)信(xin)號強度(du)相(xiang)(xiang)對(dui)較(jiao)弱。隨(sui)著靶丸(wan)(wan)(wan)殼(ke)(ke)層(ceng)厚(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)進(jin)一(yi)步增加，其(qi)(qi)白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)(fan)(fan)射(she)(she)光(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)各(ge)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)峰(feng)(feng)將更加密(mi)集，難以(yi)實(shi)(shi)現對(dui)各(ge)干(gan)涉譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)峰(feng)(feng)波長(chang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)。為(wei)實(shi)(shi)現較(jiao)大厚(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)靶丸(wan)(wan)(wan)殼(ke)(ke)層(ceng)厚(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)(fan)(fan)射(she)(she)光(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)，需采用(yong)紅外的(de)(de)(de)(de)(de)(de)寬譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)光(guang)(guang)(guang)源和光(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)探測(ce)(ce)(ce)(ce)器(qi)。對(dui)于(yu)殼(ke)(ke)層(ceng)厚(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)為(wei)μm的(de)(de)(de)(de)(de)(de)靶丸(wan)(wan)(wan)，測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)波峰(feng)(feng)相(xiang)(xiang)對(dui)較(jiao)少，容易實(shi)(shi)現靶丸(wan)(wan)(wan)殼(ke)(ke)層(ceng)白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)(fan)(fan)射(she)(she)光(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)峰(feng)(feng)波長(chang)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)準確測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)；隨(sui)著靶丸(wan)(wan)(wan)殼(ke)(ke)層(ceng)厚(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)進(jin)一(yi)步減小，兩干(gan)涉信(xin)號之間的(de)(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)程差(cha)(cha)差(cha)(cha)異(yi)非常小，以(yi)至(zhi)于(yu)他(ta)們的(de)(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)信(xin)號中只有一(yi)個干(gan)涉波峰(feng)(feng)，基于(yu)峰(feng)(feng)值探測(ce)(ce)(ce)(ce)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)(fan)(fan)射(she)(she)光(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)方法(fa)難以(yi)實(shi)(shi)現其(qi)(qi)厚(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)；為(wei)實(shi)(shi)現較(jiao)小厚(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)靶丸(wan)(wan)(wan)殼(ke)(ke)層(ceng)厚(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)(fan)(fan)射(she)(she)光(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)，可采用(yong)紫(zi)外的(de)(de)(de)(de)(de)(de)寬譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)光(guang)(guang)(guang)源和光(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)探測(ce)(ce)(ce)(ce)器(qi)提升其(qi)(qi)探測(ce)(ce)(ce)(ce)厚(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)下限。

白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)掃描(miao)干(gan)(gan)(gan)涉(she)法能免除色(se)光(guang)(guang)(guang)(guang)相(xiang)移干(gan)(gan)(gan)涉(she)術測量(liang)的(de)(de)(de)(de)局(ju)限性。白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)掃描(miao)干(gan)(gan)(gan)涉(she)法采用(yong)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)作(zuo)為(wei)光(guang)(guang)(guang)(guang)源，白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)作(zuo)為(wei)一種寬光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)的(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)源，相(xiang)干(gan)(gan)(gan)長(chang)度較短(duan)，因(yin)此發生干(gan)(gan)(gan)涉(she)的(de)(de)(de)(de)位(wei)置只能在很小的(de)(de)(de)(de)空(kong)間范圍(wei)內。而且(qie)在白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)涉(she)時(shi)(shi)，有一個(ge)(ge)確切(qie)的(de)(de)(de)(de)零點(dian)位(wei)置。測量(liang)光(guang)(guang)(guang)(guang)和(he)參考光(guang)(guang)(guang)(guang)的(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)程(cheng)相(xiang)等時(shi)(shi)，所有波段的(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)都會發生相(xiang)長(chang)干(gan)(gan)(gan)涉(she)，這(zhe)時(shi)(shi)就(jiu)(jiu)能觀測到有一個(ge)(ge)很明亮的(de)(de)(de)(de)零級條(tiao)紋，同時(shi)(shi)干(gan)(gan)(gan)涉(she)信(xin)號(hao)也出現最大值，通過分析這(zhe)個(ge)(ge)干(gan)(gan)(gan)涉(she)信(xin)號(hao)，就(jiu)(jiu)能得到表面上對應數據(ju)點(dian)的(de)(de)(de)(de)相(xiang)對高(gao)度，從而得到被測物體的(de)(de)(de)(de)幾何形貌(mao)。白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)掃描(miao)干(gan)(gan)(gan)涉(she)術是通過測量(liang)干(gan)(gan)(gan)涉(she)條(tiao)紋來完成的(de)(de)(de)(de)，而干(gan)(gan)(gan)涉(she)條(tiao)紋的(de)(de)(de)(de)清晰度直(zhi)接影響測試精(jing)度。因(yin)此，為(wei)了提高(gao)精(jing)度，就(jiu)(jiu)需要更為(wei)復雜的(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)學(xue)系統，這(zhe)使得條(tiao)紋的(de)(de)(de)(de)測量(liang)變(bian)成一項費力又費時(shi)(shi)的(de)(de)(de)(de)工(gong)作(zuo)。白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)涉(she)膜厚測量(liang)技術可以應用(yong)于(yu)不同材料的(de)(de)(de)(de)薄膜的(de)(de)(de)(de)研究和(he)制造中。

光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)具(ju)有傳播的(de)(de)特(te)性，不同波列在(zai)相遇的(de)(de)區域，振(zhen)(zhen)動(dong)(dong)將相互疊加(jia)，是各列光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)波獨自在(zai)該(gai)點所引起的(de)(de)振(zhen)(zhen)動(dong)(dong)矢量(liang)(liang)和。兩(liang)束光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)要發(fa)生干(gan)(gan)涉，應(ying)必須(xu)滿(man)足三個相干(gan)(gan)條(tiao)(tiao)件，即(ji)：頻率一(yi)致、振(zhen)(zhen)動(dong)(dong)方向一(yi)致、相位(wei)差穩(wen)定一(yi)致。發(fa)生干(gan)(gan)涉的(de)(de)兩(liang)束光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)在(zai)一(yi)些地方振(zhen)(zhen)動(dong)(dong)加(jia)強，而在(zai)另(ling)一(yi)些地方振(zhen)(zhen)動(dong)(dong)減弱，產(chan)生規(gui)則的(de)(de)明暗交替變化。任(ren)何(he)干(gan)(gan)涉測(ce)量(liang)(liang)都是完(wan)全建立在(zai)這種光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)波典(dian)型(xing)特(te)性上的(de)(de)。下圖分別表示干(gan)(gan)涉相長(chang)和干(gan)(gan)涉相消(xiao)的(de)(de)合(he)振(zhen)(zhen)幅。與激光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源相比，白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源的(de)(de)相干(gan)(gan)長(chang)度(du)在(zai)幾(ji)微(wei)米到幾(ji)十微(wei)米內(nei)，通(tong)常都很短，更為重要的(de)(de)是，白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源產(chan)生的(de)(de)干(gan)(gan)涉條(tiao)(tiao)紋具(ju)有一(yi)個典(dian)型(xing)的(de)(de)特(te)征(zheng)：即(ji)條(tiao)(tiao)紋有一(yi)個固定不變的(de)(de)位(wei)置，該(gai)固定位(wei)置對應(ying)于(yu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)程(cheng)差為零的(de)(de)平衡位(wei)置，并在(zai)該(gai)位(wei)置白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)輸出光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)強度(du)具(ju)有最(zui)大值，并通(tong)過探測(ce)該(gai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)強最(zui)大值，可實現樣品(pin)表面位(wei)移的(de)(de)精(jing)密測(ce)量(liang)(liang)。此外，白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源具(ju)有系統抗(kang)干(gan)(gan)擾能(neng)力強、穩(wen)定性好且動(dong)(dong)態范圍大、結(jie)構簡(jian)單，成本低(di)廉等優點。因此，白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)垂直掃描干(gan)(gan)涉、白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)射光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)等基于(yu)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)涉的(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)學測(ce)量(liang)(liang)技術(shu)在(zai)薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)三維形(xing)貌(mao)測(ce)量(liang)(liang)、薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)厚度(du)精(jing)密測(ce)量(liang)(liang)等領域得以廣泛應(ying)用。白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)涉膜(mo)(mo)厚測(ce)量(liang)(liang)技術(shu)可以對薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)的(de)(de)厚度(du)和形(xing)貌(mao)進行聯合(he)測(ce)量(liang)(liang)和分析。黃山(shan)膜(mo)(mo)厚儀信(xin)賴推薦

白光干涉膜厚測量(liang)(liang)技術可以應用于光學涂層中的薄膜反射率(lv)測量(liang)(liang)。萍(ping)鄉膜厚儀性價比高企業

本章主要介紹了基于白光(guang)反射(she)光(guang)譜(pu)和白光(guang)垂直掃描(miao)干(gan)涉(she)(she)聯用的靶丸(wan)殼(ke)層(ceng)折(zhe)射(she)率測量(liang)(liang)方法(fa)。該方法(fa)利用白光(guang)反射(she)光(guang)譜(pu)測量(liang)(liang)靶丸(wan)殼(ke)層(ceng)光(guang)學厚度，利用白光(guang)垂直掃描(miao)干(gan)涉(she)(she)技(ji)術測量(liang)(liang)光(guang)線通過(guo)靶丸(wan)殼(ke)層(ceng)后的光(guang)程增(zeng)量(liang)(liang)，二者聯立(li)即可求得靶丸(wan)折(zhe)射(she)率和厚度數(shu)據。在(zai)實驗數(shu)據處(chu)理方面，為(wei)解決白光(guang)干(gan)涉(she)(she)光(guang)譜(pu)中波峰位(wei)置(zhi)難以精確(que)確(que)定和單極值點(dian)判讀可能(neng)存(cun)在(zai)干(gan)涉(she)(she)級(ji)次誤差(cha)的問題(ti)，提(ti)出MATLAB曲線擬(ni)合測定極值點(dian)波長以及利用干(gan)涉(she)(she)級(ji)次連續性進(jin)行干(gan)涉(she)(she)級(ji)次判定的數(shu)據處(chu)理方法(fa)。應(ying)用碳氫(CH)薄膜(mo)對測量(liang)(liang)結果(guo)的可靠性進(jin)行了實驗驗證(zheng)。萍鄉膜(mo)厚儀性價比高企業

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