與激光(guang)(guang)光(guang)(guang)源相(xiang)比以(yi)白(bai)(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)的(de)(de)寬光(guang)(guang)譜光(guang)(guang)源由(you)于具有(you)短相(xiang)干長(chang)(chang)度(du)(du)的(de)(de)特(te)點(dian)使得兩光(guang)(guang)束(shu)只有(you)在光(guang)(guang)程差極(ji)小的(de)(de)情況(kuang)下才能發(fa)生干涉因此不會產生干擾條紋。同時由(you)于白(bai)(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)干涉產生的(de)(de)干涉條紋具有(you)明(ming)顯的(de)(de)零光(guang)(guang)程差位置避免了干涉級次不確定(ding)(ding)的(de)(de)問題。本文以(yi)白(bai)(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)干涉原(yuan)(yuan)理(li)為理(li)論(lun)基礎對(dui)單(dan)層透明(ming)薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)厚(hou)(hou)度(du)(du)測(ce)(ce)量(liang)(liang)尤其對(dui)厚(hou)(hou)度(du)(du)小于光(guang)(guang)源相(xiang)干長(chang)(chang)度(du)(du)的(de)(de)薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)厚(hou)(hou)度(du)(du)測(ce)(ce)量(liang)(liang)進(jin)行(xing)了研究。首(shou)先從白(bai)(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)干涉測(ce)(ce)量(liang)(liang)薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)厚(hou)(hou)度(du)(du)的(de)(de)原(yuan)(yuan)理(li)出發(fa)、分(fen)別詳細(xi)闡述了白(bai)(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)干涉原(yuan)(yuan)理(li)和薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)測(ce)(ce)厚(hou)(hou)原(yuan)(yuan)理(li)。接(jie)著在金相(xiang)顯微(wei)鏡(jing)的(de)(de)基礎上構建了型垂直(zhi)白(bai)(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)掃描系統作為實(shi)驗中測(ce)(ce)試薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)厚(hou)(hou)度(du)(du)的(de)(de)儀器并利用白(bai)(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)干涉原(yuan)(yuan)理(li)對(dui)的(de)(de)位移量(liang)(liang)進(jin)行(xing)了標定(ding)(ding)。白(bai)(bai)(bai)(bai)光(guang)(guang)干涉膜(mo)(mo)(mo)(mo)厚(hou)(hou)測(ce)(ce)量(liang)(liang)技術(shu)可以(yi)通過(guo)對(dui)干涉曲線的(de)(de)分(fen)析實(shi)現對(dui)薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)的(de)(de)厚(hou)(hou)度(du)(du)分(fen)布(bu)的(de)(de)測(ce)(ce)量(liang)(liang)和分(fen)析。山東(dong)膜(mo)(mo)(mo)(mo)厚(hou)(hou)儀成本價

靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)殼層折射率、厚(hou)(hou)度及(ji)(ji)(ji)其(qi)(qi)分布(bu)參數是激光慣性約束聚(ju)變（ICF）物(wu)理實(shi)(shi)驗中非常關鍵(jian)的參數，精(jing)(jing)(jing)密測(ce)量(liang)(liang)靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)殼層折射率、厚(hou)(hou)度及(ji)(ji)(ji)其(qi)(qi)分布(bu)對ICF精(jing)(jing)(jing)密物(wu)理實(shi)(shi)驗研究具有非常重要(yao)的意(yi)義。由于靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)尺寸微(wei)小(xiao)（亞毫(hao)米量(liang)(liang)級）、結構特殊（球形(xing)結構）、測(ce)量(liang)(liang)精(jing)(jing)(jing)度要(yao)求高，如何(he)實(shi)(shi)現(xian)靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)殼層折射率及(ji)(ji)(ji)其(qi)(qi)厚(hou)(hou)度分布(bu)的精(jing)(jing)(jing)密測(ce)量(liang)(liang)是靶(ba)(ba)參數測(ce)量(liang)(liang)技(ji)術研究中重要(yao)的研究內容。本論文針(zhen)對靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)殼層折射率及(ji)(ji)(ji)厚(hou)(hou)度分布(bu)的精(jing)(jing)(jing)密測(ce)量(liang)(liang)需求，開展了基于白光干(gan)涉技(ji)術的靶(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)殼層折射率及(ji)(ji)(ji)厚(hou)(hou)度分布(bu)測(ce)量(liang)(liang)技(ji)術研究。大連膜厚(hou)(hou)儀生產(chan)廠家(jia)哪家(jia)好(hao)白光干(gan)涉膜厚(hou)(hou)測(ce)量(liang)(liang)技(ji)術可以實(shi)(shi)現(xian)對薄膜的在(zai)線檢測(ce)和控制。

干涉(she)法與分光(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)度(du)法都是(shi)利(li)用(yong)相(xiang)干光(guang)(guang)(guang)形成(cheng)等厚干涉(she)條紋的(de)原理(li)來確定薄(bo)(bo)膜(mo)厚度(du)和(he)折射率，然(ran)而與薄(bo)(bo)膜(mo)自發產生的(de)等傾干涉(she)不同，干涉(she)法是(shi)通過設置參(can)考(kao)光(guang)(guang)(guang)路，形成(cheng)與測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)光(guang)(guang)(guang)路間(jian)的(de)干涉(she)條紋，因此其相(xiang)位信息包含兩個部分，分別是(shi)由(you)參(can)考(kao)平面(mian)(mian)和(he)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)平面(mian)(mian)間(jian)掃(sao)描(miao)高(gao)度(du)引起的(de)附加相(xiang)位和(he)由(you)透明薄(bo)(bo)膜(mo)內部多(duo)次反(fan)射引起的(de)膜(mo)厚相(xiang)位。干涉(she)法測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)光(guang)(guang)(guang)路使用(yong)面(mian)(mian)陣CCD接收參(can)考(kao)平面(mian)(mian)和(he)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)平面(mian)(mian)間(jian)相(xiang)干波面(mian)(mian)的(de)干涉(she)光(guang)(guang)(guang)強分布，不同于以上(shang)三種點測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)方式(shi)，可一次性(xing)生成(cheng)薄(bo)(bo)膜(mo)待測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)區域的(de)表面(mian)(mian)形貌信息，但同時由(you)于存在大量(liang)軸向(xiang)掃(sao)描(miao)和(he)數(shu)據解(jie)算(suan)，完成(cheng)單次測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)的(de)時間(jian)相(xiang)對較(jiao)長。

白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)涉(she)(she)(she)頻(pin)(pin)(pin)域解(jie)(jie)調(diao)顧名思義是在(zai)頻(pin)(pin)(pin)域分(fen)析解(jie)(jie)調(diao)信(xin)(xin)號，測(ce)(ce)(ce)量(liang)裝置(zhi)與時域解(jie)(jie)調(diao)裝置(zhi)幾(ji)乎相(xiang)同，只需把(ba)光(guang)(guang)(guang)(guang)強測(ce)(ce)(ce)量(liang)裝置(zhi)換為光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)儀或(huo)者(zhe)是CCD，接收(shou)到(dao)(dao)的(de)(de)(de)信(xin)(xin)號是光(guang)(guang)(guang)(guang)強隨著光(guang)(guang)(guang)(guang)波長(chang)(chang)(chang)的(de)(de)(de)分(fen)布。由(you)于(yu)時域解(jie)(jie)調(diao)中接收(shou)到(dao)(dao)的(de)(de)(de)信(xin)(xin)號是一(yi)定范圍(wei)內(nei)(nei)所有(you)(you)波長(chang)(chang)(chang)的(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)強疊加(jia)，因此(ci)將(jiang)頻(pin)(pin)(pin)譜(pu)(pu)信(xin)(xin)號中各個(ge)波長(chang)(chang)(chang)的(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)強疊加(jia)，即(ji)可得(de)到(dao)(dao)與它對應的(de)(de)(de)時域接收(shou)信(xin)(xin)號。由(you)此(ci)可見，頻(pin)(pin)(pin)域的(de)(de)(de)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)涉(she)(she)(she)條(tiao)紋不僅包含了(le)時域白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)涉(she)(she)(she)條(tiao)紋的(de)(de)(de)所有(you)(you)信(xin)(xin)息，還包含了(le)時域干(gan)(gan)涉(she)(she)(she)條(tiao)紋中沒有(you)(you)的(de)(de)(de)波長(chang)(chang)(chang)信(xin)(xin)息。在(zai)頻(pin)(pin)(pin)域干(gan)(gan)涉(she)(she)(she)中，當兩束相(xiang)干(gan)(gan)光(guang)(guang)(guang)(guang)的(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)程差遠大于(yu)光(guang)(guang)(guang)(guang)源的(de)(de)(de)相(xiang)干(gan)(gan)長(chang)(chang)(chang)度(du)時，仍可以(yi)在(zai)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)儀上觀(guan)察到(dao)(dao)頻(pin)(pin)(pin)域干(gan)(gan)涉(she)(she)(she)條(tiao)紋。這是由(you)于(yu)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)儀內(nei)(nei)部的(de)(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)柵具有(you)(you)分(fen)光(guang)(guang)(guang)(guang)作(zuo)用(yong)(yong)，能(neng)夠(gou)將(jiang)寬(kuan)譜(pu)(pu)光(guang)(guang)(guang)(guang)變(bian)成(cheng)窄帶光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)，從(cong)而增(zeng)加(jia)了(le)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)的(de)(de)(de)相(xiang)干(gan)(gan)長(chang)(chang)(chang)度(du)。這一(yi)解(jie)(jie)調(diao)技術(shu)(shu)的(de)(de)(de)優點就是在(zai)整個(ge)測(ce)(ce)(ce)量(liang)系統中沒有(you)(you)使用(yong)(yong)機(ji)械掃描(miao)部件，從(cong)而在(zai)測(ce)(ce)(ce)量(liang)的(de)(de)(de)穩定性和可靠性上得(de)到(dao)(dao)很(hen)大的(de)(de)(de)提高。常見的(de)(de)(de)頻(pin)(pin)(pin)域解(jie)(jie)調(diao)方法(fa)(fa)(fa)有(you)(you)峰(feng)峰(feng)值(zhi)檢測(ce)(ce)(ce)法(fa)(fa)(fa)、傅(fu)里(li)葉解(jie)(jie)調(diao)法(fa)(fa)(fa)以(yi)及傅(fu)里(li)葉變(bian)換白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)涉(she)(she)(she)解(jie)(jie)調(diao)法(fa)(fa)(fa)等。白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)涉(she)(she)(she)膜厚測(ce)(ce)(ce)量(liang)技術(shu)(shu)可以(yi)通過對干(gan)(gan)涉(she)(she)(she)圖像(xiang)的(de)(de)(de)分(fen)析實現對薄膜的(de)(de)(de)表面和內(nei)(nei)部結(jie)構的(de)(de)(de)聯合測(ce)(ce)(ce)量(liang)和分(fen)析。

論文(wen)主要(yao)以半(ban)導(dao)體(ti)(ti)(ti)鍺(zang)和貴金屬金兩種材(cai)料為(wei)對(dui)象，研(yan)究(jiu)了(le)白(bai)光(guang)干(gan)涉(she)法(fa)(fa)、表(biao)面等(deng)離(li)子(zi)體(ti)(ti)(ti)共(gong)(gong)振法(fa)(fa)和外差干(gan)涉(she)法(fa)(fa)實現納米級薄(bo)膜(mo)(mo)厚(hou)度(du)準確(que)測量(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)可行性(xing)。由于不(bu)同材(cai)料薄(bo)膜(mo)(mo)的(de)(de)(de)(de)特(te)性(xing)不(bu)同，所適用的(de)(de)(de)(de)測量(liang)(liang)(liang)方法(fa)(fa)也不(bu)同。半(ban)導(dao)體(ti)(ti)(ti)鍺(zang)膜(mo)(mo)具有折(zhe)射(she)率(lv)高，在(zai)通信波段(duan)（1550nm附近(jin)）不(bu)透明的(de)(de)(de)(de)特(te)點(dian)，選擇(ze)采用白(bai)光(guang)干(gan)涉(she)的(de)(de)(de)(de)測量(liang)(liang)(liang)方法(fa)(fa)；而(er)厚(hou)度(du)更薄(bo)的(de)(de)(de)(de)金膜(mo)(mo)的(de)(de)(de)(de)折(zhe)射(she)率(lv)為(wei)復數，且能激發的(de)(de)(de)(de)表(biao)面等(deng)離(li)子(zi)體(ti)(ti)(ti)效應，因而(er)可借助基于表(biao)面等(deng)離(li)子(zi)體(ti)(ti)(ti)共(gong)(gong)振的(de)(de)(de)(de)測量(liang)(liang)(liang)方法(fa)(fa)；為(wei)了(le)進一步改(gai)善測量(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)精度(du)，論文(wen)還(huan)研(yan)究(jiu)了(le)外差干(gan)涉(she)測量(liang)(liang)(liang)法(fa)(fa)，通過引入高精度(du)的(de)(de)(de)(de)相位(wei)解調(diao)手段(duan)，檢測P光(guang)與S光(guang)之間的(de)(de)(de)(de)相位(wei)差提升(sheng)厚(hou)度(du)測量(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)精度(du)。白(bai)光(guang)干(gan)涉(she)膜(mo)(mo)厚(hou)測量(liang)(liang)(liang)技術可以對(dui)薄(bo)膜(mo)(mo)的(de)(de)(de)(de)表(biao)面和內部進行聯合(he)測量(liang)(liang)(liang)和分析(xi)。張家界國(guo)內膜(mo)(mo)厚(hou)儀

白光干涉膜厚(hou)(hou)測量技術可以應用于光學傳(chuan)感器中的薄膜厚(hou)(hou)度測量。山東膜厚(hou)(hou)儀成本價

白光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)掃描(miao)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)(she)法能(neng)免(mian)除(chu)色光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)相移干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)(she)術(shu)測(ce)量的(de)(de)局限(xian)性。白光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)掃描(miao)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)(she)法采用白光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)作為(wei)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源，白光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)作為(wei)一種寬光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜的(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源，相干(gan)(gan)(gan)長(chang)(chang)度(du)(du)較短，因此發(fa)生干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)(she)的(de)(de)位置只能(neng)在很小的(de)(de)空(kong)間(jian)范(fan)圍(wei)內(nei)。而(er)且在白光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)(she)時，有一個確切(qie)的(de)(de)零(ling)點(dian)位置。測(ce)量光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)和參考(kao)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)的(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)程相等時，所(suo)有波段(duan)的(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)都會發(fa)生相長(chang)(chang)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)(she)，這時就能(neng)觀測(ce)到有一個很明亮的(de)(de)零(ling)級條(tiao)紋，同(tong)時干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)(she)信(xin)號也出現最(zui)大(da)值，通過分(fen)析這個干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)(she)信(xin)號，就能(neng)得(de)到表面上對(dui)應數據(ju)點(dian)的(de)(de)相對(dui)高度(du)(du)，從而(er)得(de)到被(bei)測(ce)物體的(de)(de)幾何形貌(mao)。白光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)掃描(miao)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)(she)術(shu)是通過測(ce)量干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)(she)條(tiao)紋來完成的(de)(de)，而(er)干(gan)(gan)(gan)涉(she)(she)(she)(she)(she)條(tiao)紋的(de)(de)清晰度(du)(du)直(zhi)接影(ying)響測(ce)試精度(du)(du)。因此，為(wei)了提高精度(du)(du)，就需要更為(wei)復雜的(de)(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)學系統(tong)，這使(shi)得(de)條(tiao)紋的(de)(de)測(ce)量變成一項費力又費時的(de)(de)工作。山(shan)東膜厚儀(yi)成本價

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