微(wei)(wei)納(na)(na)制造技術的(de)(de)(de)發展推動著(zhu)檢(jian)測(ce)技術向微(wei)(wei)納(na)(na)領(ling)域(yu)進軍(jun)，微(wei)(wei)結(jie)(jie)構和(he)薄膜結(jie)(jie)構作為(wei)微(wei)(wei)納(na)(na)器件(jian)中的(de)(de)(de)重要組成(cheng)部分(fen)，在(zai)半導體、醫(yi)學(xue)、航(hang)天航(hang)空、現代制造等(deng)領(ling)域(yu)得到(dao)了(le)廣泛(fan)的(de)(de)(de)應用(yong)，由于其(qi)(qi)微(wei)(wei)小和(he)精(jing)細的(de)(de)(de)特(te)征，傳(chuan)(chuan)統(tong)檢(jian)測(ce)方法(fa)不能滿足(zu)要求。白光(guang)干(gan)涉(she)法(fa)具有(you)非(fei)接觸、無損傷、高精(jing)度(du)(du)等(deng)特(te)點，被廣泛(fan)應用(yong)在(zai)微(wei)(wei)納(na)(na)檢(jian)測(ce)領(ling)域(yu)，另外光(guang)譜(pu)測(ce)量具有(you)高效率、測(ce)量速度(du)(du)快的(de)(de)(de)優點。因此，本文提(ti)出(chu)了(le)白光(guang)干(gan)涉(she)光(guang)譜(pu)測(ce)量方法(fa)并(bing)搭建(jian)了(le)測(ce)量系統(tong)。和(he)傳(chuan)(chuan)統(tong)白光(guang)掃(sao)描干(gan)涉(she)方法(fa)相(xiang)比，其(qi)(qi)特(te)點是(shi)具有(you)較強的(de)(de)(de)環境噪(zao)聲抵御能力(li)，并(bing)且(qie)測(ce)量速度(du)(du)較快。白光(guang)干(gan)涉(she)膜厚(hou)測(ce)量技術可(ke)以(yi)通(tong)過(guo)對(dui)干(gan)涉(she)曲線的(de)(de)(de)分(fen)析實現對(dui)薄膜的(de)(de)(de)光(guang)學(xue)參數和(he)厚(hou)度(du)(du)分(fen)布的(de)(de)(de)聯合測(ce)量和(he)分(fen)析。徐州(zhou)膜厚(hou)儀生產廠家(jia)哪家(jia)好

傅里(li)(li)葉(xie)變(bian)換(huan)是(shi)白光(guang)(guang)頻(pin)(pin)域(yu)解(jie)調方(fang)法(fa)中一種低精(jing)度(du)的信號(hao)解(jie)調方(fang)法(fa)。早(zao)是(shi)由G.F.Fernando和T.Liu等人提出，用于低精(jing)度(du)光(guang)(guang)纖(xian)法(fa)布里(li)(li)-珀羅傳感器(qi)的解(jie)調。因(yin)此，該解(jie)調方(fang)案(an)(an)的原理(li)是(shi)通過(guo)傅里(li)(li)葉(xie)變(bian)換(huan)得(de)(de)到頻(pin)(pin)域(yu)的峰(feng)值頻(pin)(pin)率從而獲得(de)(de)光(guang)(guang)程(cheng)差，進(jin)而得(de)(de)到待測物(wu)理(li)量的信息。傅里(li)(li)葉(xie)變(bian)換(huan)解(jie)調方(fang)案(an)(an)的優點是(shi)解(jie)調速度(du)較(jiao)快(kuai)，受干(gan)(gan)擾信號(hao)的影(ying)響較(jiao)小。但是(shi)其測量精(jing)度(du)較(jiao)低。根據數(shu)(shu)字信號(hao)處(chu)理(li)FFT（快(kuai)速傅里(li)(li)葉(xie)變(bian)換(huan)）理(li)論，若輸(shu)入光(guang)(guang)源波(bo)長范圍為[]λ1,λ2，則(ze)所(suo)測光(guang)(guang)程(cheng)差的理(li)論小分辨率為λ1λ2/(λ2?λ1)，所(suo)以(yi)(yi)此方(fang)法(fa)主要(yao)應用于對(dui)解(jie)調精(jing)度(du)要(yao)求不(bu)高(gao)的場(chang)合。傅里(li)(li)葉(xie)變(bian)換(huan)白光(guang)(guang)干(gan)(gan)涉法(fa)是(shi)對(dui)傅里(li)(li)葉(xie)變(bian)換(huan)法(fa)的改進(jin)。該方(fang)法(fa)總結起來就是(shi)對(dui)采集到的光(guang)(guang)譜信號(hao)做(zuo)傅里(li)(li)葉(xie)變(bian)換(huan)，然(ran)后(hou)濾(lv)波(bo)、提取主頻(pin)(pin)信號(hao)后(hou)進(jin)行(xing)逆(ni)傅里(li)(li)葉(xie)變(bian)換(huan)，然(ran)后(hou)做(zuo)對(dui)數(shu)(shu)運(yun)算(suan)，并取其虛部(bu)做(zuo)相(xiang)位反包裹運(yun)算(suan)，由獲得(de)(de)的相(xiang)位得(de)(de)到干(gan)(gan)涉儀的光(guang)(guang)程(cheng)差。該方(fang)法(fa)經過(guo)實驗證明其測量精(jing)度(du)比傅里(li)(li)葉(xie)變(bian)換(huan)高(gao)。漯河膜厚儀廠家現(xian)貨白光(guang)(guang)干(gan)(gan)涉膜厚測量技術可以(yi)(yi)實現(xian)對(dui)薄膜表面形貌的測量。

常用(yong)(yong)白(bai)光(guang)(guang)垂直掃描(miao)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)系統(tong)的(de)(de)(de)原理示(shi)意(yi)圖(tu)，入(ru)射(she)的(de)(de)(de)白(bai)光(guang)(guang)光(guang)(guang)束通(tong)過(guo)(guo)半反半透(tou)鏡進入(ru)到顯(xian)微干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)物(wu)鏡后，被分(fen)光(guang)(guang)鏡分(fen)成兩(liang)部(bu)分(fen)，一(yi)(yi)個(ge)部(bu)分(fen)入(ru)射(she)到固定的(de)(de)(de)參考鏡，一(yi)(yi)部(bu)分(fen)入(ru)射(she)到樣品表面(mian)，當參考鏡表面(mian)和樣品表面(mian)的(de)(de)(de)反射(she)光(guang)(guang)通(tong)過(guo)(guo)分(fen)光(guang)(guang)鏡后，再(zai)次匯聚發(fa)生干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)，干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)光(guang)(guang)通(tong)過(guo)(guo)透(tou)鏡后，利(li)用(yong)(yong)電荷耦合(he)器(CCD)可探測整(zheng)個(ge)視場內雙白(bai)光(guang)(guang)光(guang)(guang)束的(de)(de)(de)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)圖(tu)像。利(li)用(yong)(yong)Z向(xiang)精密位(wei)移臺帶動干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)鏡頭或(huo)樣品臺Z向(xiang)掃描(miao)，可獲得一(yi)(yi)系列的(de)(de)(de)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)圖(tu)像。根據干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)圖(tu)像序列中(zhong)對(dui)應(ying)點的(de)(de)(de)光(guang)(guang)強(qiang)隨光(guang)(guang)程(cheng)差變化曲(qu)線，可得該點的(de)(de)(de)Z向(xiang)相對(dui)位(wei)移；然后，由CCD圖(tu)像中(zhong)每個(ge)像素點光(guang)(guang)強(qiang)最大值對(dui)應(ying)的(de)(de)(de)Z向(xiang)位(wei)置(zhi)獲得被測樣品表面(mian)的(de)(de)(de)三維(wei)形(xing)貌(mao)。

薄(bo)(bo)(bo)膜(mo)(mo)作(zuo)為改(gai)善器件(jian)性能(neng)的(de)重要途徑(jing)，被(bei)廣泛應(ying)(ying)(ying)用(yong)于(yu)現代光學(xue)、電子(zi)、醫(yi)療、能(neng)源、建(jian)材等(deng)技(ji)術領域。受薄(bo)(bo)(bo)膜(mo)(mo)制(zhi)(zhi)備工藝(yi)及(ji)(ji)(ji)生產環境影(ying)響(xiang)，成(cheng)品薄(bo)(bo)(bo)膜(mo)(mo)存在厚(hou)(hou)(hou)度(du)(du)分布不(bu)均、表(biao)面粗(cu)糙(cao)度(du)(du)大等(deng)問(wen)題，導(dao)致其(qi)光學(xue)及(ji)(ji)(ji)物理(li)性能(neng)達不(bu)到設(she)計要求(qiu)，嚴重影(ying)響(xiang)成(cheng)品的(de)性能(neng)及(ji)(ji)(ji)應(ying)(ying)(ying)用(yong)。隨著薄(bo)(bo)(bo)膜(mo)(mo)生產技(ji)術的(de)迅速(su)發展，準確測(ce)量(liang)(liang)(liang)和科學(xue)評價薄(bo)(bo)(bo)膜(mo)(mo)特性作(zuo)為研究(jiu)熱點，也引(yin)起產業(ye)界(jie)的(de)高度(du)(du)重視。厚(hou)(hou)(hou)度(du)(du)作(zuo)為關鍵(jian)指(zhi)標(biao)直接影(ying)響(xiang)薄(bo)(bo)(bo)膜(mo)(mo)工作(zuo)特性，合(he)(he)理(li)監控薄(bo)(bo)(bo)膜(mo)(mo)厚(hou)(hou)(hou)度(du)(du)對(dui)于(yu)及(ji)(ji)(ji)時(shi)調整生產工藝(yi)參數(shu)、降(jiang)低加(jia)工成(cheng)本、提高生產效率及(ji)(ji)(ji)企業(ye)競爭力等(deng)具有(you)重要作(zuo)用(yong)和深遠(yuan)意義。然而，對(dui)于(yu)市場份額占比大的(de)微米級工業(ye)薄(bo)(bo)(bo)膜(mo)(mo)，除(chu)要求(qiu)測(ce)量(liang)(liang)(liang)系(xi)統不(bu)僅具有(you)百納(na)米級的(de)測(ce)量(liang)(liang)(liang)精度(du)(du)之(zhi)外(wai)，還要求(qiu)具備體積(ji)小、穩定性好(hao)的(de)特點，以(yi)(yi)適應(ying)(ying)(ying)工業(ye)現場環境的(de)在線檢測(ce)需求(qiu)。目前光學(xue)薄(bo)(bo)(bo)膜(mo)(mo)測(ce)厚(hou)(hou)(hou)方(fang)法(fa)仍無(wu)(wu)法(fa)兼顧(gu)高精度(du)(du)、輕小體積(ji)，以(yi)(yi)及(ji)(ji)(ji)合(he)(he)理(li)的(de)系(xi)統成(cheng)本，而具備納(na)米級測(ce)量(liang)(liang)(liang)分辨力的(de)商用(yong)薄(bo)(bo)(bo)膜(mo)(mo)測(ce)厚(hou)(hou)(hou)儀器往往價格昂(ang)貴(gui)、體積(ji)較大，且無(wu)(wu)法(fa)響(xiang)應(ying)(ying)(ying)工業(ye)生產現場的(de)在線測(ce)量(liang)(liang)(liang)需求(qiu)。基于(yu)以(yi)(yi)上分析，本課題提出(chu)基于(yu)反射光譜原理(li)的(de)高精度(du)(du)工業(ye)薄(bo)(bo)(bo)膜(mo)(mo)厚(hou)(hou)(hou)度(du)(du)測(ce)量(liang)(liang)(liang)解決(jue)方(fang)案，研制(zhi)(zhi)小型化、低成(cheng)本的(de)薄(bo)(bo)(bo)膜(mo)(mo)厚(hou)(hou)(hou)度(du)(du)測(ce)量(liang)(liang)(liang)系(xi)統，并(bing)提出(chu)無(wu)(wu)需標(biao)定樣品的(de)高效穩定的(de)膜(mo)(mo)厚(hou)(hou)(hou)計算算法(fa)。研發的(de)系(xi)統可(ke)以(yi)(yi)實現微米級工業(ye)薄(bo)(bo)(bo)膜(mo)(mo)的(de)厚(hou)(hou)(hou)度(du)(du)測(ce)量(liang)(liang)(liang)。白(bai)光干涉膜(mo)(mo)厚(hou)(hou)(hou)測(ce)量(liang)(liang)(liang)技(ji)術可(ke)以(yi)(yi)應(ying)(ying)(ying)用(yong)于(yu)光學(xue)涂層中的(de)薄(bo)(bo)(bo)膜(mo)(mo)反射率測(ce)量(liang)(liang)(liang)。

自1986年E.Wolf證明(ming)了相關(guan)誘導(dao)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)的(de)(de)(de)(de)變化(hua)以(yi)來，人們(men)在理論和(he)實驗上(shang)展開(kai)了討論和(he)研究。結果表明(ming)，動態的(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)位移可以(yi)產(chan)生(sheng)新的(de)(de)(de)(de)濾波(bo)器，應用(yong)于(yu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)學(xue)信號處理和(he)加密領(ling)域(yu)。在論文中，我們(men)提(ti)出(chu)的(de)(de)(de)(de)基于(yu)白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)單峰值波(bo)長移動的(de)(de)(de)(de)解調方(fang)案(an)，可以(yi)用(yong)于(yu)當(dang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)程差非常小導(dao)致其干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)只有一個干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)峰時的(de)(de)(de)(de)信號解調，實現(xian)納米薄(bo)膜(mo)厚(hou)度(du)測(ce)量。在頻(pin)域(yu)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)中，當(dang)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)程差超過光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源(yuan)(yuan)相干(gan)(gan)(gan)(gan)長度(du)的(de)(de)(de)(de)時候(hou)，仍然可以(yi)觀察到(dao)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)條紋。出(chu)現(xian)這種現(xian)象(xiang)的(de)(de)(de)(de)原因是白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源(yuan)(yuan)的(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)可以(yi)看成是許多單色(se)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)的(de)(de)(de)(de)疊加，每一列單色(se)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)的(de)(de)(de)(de)相干(gan)(gan)(gan)(gan)長度(du)都是無限的(de)(de)(de)(de)。當(dang)我們(men)使(shi)用(yong)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)儀(yi)來接收干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)時，由于(yu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)儀(yi)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)柵的(de)(de)(de)(de)分光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)作用(yong)，將寬光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)的(de)(de)(de)(de)白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)變成了窄帶光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)，從而使(shi)相干(gan)(gan)(gan)(gan)長度(du)發生(sheng)變化(hua)。白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)膜(mo)厚(hou)測(ce)量技術的(de)(de)(de)(de)發展將促進相關(guan)產(chan)業的(de)(de)(de)(de)發展和(he)科學(xue)技術的(de)(de)(de)(de)進步(bu)。漯河膜(mo)厚(hou)儀(yi)廠家現(xian)貨

白光(guang)干(gan)涉膜厚測量技術可(ke)以應用于光(guang)學通信中(zhong)的薄膜透(tou)過(guo)率測量。徐州膜厚儀生產(chan)廠(chang)家(jia)哪家(jia)好

為(wei)了分析白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)反射(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)的(de)(de)(de)(de)測(ce)量(liang)(liang)范圍(wei)，開展了不同(tong)壁厚的(de)(de)(de)(de)靶(ba)(ba)丸殼層(ceng)(ceng)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)反射(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)測(ce)量(liang)(liang)實驗(yan)。圖是不同(tong)殼層(ceng)(ceng)厚度靶(ba)(ba)丸的(de)(de)(de)(de)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)反射(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)測(ce)量(liang)(liang)曲線，如圖所(suo)示，對于(yu)殼層(ceng)(ceng)厚度30μm的(de)(de)(de)(de)靶(ba)(ba)丸，其(qi)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)反射(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)各譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)峰(feng)非常密集(ji)、干涉級次數值(zhi)大(da)；此外，由于(yu)靶(ba)(ba)丸殼層(ceng)(ceng)的(de)(de)(de)(de)吸收，壁厚較大(da)的(de)(de)(de)(de)靶(ba)(ba)丸信(xin)號(hao)強(qiang)度相(xiang)對較弱。隨(sui)著(zhu)靶(ba)(ba)丸殼層(ceng)(ceng)厚度的(de)(de)(de)(de)進(jin)一(yi)(yi)步增加，其(qi)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)反射(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)各譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)峰(feng)將更(geng)加密集(ji)，難以實現(xian)(xian)對各干涉譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)峰(feng)波(bo)長的(de)(de)(de)(de)測(ce)量(liang)(liang)。為(wei)實現(xian)(xian)較大(da)厚度靶(ba)(ba)丸殼層(ceng)(ceng)厚度的(de)(de)(de)(de)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)反射(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)測(ce)量(liang)(liang)，需采(cai)用紅外的(de)(de)(de)(de)寬譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)光(guang)(guang)(guang)(guang)源(yuan)和(he)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)探測(ce)器。對于(yu)殼層(ceng)(ceng)厚度為(wei)μm的(de)(de)(de)(de)靶(ba)(ba)丸，測(ce)量(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)波(bo)峰(feng)相(xiang)對較少，容易實現(xian)(xian)靶(ba)(ba)丸殼層(ceng)(ceng)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)反射(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)峰(feng)波(bo)長的(de)(de)(de)(de)準確測(ce)量(liang)(liang)；隨(sui)著(zhu)靶(ba)(ba)丸殼層(ceng)(ceng)厚度的(de)(de)(de)(de)進(jin)一(yi)(yi)步減(jian)小(xiao)，兩(liang)干涉信(xin)號(hao)之間(jian)的(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)程差差異非常小(xiao)，以至于(yu)他們的(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)信(xin)號(hao)中只有一(yi)(yi)個干涉波(bo)峰(feng)，基于(yu)峰(feng)值(zhi)探測(ce)的(de)(de)(de)(de)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)反射(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)方(fang)法難以實現(xian)(xian)其(qi)厚度的(de)(de)(de)(de)測(ce)量(liang)(liang)；為(wei)實現(xian)(xian)較小(xiao)厚度靶(ba)(ba)丸殼層(ceng)(ceng)厚度的(de)(de)(de)(de)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)反射(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)測(ce)量(liang)(liang)，可采(cai)用紫外的(de)(de)(de)(de)寬譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)光(guang)(guang)(guang)(guang)源(yuan)和(he)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)探測(ce)器提(ti)升(sheng)其(qi)探測(ce)厚度下限(xian)。徐州膜厚儀(yi)生(sheng)產廠家哪家好

本文來自四川精(jing)碳偉業環(huan)保科技有(you)限責任(ren)公(gong)司：//wasul.cn/Article/6d34199652.html