極值法(fa)求解(jie)(jie)過程計算簡(jian)單，速度(du)快，同(tong)時(shi)確(que)(que)定薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)的(de)(de)(de)(de)(de)多(duo)(duo)個光(guang)學常(chang)數(shu)及(ji)解(jie)(jie)決多(duo)(duo)值性(xing)問題，測試(shi)范(fan)圍廣(guang)，但沒有(you)考慮薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)均勻(yun)性(xing)和(he)基(ji)底色(se)散的(de)(de)(de)(de)(de)因素，以(yi)(yi)至(zhi)于精度(du)不夠(gou)高。此外，由于受曲線(xian)擬(ni)合(he)精度(du)的(de)(de)(de)(de)(de)限制，該方(fang)法(fa)對膜(mo)(mo)(mo)(mo)厚(hou)(hou)的(de)(de)(de)(de)(de)測量(liang)(liang)范(fan)圍有(you)要求，通(tong)常(chang)用(yong)這種方(fang)法(fa)測量(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)厚(hou)(hou)度(du)應大于200nm且小于10μm，以(yi)(yi)確(que)(que)保光(guang)譜(pu)信號(hao)中的(de)(de)(de)(de)(de)干涉(she)波峰數(shu)恰(qia)當。全光(guang)譜(pu)擬(ni)合(he)法(fa)是(shi)基(ji)于客(ke)觀條件或基(ji)本(ben)常(chang)識來設置(zhi)每個擬(ni)合(he)參數(shu)上限、下限，并為該區域的(de)(de)(de)(de)(de)薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)生成一組或多(duo)(duo)組光(guang)學參數(shu)及(ji)厚(hou)(hou)度(du)的(de)(de)(de)(de)(de)初始值，引(yin)入適合(he)的(de)(de)(de)(de)(de)色(se)散模型(xing)，再根據麥克斯韋方(fang)程組的(de)(de)(de)(de)(de)推導。這樣求得的(de)(de)(de)(de)(de)值自然(ran)和(he)實(shi)際(ji)的(de)(de)(de)(de)(de)透(tou)過率(lv)(lv)和(he)反射(she)率(lv)(lv)（通(tong)過光(guang)學系統直接測量(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)透(tou)射(she)率(lv)(lv)或反射(she)率(lv)(lv)）有(you)所(suo)不同(tong)，建立評價函數(shu)，當計算的(de)(de)(de)(de)(de)透(tou)過率(lv)(lv)/反射(she)率(lv)(lv)與實(shi)際(ji)值之(zhi)間(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)偏(pian)差小時(shi)，我們就可以(yi)(yi)認為預設的(de)(de)(de)(de)(de)初始值就是(shi)要測量(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)(de)薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)參數(shu)。白光(guang)干涉(she)膜(mo)(mo)(mo)(mo)厚(hou)(hou)測量(liang)(liang)技術可以(yi)(yi)實(shi)現(xian)對薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)的(de)(de)(de)(de)(de)大范(fan)圍測量(liang)(liang)和(he)分(fen)析。湘潭有(you)哪些膜(mo)(mo)(mo)(mo)厚(hou)(hou)儀

干(gan)涉法與分(fen)光(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)度(du)法都是利用(yong)相(xiang)(xiang)干(gan)光(guang)(guang)(guang)形(xing)成等(deng)厚干(gan)涉條(tiao)紋的(de)(de)原理(li)來確定薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)厚度(du)和(he)折射率，然而與薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)自發產生的(de)(de)等(deng)傾干(gan)涉不(bu)同(tong)，干(gan)涉法是通過設置參考(kao)光(guang)(guang)(guang)路，形(xing)成與測(ce)量(liang)光(guang)(guang)(guang)路間(jian)的(de)(de)干(gan)涉條(tiao)紋，因此其相(xiang)(xiang)位(wei)信(xin)息包含兩個部(bu)分(fen)，分(fen)別是由(you)參考(kao)平(ping)(ping)面(mian)和(he)測(ce)量(liang)平(ping)(ping)面(mian)間(jian)掃描高度(du)引起的(de)(de)附加(jia)相(xiang)(xiang)位(wei)和(he)由(you)透明薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)內部(bu)多次(ci)(ci)反射引起的(de)(de)膜(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)厚相(xiang)(xiang)位(wei)。干(gan)涉法測(ce)量(liang)光(guang)(guang)(guang)路使用(yong)面(mian)陣CCD接收參考(kao)平(ping)(ping)面(mian)和(he)測(ce)量(liang)平(ping)(ping)面(mian)間(jian)相(xiang)(xiang)干(gan)波面(mian)的(de)(de)干(gan)涉光(guang)(guang)(guang)強分(fen)布，不(bu)同(tong)于以上三(san)種點測(ce)量(liang)方式，可一(yi)次(ci)(ci)性(xing)生成薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)待測(ce)區域的(de)(de)表面(mian)形(xing)貌信(xin)息，但同(tong)時(shi)由(you)于存在大量(liang)軸向(xiang)掃描和(he)數據解算，完成單次(ci)(ci)測(ce)量(liang)的(de)(de)時(shi)間(jian)相(xiang)(xiang)對(dui)(dui)較長。仙桃膜(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)厚儀(yi)制作(zuo)廠家白光(guang)(guang)(guang)干(gan)涉膜(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)厚測(ce)量(liang)技術可以通過對(dui)(dui)干(gan)涉圖像的(de)(de)分(fen)析實現(xian)對(dui)(dui)不(bu)同(tong)材料的(de)(de)薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)的(de)(de)測(ce)量(liang)和(he)分(fen)析。

采用(yong)(yong)峰(feng)(feng)峰(feng)(feng)值(zhi)法處(chu)理(li)光(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)數(shu)據時(shi)，被測(ce)光(guang)(guang)(guang)程(cheng)差(cha)的(de)分辨(bian)(bian)率(lv)取決于光(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)儀(yi)或CCD的(de)分辨(bian)(bian)率(lv)。我(wo)們只(zhi)需獲得相(xiang)鄰的(de)兩干(gan)(gan)涉(she)峰(feng)(feng)值(zhi)處(chu)的(de)波(bo)長(chang)(chang)信息即可得出(chu)光(guang)(guang)(guang)程(cheng)差(cha)，不(bu)必關心此(ci)波(bo)長(chang)(chang)處(chu)的(de)光(guang)(guang)(guang)強大(da)小(xiao)(xiao)，從而降低數(shu)據處(chu)理(li)的(de)難度。也可以(yi)利用(yong)(yong)多組相(xiang)鄰的(de)干(gan)(gan)涉(she)光(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)極值(zhi)對應的(de)波(bo)長(chang)(chang)來分別(bie)求(qiu)(qiu)出(chu)光(guang)(guang)(guang)程(cheng)差(cha)，然后再求(qiu)(qiu)平均值(zhi)作為(wei)測(ce)量光(guang)(guang)(guang)程(cheng)差(cha)，這樣可以(yi)提高該方(fang)法的(de)測(ce)量精度。但(dan)是，峰(feng)(feng)峰(feng)(feng)值(zhi)法存在(zai)著一些缺(que)點：當使用(yong)(yong)寬帶光(guang)(guang)(guang)源(yuan)作為(wei)輸入光(guang)(guang)(guang)源(yuan)時(shi)，接收(shou)光(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)中不(bu)可避免地疊加有與(yu)光(guang)(guang)(guang)源(yuan)同分布的(de)背景光(guang)(guang)(guang)，從而引(yin)(yin)起峰(feng)(feng)值(zhi)處(chu)波(bo)長(chang)(chang)的(de)改變，引(yin)(yin)入測(ce)量誤差(cha)。同時(shi)，當兩干(gan)(gan)涉(she)信號之(zhi)間的(de)光(guang)(guang)(guang)程(cheng)差(cha)很小(xiao)(xiao)，導致其(qi)干(gan)(gan)涉(she)光(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)只(zhi)有一個(ge)干(gan)(gan)涉(she)峰(feng)(feng)的(de)時(shi)候，此(ci)法便不(bu)再適用(yong)(yong)。

與激光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源相(xiang)比以白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)的(de)(de)(de)(de)寬光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源由于(yu)具有短相(xiang)干(gan)長(chang)(chang)度(du)的(de)(de)(de)(de)特點使得兩光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)束只(zhi)有在光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)程差(cha)極小(xiao)的(de)(de)(de)(de)情況下才能發(fa)生干(gan)涉(she)(she)因此不會產(chan)生干(gan)擾條紋。同時由于(yu)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)涉(she)(she)產(chan)生的(de)(de)(de)(de)干(gan)涉(she)(she)條紋具有明顯的(de)(de)(de)(de)零光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)程差(cha)位置避免了(le)干(gan)涉(she)(she)級次不確定的(de)(de)(de)(de)問題(ti)。本文以白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)涉(she)(she)原理(li)(li)為理(li)(li)論基礎(chu)對(dui)(dui)(dui)單層透明薄膜厚(hou)(hou)度(du)測量(liang)(liang)尤其(qi)對(dui)(dui)(dui)厚(hou)(hou)度(du)小(xiao)于(yu)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源相(xiang)干(gan)長(chang)(chang)度(du)的(de)(de)(de)(de)薄膜厚(hou)(hou)度(du)測量(liang)(liang)進行了(le)研(yan)究。首先從白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)涉(she)(she)測量(liang)(liang)薄膜厚(hou)(hou)度(du)的(de)(de)(de)(de)原理(li)(li)出發(fa)、分(fen)別詳細闡述了(le)白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)涉(she)(she)原理(li)(li)和薄膜測厚(hou)(hou)原理(li)(li)。接著在金(jin)相(xiang)顯微鏡的(de)(de)(de)(de)基礎(chu)上(shang)構建了(le)型(xing)垂(chui)直白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)掃描系統(tong)作為實驗中(zhong)測試薄膜厚(hou)(hou)度(du)的(de)(de)(de)(de)儀器并(bing)利用白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)涉(she)(she)原理(li)(li)對(dui)(dui)(dui)的(de)(de)(de)(de)位移量(liang)(liang)進行了(le)標(biao)定。白(bai)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)干(gan)涉(she)(she)膜厚(hou)(hou)測量(liang)(liang)技(ji)術可以對(dui)(dui)(dui)薄膜的(de)(de)(de)(de)厚(hou)(hou)度(du)、反射(she)率、折射(she)率等光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)學參(can)數進行測量(liang)(liang)。

開(kai)展白光(guang)(guang)(guang)干涉(she)理論(lun)分(fen)析，在此基(ji)礎詳細(xi)介紹(shao)了白光(guang)(guang)(guang)垂(chui)(chui)直(zhi)掃(sao)描(miao)(miao)干涉(she)技術和(he)白光(guang)(guang)(guang)反射(she)光(guang)(guang)(guang)譜技術的(de)(de)基(ji)本原理，完成(cheng)了應用(yong)于(yu)靶(ba)(ba)(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)殼(ke)(ke)層(ceng)(ceng)(ceng)折(zhe)射(she)率(lv)(lv)和(he)厚(hou)(hou)度(du)分(fen)布(bu)測(ce)(ce)量實驗裝置(zhi)的(de)(de)設計及(ji)搭建。該(gai)實驗裝置(zhi)主要(yao)由白光(guang)(guang)(guang)反射(she)光(guang)(guang)(guang)譜探測(ce)(ce)模塊(kuai)、靶(ba)(ba)(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)吸附(fu)轉位模塊(kuai)、三維(wei)運動模塊(kuai)、氣浮隔(ge)震平臺等幾部(bu)分(fen)組成(cheng)，可實現(xian)靶(ba)(ba)(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)的(de)(de)負(fu)壓吸附(fu)、靶(ba)(ba)(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)位置(zhi)的(de)(de)精(jing)密調整以及(ji)靶(ba)(ba)(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)360°范圍的(de)(de)旋(xuan)轉及(ji)特定角度(du)下靶(ba)(ba)(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)殼(ke)(ke)層(ceng)(ceng)(ceng)白光(guang)(guang)(guang)反射(she)光(guang)(guang)(guang)譜的(de)(de)測(ce)(ce)量。基(ji)于(yu)白光(guang)(guang)(guang)垂(chui)(chui)直(zhi)掃(sao)描(miao)(miao)干涉(she)和(he)白光(guang)(guang)(guang)反射(she)光(guang)(guang)(guang)譜的(de)(de)基(ji)本原理,建立(li)了二者(zhe)聯用(yong)的(de)(de)靶(ba)(ba)(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)殼(ke)(ke)層(ceng)(ceng)(ceng)折(zhe)射(she)率(lv)(lv)測(ce)(ce)量方(fang)法，該(gai)方(fang)法利(li)用(yong)白光(guang)(guang)(guang)反射(she)光(guang)(guang)(guang)譜測(ce)(ce)量靶(ba)(ba)(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)殼(ke)(ke)層(ceng)(ceng)(ceng)光(guang)(guang)(guang)學厚(hou)(hou)度(du)，利(li)用(yong)白光(guang)(guang)(guang)垂(chui)(chui)直(zhi)掃(sao)描(miao)(miao)干涉(she)技術測(ce)(ce)量光(guang)(guang)(guang)線(xian)通過靶(ba)(ba)(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)殼(ke)(ke)層(ceng)(ceng)(ceng)后的(de)(de)光(guang)(guang)(guang)程增量，二者(zhe)聯立(li)即可求得靶(ba)(ba)(ba)(ba)丸(wan)(wan)(wan)折(zhe)射(she)率(lv)(lv)和(he)厚(hou)(hou)度(du)數據。白光(guang)(guang)(guang)干涉(she)膜厚(hou)(hou)測(ce)(ce)量技術可以通過對干涉(she)曲(qu)線(xian)的(de)(de)分(fen)析實現(xian)對薄(bo)膜的(de)(de)厚(hou)(hou)度(du)測(ce)(ce)量。靜安區非接觸式膜厚(hou)(hou)儀(yi)

白光干涉膜厚(hou)測(ce)(ce)量技術可以對不同(tong)材料(liao)的薄(bo)膜進行(xing)聯(lian)合測(ce)(ce)量和(he)分析。湘潭有哪些膜厚(hou)儀

確定(ding)靶丸折(zhe)(zhe)(zhe)射(she)(she)(she)(she)率(lv)(lv)及厚(hou)(hou)度(du)的(de)(de)(de)(de)(de)算(suan)法(fa)，由于干涉光譜信號與膜(mo)(mo)的(de)(de)(de)(de)(de)光參量直接相關(guan)(guan)，這里(li)主要考慮光譜分(fen)(fen)析(xi)的(de)(de)(de)(de)(de)方法(fa)根(gen)據測(ce)量膜(mo)(mo)的(de)(de)(de)(de)(de)反射(she)(she)(she)(she)或透射(she)(she)(she)(she)光譜進行分(fen)(fen)析(xi)計(ji)算(suan)，可(ke)獲得膜(mo)(mo)的(de)(de)(de)(de)(de)厚(hou)(hou)度(du)、折(zhe)(zhe)(zhe)射(she)(she)(she)(she)率(lv)(lv)等參數。根(gen)據光譜信號分(fen)(fen)析(xi)計(ji)算(suan)膜(mo)(mo)折(zhe)(zhe)(zhe)射(she)(she)(she)(she)率(lv)(lv)及厚(hou)(hou)度(du)的(de)(de)(de)(de)(de)方法(fa)主要有(you)極(ji)(ji)值(zhi)(zhi)法(fa)和包絡法(fa)、全光譜擬(ni)合法(fa)。極(ji)(ji)值(zhi)(zhi)法(fa)測(ce)量膜(mo)(mo)厚(hou)(hou)度(du)主要是根(gen)據薄膜(mo)(mo)反射(she)(she)(she)(she)或透射(she)(she)(she)(she)光譜曲線上的(de)(de)(de)(de)(de)波峰的(de)(de)(de)(de)(de)位置(zhi)(zhi)來計(ji)算(suan)，對于弱色(se)散(san)(san)介(jie)質，折(zhe)(zhe)(zhe)射(she)(she)(she)(she)率(lv)(lv)為恒定(ding)值(zhi)(zhi)，根(gen)據兩個(ge)(ge)或兩個(ge)(ge)以上的(de)(de)(de)(de)(de)極(ji)(ji)大值(zhi)(zhi)點(dian)的(de)(de)(de)(de)(de)位置(zhi)(zhi)，求得膜(mo)(mo)的(de)(de)(de)(de)(de)光學厚(hou)(hou)度(du)，若已知膜(mo)(mo)折(zhe)(zhe)(zhe)射(she)(she)(she)(she)率(lv)(lv)即可(ke)求解(jie)膜(mo)(mo)的(de)(de)(de)(de)(de)厚(hou)(hou)度(du)；對于強(qiang)色(se)散(san)(san)介(jie)質，首先利(li)用極(ji)(ji)值(zhi)(zhi)點(dian)求出(chu)膜(mo)(mo)厚(hou)(hou)度(du)的(de)(de)(de)(de)(de)初始值(zhi)(zhi)。薄膜(mo)(mo)厚(hou)(hou)度(du)是一恒定(ding)不變值(zhi)(zhi)，可(ke)根(gen)據極(ji)(ji)大值(zhi)(zhi)點(dian)位置(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)光學厚(hou)(hou)度(du)關(guan)(guan)系(xi)式獲得入(ru)射(she)(she)(she)(she)波長(chang)和折(zhe)(zhe)(zhe)射(she)(she)(she)(she)率(lv)(lv)的(de)(de)(de)(de)(de)對應關(guan)(guan)系(xi)，再依(yi)據薄膜(mo)(mo)材質的(de)(de)(de)(de)(de)色(se)散(san)(san)特性，引入(ru)合適的(de)(de)(de)(de)(de)色(se)散(san)(san)模(mo)型(xing)(xing)，常用的(de)(de)(de)(de)(de)色(se)散(san)(san)模(mo)型(xing)(xing)有(you)cauchy模(mo)型(xing)(xing)、Selimeier模(mo)型(xing)(xing)、Lorenz模(mo)型(xing)(xing)等，利(li)用折(zhe)(zhe)(zhe)射(she)(she)(she)(she)率(lv)(lv)與入(ru)射(she)(she)(she)(she)波長(chang)的(de)(de)(de)(de)(de)關(guan)(guan)系(xi)式，通過二乘(cheng)法(fa)擬(ni)合得到色(se)散(san)(san)模(mo)型(xing)(xing)的(de)(de)(de)(de)(de)系(xi)數，即可(ke)解(jie)得任意入(ru)射(she)(she)(she)(she)波長(chang)下的(de)(de)(de)(de)(de)折(zhe)(zhe)(zhe)射(she)(she)(she)(she)率(lv)(lv)。湘(xiang)潭有(you)哪些膜(mo)(mo)厚(hou)(hou)儀

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