集成(cheng)于(yu)2D掃(sao)描系統(tong)上(shang)，光(guang)譜(pu)(pu)共(gong)焦位(wei)移傳(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)可以提(ti)供針對負(fu)載表面形貌的(de)(de)(de)2D和(he)高(gao)(gao)度(du)測(ce)(ce)量數據。創新的(de)(de)(de)光(guang)譜(pu)(pu)共(gong)焦原理使(shi)本傳(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)可以直接(jie)透過透明(ming)件(jian)工件(jian)的(de)(de)(de)前后表面測(ce)(ce)量厚(hou)度(du)，整個(ge)過程(cheng)需要使(shi)用一個(ge)傳(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)從工件(jian)的(de)(de)(de)一個(ge)側面測(ce)(ce)量。相對于(yu)三角反(fan)射(she)原理的(de)(de)(de)激光(guang)位(wei)移傳(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)，本儀器(qi)(qi)因采(cai)(cai)用同(tong)(tong)軸光(guang)，從而可以更有(you)效地測(ce)(ce)量弧工件(jian)的(de)(de)(de)厚(hou)度(du)。高(gao)(gao)采(cai)(cai)樣(yang)頻率，小尺寸(cun)體積和(he)卡(ka)放的(de)(de)(de)數據接(jie)口，使(shi)本儀器(qi)(qi)非(fei)常容易集成(cheng)至在線生產(chan)和(he)檢(jian)測(ce)(ce)設備中，實(shi)現線上(shang)檢(jian)測(ce)(ce)。由于(yu)采(cai)(cai)用超高(gao)(gao)的(de)(de)(de)采(cai)(cai)樣(yang)頻率和(he)超高(gao)(gao)精(jing)度(du),光(guang)譜(pu)(pu)共(gong)焦傳(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)可以對震(zhen)動物(wu)件(jian)進行測(ce)(ce)量,傳(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)采(cai)(cai)用的(de)(de)(de)非(fei)接(jie)觸(chu)設計，避免測(ce)(ce)量過程(cheng)中對震(zhen)動物(wu)件(jian)造成(cheng)干擾，同(tong)(tong)時可以對復(fu)雜區(qu)域進行詳(xiang)細的(de)(de)(de)測(ce)(ce)量和(he)分析。光(guang)譜(pu)(pu)共(gong)焦技術的(de)(de)(de)研究(jiu)和(he)應用將推動科(ke)學技術的(de)(de)(de)進步。徐匯(hui)區(qu)光(guang)譜(pu)(pu)共(gong)焦詳(xiang)情

非(fei)(fei)球(qiu)面(mian)(mian)(mian)(mian)中(zhong)心(xin)(xin)偏差(cha)的(de)(de)測(ce)量(liang)(liang)手段(duan)主要(yao)(yao)包(bao)括接(jie)觸式(shi)(百分表(biao))和非(fei)(fei)接(jie)觸式(shi)(光(guang)(guang)學傳感器)。文(wen)章(zhang)基于(yu)自準直(zhi)定心(xin)(xin)原理和光(guang)(guang)譜(pu)共(gong)焦位移傳感技(ji)術，對高階非(fei)(fei)球(qiu)面(mian)(mian)(mian)(mian)的(de)(de)中(zhong)心(xin)(xin)偏差(cha)進行(xing)了非(fei)(fei)接(jie)觸精密測(ce)量(liang)(liang)。光(guang)(guang)學加工人員(yuan)根(gen)據測(ce)量(liang)(liang)出的(de)(de)校正量(liang)(liang)和位置方向對球(qiu)面(mian)(mian)(mian)(mian)進行(xing)拋光(guang)(guang)，使非(fei)(fei)球(qiu)面(mian)(mian)(mian)(mian)透(tou)鏡的(de)(de)中(zhong)心(xin)(xin)偏差(cha)滿足光(guang)(guang)學系(xi)統設計的(de)(de)要(yao)(yao)求(qiu)。由于(yu)非(fei)(fei)球(qiu)面(mian)(mian)(mian)(mian)已加工到(dao)一(yi)定精度要(yao)(yao)求(qiu)，因此對球(qiu)面(mian)(mian)(mian)(mian)的(de)(de)拋光(guang)(guang)和磨削是糾(jiu)正非(fei)(fei)球(qiu)面(mian)(mian)(mian)(mian)透(tou)鏡中(zhong)心(xin)(xin)偏差(cha)的(de)(de)主要(yao)(yao)方法。利用軸對稱高階非(fei)(fei)球(qiu)面(mian)(mian)(mian)(mian)曲線(xian)的(de)(de)數(shu)學模(mo)型計算被測(ce)環D帶的(de)(de)旋(xuan)轉角(jiao)度θ，即(ji)光(guang)(guang)譜(pu)共(gong)焦位移傳感器的(de)(de)工作(zuo)角(jiao)。昌平區光(guang)(guang)譜(pu)共(gong)焦生產廠家(jia)哪(na)家(jia)好光(guang)(guang)譜(pu)共(gong)焦技(ji)術在航空(kong)航天(tian)領域可(ke)以用于(yu)航空(kong)發動機和航天(tian)器部件的(de)(de)精度檢測(ce)。

光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)共焦位(wei)(wei)移(yi)(yi)傳感器(qi)(qi)基本原理如圖1所示，由光(guang)(guang)(guang)(guang)源、分(fen)光(guang)(guang)(guang)(guang)鏡(jing)、光(guang)(guang)(guang)(guang)學色散鏡(jing)頭組、小孔(kong)(kong)以及(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)儀(yi)等部(bu)分(fen)組成(cheng)。傳感器(qi)(qi)通過色散鏡(jing)頭進行(xing)(xing)色散，將位(wei)(wei)移(yi)(yi)信(xin)(xin)息(xi)(xi)轉換(huan)(huan)成(cheng)波長信(xin)(xin)息(xi)(xi)，使(shi)用光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)儀(yi)進行(xing)(xing)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)分(fen)解(jie)得出(chu)(chu)波長的變化信(xin)(xin)息(xi)(xi)，再反解(jie)得出(chu)(chu)被測位(wei)(wei)移(yi)(yi)。其中色散鏡(jing)頭作(zuo)為光(guang)(guang)(guang)(guang)學部(bu)分(fen)完成(cheng)了波長和(he)位(wei)(wei)移(yi)(yi)的一一映射(she)，實(shi)(shi)現(xian)了波長和(he)位(wei)(wei)移(yi)(yi)之(zhi)間(jian)的編碼轉化。光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)儀(yi)則實(shi)(shi)現(xian)波長的測量及(ji)位(wei)(wei)移(yi)(yi)反解(jie)輸出(chu)(chu)。當(dang)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)信(xin)(xin)息(xi)(xi)突破小孔(kong)(kong)的限制，借助(zhu)平面光(guang)(guang)(guang)(guang)柵(zha)、凹面反射(she)鏡(jing)進行(xing)(xing)光(guang)(guang)(guang)(guang)線(xian)的衍(yan)射(she)和(he)匯(hui)聚，將反射(she)出(chu)(chu)來(lai)的匯(hui)聚光(guang)(guang)(guang)(guang)照射(she)在(zai)線(xian)陣CCD上進行(xing)(xing)光(guang)(guang)(guang)(guang)電轉換(huan)(huan)，借助(zhu)光(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)信(xin)(xin)號采集實(shi)(shi)現(xian)模數轉換(huan)(huan)， 通過解(jie)碼得到位(wei)(wei)移(yi)(yi)信(xin)(xin)息(xi)(xi)。

為(wei)了(le)(le)提(ti)高(gao)(gao)加工(gong)檢(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)效率(lv)，實(shi)(shi)現(xian)尺寸形位公差(cha)與微觀輪廓的(de)(de)同平(ping)臺測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)，提(ti)出一(yi)種基(ji)于光譜(pu)共焦(jiao)位移傳感器(qi)在(zai)(zai)現(xian)場坐標(biao)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)平(ping)臺上集成表面(mian)(mian)粗糙度(du)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)的(de)(de)方(fang)法。搭(da)建實(shi)(shi)驗測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)系統且在(zai)(zai)Lab VIEW平(ping)臺上開發系統的(de)(de)硬(ying)件通(tong)訊(xun)控制模塊(kuai)，并配套了(le)(le)高(gao)(gao)斯(si)輪廓濾(lv)波(bo)處理及表面(mian)(mian)粗糙度(du)的(de)(de)評(ping)價環境(jing)，建立了(le)(le)非接觸的(de)(de)表面(mian)(mian)粗糙度(du)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)能力。對標(biao)準(zhun)臺階、表面(mian)(mian)粗糙度(du)標(biao)準(zhun)樣塊(kuai)和曲面(mian)(mian)輪廓樣品進行了(le)(le)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)，實(shi)(shi)驗結果表明:該測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)系統具有(you)較高(gao)(gao)的(de)(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)精度(du)和重復(fu)性，粗糙度(du)參(can)數Ｒa的(de)(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)重復(fu)性為(wei)0.0026μm，在(zai)(zai)優化(hua)零件檢(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)流程和提(ti)高(gao)(gao)整體檢(jian)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)效率(lv)等方(fang)面(mian)(mian)具有(you)一(yi)定的(de)(de)應(ying)用(yong)前景。光譜(pu)共焦(jiao)技(ji)術具有(you)軸向按(an)層分析(xi)功能，精度(du)可以達到納米(mi)級別。

硅片(pian)柵(zha)線(xian)(xian)的(de)(de)(de)厚(hou)度(du)(du)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)方(fang)法我(wo)們(men)(men)還用(yong)創視智(zhi)能TS-C系(xi)列光(guang)譜(pu)共焦(jiao)(jiao)傳感器(qi)和CCS控制(zhi)器(qi)，TS-C系(xi)列光(guang)譜(pu)共焦(jiao)(jiao)位移傳感器(qi)能夠(gou)實現(xian)0.025 μm的(de)(de)(de)重(zhong)復精度(du)(du)，±0.02% of F.S.的(de)(de)(de)線(xian)(xian)性精度(du)(du)，10kHz的(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)速度(du)(du)，以及±60°的(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)角度(du)(du)，能夠(gou)適應鏡面、透(tou)(tou)明(ming)、半(ban)透(tou)(tou)明(ming)、膜層(ceng)、金(jin)屬粗(cu)糙面、多層(ceng)玻璃等材(cai)料表(biao)面，支持485、USB、以太網、模擬(ni)量(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)數據(ju)傳輸(shu)接口。。我(wo)們(men)(men)主要測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)太陽(yang)能光(guang)伏(fu)板硅片(pian)刪線(xian)(xian)的(de)(de)(de)厚(hou)度(du)(du)，所以我(wo)們(men)(men)這(zhe)次(ci)用(yong)單探(tan)頭(tou)在二維運(yun)動平(ping)臺上進(jin)行掃描(miao)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)。柵(zha)線(xian)(xian)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)方(fang)法：首先我(wo)們(men)(men)將需(xu)要掃描(miao)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)硅片(pian)選擇(ze)三個區(qu)域進(jin)行標(biao)記(ji)如圖1，用(yong)光(guang)譜(pu)共焦(jiao)(jiao)C1200單探(tan)頭(tou)單側測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)，柵(zha)線(xian)(xian)厚(hou)度(du)(du)是柵(zha)線(xian)(xian)高度(du)(du)-基底的(de)(de)(de)高度(du)(du)差。二維運(yun)動平(ping)臺掃描(miao)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)（由于柵(zha)線(xian)(xian)不是一(yi)個平(ping)整面，自身有一(yi)定的(de)(de)(de)曲率，對測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)區(qu)域的(de)(de)(de)選擇(ze)隨機性影響較大(da)）光(guang)譜(pu)共焦(jiao)(jiao)技術(shu)具有很(hen)大(da)的(de)(de)(de)市場潛力。崇明(ming)區(qu)光(guang)譜(pu)共焦(jiao)(jiao)供應

光譜共焦(jiao)位移傳感器可以實現對材料的微小變形進(jin)行精確測量，對于研究材料的性能具有重(zhong)要意義。徐匯區(qu)光譜共焦(jiao)詳情

光(guang)(guang)(guang)譜共焦(jiao)(jiao)(jiao)技術(shu)是在共焦(jiao)(jiao)(jiao)顯微術(shu)基(ji)礎(chu)上(shang)發展而(er)來，其無需(xu)軸(zhou)向掃描，直接(jie)由波長對應軸(zhou)向距離信息，從而(er)大(da)幅提高測(ce)(ce)量(liang)(liang)速度(du)(du)。而(er)基(ji)于光(guang)(guang)(guang)譜共焦(jiao)(jiao)(jiao)技術(shu)的傳(chuan)(chuan)感器(qi)是近(jin)年來出現(xian)的一(yi)(yi)種高精度(du)(du)、非接(jie)觸式(shi)的新型(xing)傳(chuan)(chuan)感器(qi)，精度(du)(du)理論上(shang)可達 nm 量(liang)(liang)級(ji)。由于光(guang)(guang)(guang)譜共焦(jiao)(jiao)(jiao)傳(chuan)(chuan)感器(qi)對被(bei)測(ce)(ce)表面狀況要(yao)求低，允許被(bei)測(ce)(ce)表面有更大(da)的傾斜角，測(ce)(ce)量(liang)(liang)速度(du)(du)快，實時性高，迅速成為工業測(ce)(ce)量(liang)(liang)的熱門傳(chuan)(chuan)感器(qi)，大(da)量(liang)(liang)應用(yong)于精密定位(wei)、薄膜厚度(du)(du)測(ce)(ce)量(liang)(liang)、微觀輪(lun)廓(kuo)精密測(ce)(ce)量(liang)(liang)等領域。本文(wen)在論述光(guang)(guang)(guang)譜共焦(jiao)(jiao)(jiao)技術(shu)原理的基(ji)礎(chu)上(shang)，列舉了光(guang)(guang)(guang)譜共焦(jiao)(jiao)(jiao)傳(chuan)(chuan)感器(qi)在幾(ji)何量(liang)(liang)計量(liang)(liang)測(ce)(ce)試中的典型(xing)應用(yong)，探討共焦(jiao)(jiao)(jiao)技術(shu)在未來精密測(ce)(ce)量(liang)(liang)的進(jin)一(yi)(yi)步應用(yong)，展望其發展前景。徐(xu)匯區(qu)光(guang)(guang)(guang)譜共焦(jiao)(jiao)(jiao)詳情

本文來自四(si)川精碳(tan)偉業環保科技有限責(ze)任公司：//wasul.cn/Article/72a799920.html