白光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)涉(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜分(fen)(fen)析(xi)是目前白光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)涉(she)(she)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)的(de)(de)(de)一個重(zhong)要(yao)方(fang)向(xiang)，此(ci)項技術主要(yao)是利用(yong)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜儀將對條紋的(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)轉變成為對不同波長光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜的(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)。通過(guo)分(fen)(fen)析(xi)被測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)物(wu)體(ti)的(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜特性(xing)，就(jiu)能(neng)夠得到相應的(de)(de)(de)長度(du)信息和(he)(he)形(xing)貌信息。相比于白光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)掃描干(gan)(gan)涉(she)(she)術，它(ta)不需(xu)要(yao)大(da)量(liang)的(de)(de)(de)掃描過(guo)程，因此(ci)提高了測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)效率，而且(qie)也減小了環境(jing)(jing)對它(ta)的(de)(de)(de)影響。此(ci)項技術能(neng)夠測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)距離、位移、塊狀材料(liao)的(de)(de)(de)群(qun)折射(she)率以及多層(ceng)薄(bo)膜厚度(du)。白干(gan)(gan)干(gan)(gan)涉(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜法是基于頻(pin)域(yu)干(gan)(gan)涉(she)(she)的(de)(de)(de)理論(lun)，采(cai)用(yong)白光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)作為寬波段光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源，經過(guo)分(fen)(fen)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)棱鏡，被分(fen)(fen)成兩束(shu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)，這(zhe)兩束(shu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)分(fen)(fen)別入射(she)到參考(kao)面(mian)和(he)(he)被測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)物(wu)體(ti)，反射(she)回來(lai)(lai)后經過(guo)分(fen)(fen)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)棱鏡合成后，由色散元件分(fen)(fen)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)至探(tan)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)器，記錄頻(pin)域(yu)上(shang)的(de)(de)(de)干(gan)(gan)涉(she)(she)信號(hao)。此(ci)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜信號(hao)包含(han)了被測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)表面(mian)的(de)(de)(de)信息，如果(guo)此(ci)時被測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)物(wu)體(ti)是薄(bo)膜，則薄(bo)膜的(de)(de)(de)厚度(du)也包含(han)在這(zhe)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜信號(hao)當中。這(zhe)樣就(jiu)把白光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)涉(she)(she)的(de)(de)(de)精度(du)和(he)(he)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)的(de)(de)(de)速(su)度(du)結合起來(lai)(lai)，形(xing)成了一種精度(du)高而且(qie)速(su)度(du)快的(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)方(fang)法。白光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)涉(she)(she)膜厚測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)技術可以在不同環境(jing)(jing)下進行測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)。淄博新型膜厚儀

白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉的(de)(de)分析方法(fa)利用(yong)白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉感(gan)知(zhi)空間位(wei)(wei)(wei)(wei)置(zhi)的(de)(de)變化，從而得(de)到被測(ce)(ce)(ce)物體(ti)的(de)(de)信息(xi)。它是在(zai)單(dan)色(se)光(guang)(guang)(guang)(guang)相(xiang)移干(gan)(gan)(gan)(gan)涉術(shu)的(de)(de)基礎上發展(zhan)而來的(de)(de)。單(dan)色(se)光(guang)(guang)(guang)(guang)相(xiang)移干(gan)(gan)(gan)(gan)涉術(shu)利用(yong)光(guang)(guang)(guang)(guang)路使(shi)(shi)參考光(guang)(guang)(guang)(guang)和(he)被測(ce)(ce)(ce)表(biao)面的(de)(de)反射光(guang)(guang)(guang)(guang)發生干(gan)(gan)(gan)(gan)涉，再使(shi)(shi)用(yong)相(xiang)移的(de)(de)方法(fa)調制相(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)，利用(yong)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉場中(zhong)光(guang)(guang)(guang)(guang)強(qiang)的(de)(de)變化計算(suan)出其(qi)每(mei)個數(shu)據點的(de)(de)初(chu)始相(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)，但(dan)是這樣得(de)到的(de)(de)相(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)是位(wei)(wei)(wei)(wei)于（-π，+π]間，所以(yi)得(de)到的(de)(de)是不連續的(de)(de)相(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)。因(yin)此，需要進行相(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)展(zhan)開使(shi)(shi)其(qi)變為(wei)連續相(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)。再利用(yong)高度(du)與相(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)的(de)(de)信息(xi)求(qiu)出被測(ce)(ce)(ce)物體(ti)的(de)(de)表(biao)面形貌。單(dan)色(se)光(guang)(guang)(guang)(guang)相(xiang)移法(fa)具有測(ce)(ce)(ce)量(liang)速(su)度(du)快、測(ce)(ce)(ce)量(liang)分辨力高、對背景光(guang)(guang)(guang)(guang)強(qiang)不敏感(gan)等優(you)點。但(dan)是，由于單(dan)色(se)光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉無法(fa)確定干(gan)(gan)(gan)(gan)涉條紋的(de)(de)零級位(wei)(wei)(wei)(wei)置(zhi)。因(yin)此，在(zai)相(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)解包裹(guo)中(zhong)無法(fa)得(de)到相(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)差的(de)(de)周期(qi)數(shu)，所以(yi)只能假(jia)定相(xiang)位(wei)(wei)(wei)(wei)差不超過一(yi)個周期(qi)，相(xiang)當于測(ce)(ce)(ce)試表(biao)面的(de)(de)相(xiang)鄰高度(du)不能超過四(si)分之(zhi)一(yi)波長(chang)[27]。這就限制了(le)其(qi)測(ce)(ce)(ce)量(liang)的(de)(de)范圍，使(shi)(shi)它只能測(ce)(ce)(ce)試連續結(jie)構或者光(guang)(guang)(guang)(guang)滑(hua)表(biao)面結(jie)構。鄭州膜厚(hou)儀制作廠家白(bai)(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)(gan)涉膜厚(hou)測(ce)(ce)(ce)量(liang)技術(shu)可(ke)以(yi)實現對薄膜厚(hou)度(du)的(de)(de)在(zai)線(xian)檢測(ce)(ce)(ce)和(he)自動控制。

在(zai)納米(mi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)級(ji)薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)的(de)(de)(de)(de)各項相(xiang)關(guan)參(can)數中，薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)材(cai)料的(de)(de)(de)(de)厚度(du)(du)是(shi)(shi)薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)設計(ji)和制備過程中的(de)(de)(de)(de)重(zhong)要參(can)數，是(shi)(shi)決(jue)定薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)性質(zhi)和性能的(de)(de)(de)(de)基(ji)本參(can)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)之一，它對(dui)于薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)的(de)(de)(de)(de)光學、力學和電磁(ci)性能等(deng)都有(you)(you)(you)重(zhong)要的(de)(de)(de)(de)影響[3]。但是(shi)(shi)由(you)于納米(mi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)級(ji)薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)的(de)(de)(de)(de)極小(xiao)尺寸及其(qi)(qi)突出的(de)(de)(de)(de)表面效應，使得(de)對(dui)其(qi)(qi)厚度(du)(du)的(de)(de)(de)(de)準(zhun)確測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)變得(de)困難。經過眾多科研技術人員的(de)(de)(de)(de)探索(suo)和研究，新的(de)(de)(de)(de)薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)厚度(du)(du)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)理(li)論和測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)技術不(bu)斷(duan)涌現，測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)方(fang)法(fa)(fa)(fa)實現了從手動到自(zi)動，有(you)(you)(you)損(sun)(sun)到無損(sun)(sun)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)。由(you)于待(dai)測(ce)(ce)(ce)薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)材(cai)料的(de)(de)(de)(de)性質(zhi)不(bu)同，其(qi)(qi)適用(yong)的(de)(de)(de)(de)厚度(du)(du)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)方(fang)案也(ye)不(bu)盡相(xiang)同。對(dui)于厚度(du)(du)在(zai)納米(mi)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)級(ji)的(de)(de)(de)(de)薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)，利用(yong)光學原理(li)的(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)技術應用(yong)。相(xiang)比(bi)于其(qi)(qi)他方(fang)法(fa)(fa)(fa)，光學測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)方(fang)法(fa)(fa)(fa)因為具有(you)(you)(you)精度(du)(du)高，速度(du)(du)快(kuai)，無損(sun)(sun)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)等(deng)優勢而成為主要的(de)(de)(de)(de)檢測(ce)(ce)(ce)手段。其(qi)(qi)中具有(you)(you)(you)代表性的(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)方(fang)法(fa)(fa)(fa)有(you)(you)(you)橢圓偏振(zhen)法(fa)(fa)(fa)，干(gan)涉法(fa)(fa)(fa)，光譜法(fa)(fa)(fa)，棱鏡耦合法(fa)(fa)(fa)等(deng)。

本(ben)章主要(yao)介紹了(le)基于白光(guang)(guang)反(fan)射(she)光(guang)(guang)譜(pu)(pu)和白光(guang)(guang)垂直掃(sao)描干(gan)(gan)涉聯(lian)(lian)用(yong)的靶(ba)(ba)丸(wan)殼層折射(she)率(lv)測(ce)(ce)量(liang)(liang)方法。該方法利(li)用(yong)白光(guang)(guang)反(fan)射(she)光(guang)(guang)譜(pu)(pu)測(ce)(ce)量(liang)(liang)靶(ba)(ba)丸(wan)殼層光(guang)(guang)學厚(hou)度(du)(du)，利(li)用(yong)白光(guang)(guang)垂直掃(sao)描干(gan)(gan)涉技術測(ce)(ce)量(liang)(liang)光(guang)(guang)線通過靶(ba)(ba)丸(wan)殼層后的光(guang)(guang)程增量(liang)(liang)，二者聯(lian)(lian)立(li)即可求得(de)靶(ba)(ba)丸(wan)折射(she)率(lv)和厚(hou)度(du)(du)數(shu)據(ju)。在實(shi)驗(yan)數(shu)據(ju)處理(li)方面，為解決(jue)白光(guang)(guang)干(gan)(gan)涉光(guang)(guang)譜(pu)(pu)中波峰位置難以精(jing)確(que)確(que)定和單極值點判讀可能(neng)存在干(gan)(gan)涉級次誤差(cha)的問題，提出MATLAB曲(qu)線擬合測(ce)(ce)定極值點波長以及利(li)用(yong)干(gan)(gan)涉級次連續性進行干(gan)(gan)涉級次判定的數(shu)據(ju)處理(li)方法。應用(yong)碳(tan)氫(CH)薄膜對測(ce)(ce)量(liang)(liang)結果的可靠性進行了(le)實(shi)驗(yan)驗(yan)證(zheng)。白光(guang)(guang)干(gan)(gan)涉膜厚(hou)測(ce)(ce)量(liang)(liang)技術可以應用(yong)于光(guang)(guang)學薄膜設計中的薄膜參(can)數(shu)測(ce)(ce)量(liang)(liang)。

干(gan)涉(she)(she)(she)(she)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)法(fa)[9-10]是(shi)基于(yu)光(guang)(guang)的(de)(de)(de)(de)(de)干(gan)涉(she)(she)(she)(she)原理(li)實(shi)(shi)(shi)現(xian)對(dui)薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)厚(hou)度測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)學(xue)方(fang)法(fa)，是(shi)一(yi)種高精(jing)度的(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)技術。采用(yong)(yong)光(guang)(guang)學(xue)干(gan)涉(she)(she)(she)(she)原理(li)的(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)系統(tong)一(yi)般(ban)具有(you)結構簡單，成(cheng)本低廉(lian)，穩定性好，抗干(gan)擾能(neng)力強(qiang)，使用(yong)(yong)范(fan)圍廣等優點。對(dui)于(yu)大多數的(de)(de)(de)(de)(de)干(gan)涉(she)(she)(she)(she)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)任(ren)務(wu)，都是(shi)通(tong)過薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)表(biao)面和基底表(biao)面之間產(chan)生的(de)(de)(de)(de)(de)干(gan)涉(she)(she)(she)(she)條(tiao)紋(wen)的(de)(de)(de)(de)(de)形狀和分布規律，來研究干(gan)涉(she)(she)(she)(she)裝置(zhi)中(zhong)(zhong)待(dai)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)物理(li)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)引入的(de)(de)(de)(de)(de)光(guang)(guang)程(cheng)差(cha)(cha)或(huo)者(zhe)是(shi)位相(xiang)差(cha)(cha)的(de)(de)(de)(de)(de)變化，從(cong)而達(da)到(dao)(dao)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)目的(de)(de)(de)(de)(de)。光(guang)(guang)學(xue)干(gan)涉(she)(she)(she)(she)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)方(fang)法(fa)的(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)精(jing)度可達(da)到(dao)(dao)甚至優于(yu)納(na)米量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)級，而利用(yong)(yong)外差(cha)(cha)干(gan)涉(she)(she)(she)(she)進行測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)，其精(jing)度甚至可以達(da)到(dao)(dao)10-3nm量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)級[11]。根據所(suo)使用(yong)(yong)光(guang)(guang)源的(de)(de)(de)(de)(de)不同，干(gan)涉(she)(she)(she)(she)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)方(fang)法(fa)又可以分為(wei)激光(guang)(guang)干(gan)涉(she)(she)(she)(she)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)和白光(guang)(guang)干(gan)涉(she)(she)(she)(she)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)兩(liang)大類(lei)。激光(guang)(guang)干(gan)涉(she)(she)(she)(she)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)分辨(bian)率更高，但是(shi)不能(neng)實(shi)(shi)(shi)現(xian)對(dui)靜(jing)態(tai)信(xin)號(hao)(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)，只能(neng)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)輸出信(xin)號(hao)(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)變化量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)或(huo)者(zhe)是(shi)連(lian)續(xu)信(xin)號(hao)(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)變化，即只能(neng)實(shi)(shi)(shi)現(xian)相(xiang)對(dui)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)。而白光(guang)(guang)干(gan)涉(she)(she)(she)(she)是(shi)通(tong)過對(dui)干(gan)涉(she)(she)(she)(she)信(xin)號(hao)(hao)中(zhong)(zhong)心條(tiao)紋(wen)的(de)(de)(de)(de)(de)有(you)效識別(bie)來實(shi)(shi)(shi)現(xian)對(dui)物理(li)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)，是(shi)一(yi)種測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)方(fang)式(shi)，在薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)厚(hou)度的(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)中(zhong)(zhong)得到(dao)(dao)了(le)廣泛的(de)(de)(de)(de)(de)應用(yong)(yong)。白光(guang)(guang)干(gan)涉(she)(she)(she)(she)膜(mo)(mo)厚(hou)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)技術可以應用(yong)(yong)于(yu)光(guang)(guang)學(xue)涂層中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)反射(she)率測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)。濟(ji)南膜(mo)(mo)厚(hou)儀信(xin)賴推(tui)薦

白光干涉膜(mo)厚測(ce)量技術(shu)可(ke)以實現(xian)對復雜薄(bo)膜(mo)結構的測(ce)量。淄博新型膜(mo)厚儀

為了分析白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)射(she)(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)的(de)(de)(de)測(ce)量(liang)范圍(wei)，開展了不(bu)(bu)同(tong)壁厚(hou)(hou)(hou)的(de)(de)(de)靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)殼(ke)層(ceng)(ceng)(ceng)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)射(she)(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)測(ce)量(liang)實(shi)驗。圖是不(bu)(bu)同(tong)殼(ke)層(ceng)(ceng)(ceng)厚(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)(du)靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)的(de)(de)(de)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)射(she)(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)測(ce)量(liang)曲線，如(ru)圖所(suo)示，對于(yu)殼(ke)層(ceng)(ceng)(ceng)厚(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)(du)30μm的(de)(de)(de)靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)，其(qi)(qi)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)射(she)(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)各(ge)(ge)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)峰(feng)非(fei)常(chang)密集(ji)、干(gan)(gan)(gan)涉級次(ci)數值(zhi)大(da)(da)；此外，由于(yu)靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)殼(ke)層(ceng)(ceng)(ceng)的(de)(de)(de)吸收(shou)，壁厚(hou)(hou)(hou)較(jiao)大(da)(da)的(de)(de)(de)靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)信號(hao)強(qiang)度(du)(du)(du)(du)相對較(jiao)弱。隨(sui)著(zhu)靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)殼(ke)層(ceng)(ceng)(ceng)厚(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)進(jin)(jin)一步(bu)增加(jia)，其(qi)(qi)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)射(she)(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)各(ge)(ge)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)峰(feng)將更加(jia)密集(ji)，難以實(shi)現(xian)對各(ge)(ge)干(gan)(gan)(gan)涉譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)峰(feng)波(bo)長(chang)的(de)(de)(de)測(ce)量(liang)。為實(shi)現(xian)較(jiao)大(da)(da)厚(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)(du)靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)殼(ke)層(ceng)(ceng)(ceng)厚(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)射(she)(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)測(ce)量(liang)，需采(cai)用(yong)(yong)紅外的(de)(de)(de)寬(kuan)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)光(guang)(guang)(guang)(guang)源和(he)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)探(tan)測(ce)器(qi)(qi)。對于(yu)殼(ke)層(ceng)(ceng)(ceng)厚(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)(du)為μm的(de)(de)(de)靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)，測(ce)量(liang)的(de)(de)(de)波(bo)峰(feng)相對較(jiao)少(shao)，容易實(shi)現(xian)靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)殼(ke)層(ceng)(ceng)(ceng)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)射(she)(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)峰(feng)波(bo)長(chang)的(de)(de)(de)準(zhun)確測(ce)量(liang)；隨(sui)著(zhu)靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)殼(ke)層(ceng)(ceng)(ceng)厚(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)進(jin)(jin)一步(bu)減小，兩干(gan)(gan)(gan)涉信號(hao)之間的(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)程差(cha)(cha)差(cha)(cha)異非(fei)常(chang)小，以至于(yu)他們(men)的(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)信號(hao)中只(zhi)有一個干(gan)(gan)(gan)涉波(bo)峰(feng)，基于(yu)峰(feng)值(zhi)探(tan)測(ce)的(de)(de)(de)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)射(she)(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)方法難以實(shi)現(xian)其(qi)(qi)厚(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)測(ce)量(liang)；為實(shi)現(xian)較(jiao)小厚(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)(du)靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)殼(ke)層(ceng)(ceng)(ceng)厚(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)(du)的(de)(de)(de)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)反(fan)(fan)射(she)(she)(she)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)測(ce)量(liang)，可采(cai)用(yong)(yong)紫外的(de)(de)(de)寬(kuan)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)光(guang)(guang)(guang)(guang)源和(he)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)(pu)探(tan)測(ce)器(qi)(qi)提升其(qi)(qi)探(tan)測(ce)厚(hou)(hou)(hou)度(du)(du)(du)(du)下限(xian)。淄博新型膜厚(hou)(hou)(hou)儀(yi)

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