極(ji)值法求解過(guo)程計算(suan)簡(jian)單，速度(du)(du)(du)快，同時(shi)確定薄(bo)膜(mo)(mo)的(de)(de)(de)多個光(guang)學常(chang)數(shu)(shu)及解決多值性問題，測(ce)(ce)(ce)試范圍廣，但(dan)沒有(you)(you)考慮薄(bo)膜(mo)(mo)均勻性和(he)(he)基底色散(san)的(de)(de)(de)因素(su)，以至于(yu)精(jing)(jing)度(du)(du)(du)不夠高。此外，由于(yu)受曲(qu)線擬合精(jing)(jing)度(du)(du)(du)的(de)(de)(de)限制，該(gai)方(fang)法對膜(mo)(mo)厚(hou)(hou)的(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)范圍有(you)(you)要求，通常(chang)用這種方(fang)法測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)的(de)(de)(de)薄(bo)膜(mo)(mo)厚(hou)(hou)度(du)(du)(du)應大(da)于(yu)200nm且小于(yu)10μm，以確保(bao)光(guang)譜(pu)信號(hao)中(zhong)的(de)(de)(de)干涉波峰數(shu)(shu)恰當。全(quan)光(guang)譜(pu)擬合法是基于(yu)客觀條件或基本常(chang)識來設置每個擬合參數(shu)(shu)上限、下限，并(bing)為該(gai)區域的(de)(de)(de)薄(bo)膜(mo)(mo)生成一組(zu)或多組(zu)光(guang)學參數(shu)(shu)及厚(hou)(hou)度(du)(du)(du)的(de)(de)(de)初始(shi)值，引入適合的(de)(de)(de)色散(san)模型，再根據麥克斯韋方(fang)程組(zu)的(de)(de)(de)推導。這樣(yang)求得的(de)(de)(de)值自(zi)然和(he)(he)實際(ji)的(de)(de)(de)透(tou)過(guo)率(lv)和(he)(he)反射(she)(she)率(lv)（通過(guo)光(guang)學系統直(zhi)接測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)的(de)(de)(de)薄(bo)膜(mo)(mo)透(tou)射(she)(she)率(lv)或反射(she)(she)率(lv)）有(you)(you)所不同，建立評價(jia)函數(shu)(shu)，當計算(suan)的(de)(de)(de)透(tou)過(guo)率(lv)/反射(she)(she)率(lv)與實際(ji)值之(zhi)間(jian)的(de)(de)(de)偏(pian)差小時(shi)，我(wo)們就可(ke)(ke)以認(ren)為預設的(de)(de)(de)初始(shi)值就是要測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)的(de)(de)(de)薄(bo)膜(mo)(mo)參數(shu)(shu)。白光(guang)干涉膜(mo)(mo)厚(hou)(hou)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)技術可(ke)(ke)以實現對薄(bo)膜(mo)(mo)厚(hou)(hou)度(du)(du)(du)的(de)(de)(de)在線檢測(ce)(ce)(ce)和(he)(he)自(zi)動控制。崇明區膜(mo)(mo)厚(hou)(hou)儀大(da)概價(jia)格多少

薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)作為(wei)重要元件，通(tong)常使(shi)用(yong)(yong)(yong)金(jin)(jin)屬、合(he)金(jin)(jin)、化合(he)物、聚(ju)合(he)物等(deng)(deng)作為(wei)其(qi)主要基(ji)(ji)材，品類涵蓋光(guang)(guang)學(xue)(xue)膜(mo)(mo)(mo)(mo)、電(dian)隔膜(mo)(mo)(mo)(mo)、阻(zu)隔膜(mo)(mo)(mo)(mo)、保(bao)護(hu)膜(mo)(mo)(mo)(mo)、裝(zhuang)飾膜(mo)(mo)(mo)(mo)等(deng)(deng)多種功能性薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)，廣(guang)泛應用(yong)(yong)(yong)于現代光(guang)(guang)學(xue)(xue)、電(dian)子、醫療、能源、建材等(deng)(deng)技術領(ling)(ling)域。常用(yong)(yong)(yong)薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)的(de)(de)(de)厚(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)范圍從納米(mi)(mi)(mi)級到(dao)微(wei)米(mi)(mi)(mi)級不等(deng)(deng)。納米(mi)(mi)(mi)和亞微(wei)米(mi)(mi)(mi)級薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)主要是基(ji)(ji)于干(gan)涉(she)效應調制的(de)(de)(de)光(guang)(guang)學(xue)(xue)薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)，包(bao)括各(ge)種增透(tou)增反(fan)膜(mo)(mo)(mo)(mo)、偏振(zhen)膜(mo)(mo)(mo)(mo)、干(gan)涉(she)濾(lv)光(guang)(guang)片和分光(guang)(guang)膜(mo)(mo)(mo)(mo)等(deng)(deng)。部分薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)經(jing)特(te)殊工(gong)藝處理后還具有(you)耐高溫、耐腐(fu)蝕、耐磨(mo)損等(deng)(deng)特(te)性，對通(tong)訊(xun)、顯示、存儲等(deng)(deng)領(ling)(ling)域內光(guang)(guang)學(xue)(xue)儀器(qi)的(de)(de)(de)質量起(qi)決(jue)定(ding)性作用(yong)(yong)(yong)[1-3]，如平面(mian)顯示器(qi)使(shi)用(yong)(yong)(yong)的(de)(de)(de)ITO鍍膜(mo)(mo)(mo)(mo)，太陽能電(dian)池表(biao)面(mian)的(de)(de)(de)SiO2減反(fan)射膜(mo)(mo)(mo)(mo)等(deng)(deng)。微(wei)米(mi)(mi)(mi)級以(yi)(yi)上的(de)(de)(de)薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)以(yi)(yi)工(gong)農業薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)為(wei)主，多使(shi)用(yong)(yong)(yong)聚(ju)酯(zhi)材料(liao)，具有(you)易改性、可(ke)回收、適(shi)用(yong)(yong)(yong)范圍廣(guang)等(deng)(deng)特(te)點。例如6微(wei)米(mi)(mi)(mi)厚(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)以(yi)(yi)下的(de)(de)(de)電(dian)容器(qi)膜(mo)(mo)(mo)(mo)，20微(wei)米(mi)(mi)(mi)厚(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)以(yi)(yi)下的(de)(de)(de)大部分包(bao)裝(zhuang)印刷用(yong)(yong)(yong)薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)，25~38微(wei)米(mi)(mi)(mi)厚(hou)(hou)(hou)(hou)的(de)(de)(de)建筑玻璃(li)貼膜(mo)(mo)(mo)(mo)及(ji)汽車貼膜(mo)(mo)(mo)(mo)，以(yi)(yi)及(ji)厚(hou)(hou)(hou)(hou)度(du)為(wei)25~65微(wei)米(mi)(mi)(mi)的(de)(de)(de)防偽標牌(pai)及(ji)拉(la)線膠(jiao)帶等(deng)(deng)。微(wei)米(mi)(mi)(mi)級薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)利(li)用(yong)(yong)(yong)其(qi)良(liang)好(hao)的(de)(de)(de)延展(zhan)、密封(feng)、絕(jue)緣特(te)性，遍及(ji)食(shi)品包(bao)裝(zhuang)、表(biao)面(mian)保(bao)護(hu)、磁帶基(ji)(ji)材、感光(guang)(guang)儲能等(deng)(deng)應用(yong)(yong)(yong)市(shi)(shi)場(chang)，加工(gong)速度(du)快，市(shi)(shi)場(chang)占比高。寧河區(qu)膜(mo)(mo)(mo)(mo)厚(hou)(hou)(hou)(hou)儀按需(xu)定(ding)制白光(guang)(guang)干(gan)涉(she)膜(mo)(mo)(mo)(mo)厚(hou)(hou)(hou)(hou)測(ce)量技術可(ke)以(yi)(yi)對薄(bo)(bo)膜(mo)(mo)(mo)(mo)的(de)(de)(de)各(ge)項光(guang)(guang)學(xue)(xue)參數進行(xing)聯合(he)測(ce)量和分析。

根據以(yi)(yi)上分(fen)(fen)析可知，白光干涉(she)時(shi)域解調(diao)方(fang)(fang)案的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)優點是(shi)：①能(neng)夠實現測(ce)量(liang)；②抗(kang)干擾(rao)能(neng)力強(qiang)，系統的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)分(fen)(fen)辨(bian)率(lv)(lv)與光源輸(shu)出功率(lv)(lv)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)波動，光源的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)波長漂移以(yi)(yi)及(ji)外界環境對光纖的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)擾(rao)動等因素無關；③測(ce)量(liang)精(jing)度(du)與零級(ji)干涉(she)條紋的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)確定精(jing)度(du)以(yi)(yi)及(ji)反射鏡的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)精(jing)度(du)有關；④結構簡單，成(cheng)本較低。但是(shi)，時(shi)域解調(diao)方(fang)(fang)法需(xu)要借助掃描(miao)部件移動干涉(she)儀(yi)一(yi)端的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)反射鏡來進行(xing)相(xiang)位補(bu)償(chang)，所以(yi)(yi)掃描(miao)裝置(zhi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)分(fen)(fen)辨(bian)率(lv)(lv)將影響系統的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)精(jing)度(du)。采用這(zhe)種解調(diao)方(fang)(fang)案的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)測(ce)量(liang)分(fen)(fen)辨(bian)率(lv)(lv)一(yi)般是(shi)幾個微米，達到(dao)亞(ya)微米的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)分(fen)(fen)辨(bian)率(lv)(lv)，主要受(shou)機械掃描(miao)部件的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)分(fen)(fen)辨(bian)率(lv)(lv)和穩定性(xing)限制。文獻[46]所報道的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)位移掃描(miao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)分(fen)(fen)辨(bian)率(lv)(lv)可以(yi)(yi)達到(dao)0.54μm。當所測(ce)光程差較小時(shi)，F-P腔前后表面干涉(she)峰值相(xiang)距很(hen)近，難以(yi)(yi)區(qu)分(fen)(fen)，此(ci)時(shi)時(shi)域解調(diao)方(fang)(fang)案的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)應(ying)用受(shou)到(dao)限制。

在納(na)米(mi)量(liang)(liang)(liang)級(ji)薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)的(de)(de)(de)(de)各(ge)項相關(guan)參(can)數中(zhong)，薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)材(cai)料的(de)(de)(de)(de)厚度(du)是薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)設計和制備過程中(zhong)的(de)(de)(de)(de)重(zhong)(zhong)要(yao)參(can)數，是決定薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)性(xing)質和性(xing)能(neng)的(de)(de)(de)(de)基本(ben)參(can)量(liang)(liang)(liang)之一，它對于(yu)(yu)薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)的(de)(de)(de)(de)光(guang)學(xue)、力學(xue)和電磁性(xing)能(neng)等都有(you)重(zhong)(zhong)要(yao)的(de)(de)(de)(de)影響[3]。但是由于(yu)(yu)納(na)米(mi)量(liang)(liang)(liang)級(ji)薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)的(de)(de)(de)(de)極小尺寸(cun)及(ji)其(qi)(qi)(qi)突(tu)出(chu)的(de)(de)(de)(de)表面效應，使得(de)(de)對其(qi)(qi)(qi)厚度(du)的(de)(de)(de)(de)準確測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)變得(de)(de)困難。經(jing)過眾多科(ke)研技術(shu)(shu)人員的(de)(de)(de)(de)探(tan)索和研究(jiu)，新的(de)(de)(de)(de)薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)厚度(du)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)理(li)論(lun)和測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)技術(shu)(shu)不(bu)斷涌現(xian)，測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)方(fang)(fang)(fang)法(fa)(fa)實現(xian)了從手動(dong)到自動(dong)，有(you)損到無(wu)損測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)。由于(yu)(yu)待測(ce)(ce)薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)材(cai)料的(de)(de)(de)(de)性(xing)質不(bu)同，其(qi)(qi)(qi)適用的(de)(de)(de)(de)厚度(du)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)方(fang)(fang)(fang)案也不(bu)盡相同。對于(yu)(yu)厚度(du)在納(na)米(mi)量(liang)(liang)(liang)級(ji)的(de)(de)(de)(de)薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)，利用光(guang)學(xue)原理(li)的(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)技術(shu)(shu)應用。相比于(yu)(yu)其(qi)(qi)(qi)他方(fang)(fang)(fang)法(fa)(fa)，光(guang)學(xue)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)方(fang)(fang)(fang)法(fa)(fa)因為(wei)具有(you)精度(du)高，速度(du)快，無(wu)損測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)等優勢而(er)成為(wei)主要(yao)的(de)(de)(de)(de)檢測(ce)(ce)手段。其(qi)(qi)(qi)中(zhong)具有(you)代表性(xing)的(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)方(fang)(fang)(fang)法(fa)(fa)有(you)橢(tuo)圓偏振法(fa)(fa)，干涉(she)法(fa)(fa)，光(guang)譜法(fa)(fa)，棱鏡耦合(he)法(fa)(fa)等。白光(guang)干涉(she)膜(mo)(mo)(mo)厚測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)技術(shu)(shu)可(ke)以通過對干涉(she)曲(qu)線(xian)的(de)(de)(de)(de)分(fen)析實現(xian)對薄(bo)膜(mo)(mo)(mo)的(de)(de)(de)(de)光(guang)學(xue)參(can)數和厚度(du)分(fen)布的(de)(de)(de)(de)聯合(he)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)和分(fen)析。

論(lun)文主(zhu)要(yao)以半導(dao)體(ti)鍺(zang)(zang)和(he)貴金(jin)屬金(jin)兩種材(cai)料為(wei)對象，研究了白(bai)光(guang)(guang)干(gan)(gan)涉法(fa)(fa)、表(biao)面(mian)(mian)等(deng)離(li)(li)子(zi)體(ti)共振法(fa)(fa)和(he)外差(cha)干(gan)(gan)涉法(fa)(fa)實現納米級薄(bo)膜(mo)厚(hou)度(du)(du)(du)準確測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)可(ke)行性(xing)。由(you)于不(bu)(bu)同材(cai)料薄(bo)膜(mo)的(de)(de)(de)特性(xing)不(bu)(bu)同，所(suo)適用(yong)的(de)(de)(de)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)方法(fa)(fa)也不(bu)(bu)同。半導(dao)體(ti)鍺(zang)(zang)膜(mo)具有折射率高(gao)(gao)，在通信波段（1550nm附近(jin)）不(bu)(bu)透明(ming)的(de)(de)(de)特點，選(xuan)擇采用(yong)白(bai)光(guang)(guang)干(gan)(gan)涉的(de)(de)(de)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)方法(fa)(fa)；而厚(hou)度(du)(du)(du)更薄(bo)的(de)(de)(de)金(jin)膜(mo)的(de)(de)(de)折射率為(wei)復數，且能激發明(ming)顯的(de)(de)(de)表(biao)面(mian)(mian)等(deng)離(li)(li)子(zi)體(ti)效應，因而可(ke)借(jie)助基于表(biao)面(mian)(mian)等(deng)離(li)(li)子(zi)體(ti)共振的(de)(de)(de)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)方法(fa)(fa)；為(wei)了進一步(bu)改善測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)精度(du)(du)(du)，論(lun)文還研究了外差(cha)干(gan)(gan)涉測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)法(fa)(fa)，通過引入高(gao)(gao)精度(du)(du)(du)的(de)(de)(de)相(xiang)(xiang)位(wei)(wei)解調手(shou)段，檢測(ce)(ce)P光(guang)(guang)與S光(guang)(guang)之間的(de)(de)(de)相(xiang)(xiang)位(wei)(wei)差(cha)提升厚(hou)度(du)(du)(du)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)精度(du)(du)(du)。白(bai)光(guang)(guang)干(gan)(gan)涉膜(mo)厚(hou)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)技(ji)術可(ke)以應用(yong)于電(dian)子(zi)顯示器中的(de)(de)(de)薄(bo)膜(mo)厚(hou)度(du)(du)(du)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)。衡(heng)陽膜(mo)厚(hou)儀性(xing)價比高(gao)(gao)企業

白光(guang)干涉膜厚測量(liang)技術的應用涵蓋了材(cai)料科學(xue)、光(guang)學(xue)制造、電子工業等多(duo)個(ge)領域。崇明區膜厚儀大概價格多(duo)少(shao)

光(guang)(guang)(guang)學(xue)測厚(hou)方(fang)(fang)(fang)法(fa)(fa)(fa)(fa)集光(guang)(guang)(guang)學(xue)、機械、電(dian)子、計(ji)算機圖像處理(li)技術為一體(ti)，以其(qi)光(guang)(guang)(guang)波長為測量(liang)基準(zhun)，從原理(li)上保證了(le)納(na)米級的(de)(de)測量(liang)精(jing)度(du)(du)。同時(shi)，光(guang)(guang)(guang)學(xue)測厚(hou)作為非(fei)接觸式的(de)(de)測量(liang)方(fang)(fang)(fang)法(fa)(fa)(fa)(fa)，被廣(guang)泛應用于精(jing)密元(yuan)件表面形貌及(ji)厚(hou)度(du)(du)的(de)(de)無損測量(liang)。其(qi)中，薄膜厚(hou)度(du)(du)光(guang)(guang)(guang)學(xue)測量(liang)方(fang)(fang)(fang)法(fa)(fa)(fa)(fa)按光(guang)(guang)(guang)吸收、透反射(she)、偏(pian)(pian)振(zhen)(zhen)和(he)(he)干(gan)涉等(deng)光(guang)(guang)(guang)學(xue)原理(li)可分為分光(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)度(du)(du)法(fa)(fa)(fa)(fa)、橢圓偏(pian)(pian)振(zhen)(zhen)法(fa)(fa)(fa)(fa)、干(gan)涉法(fa)(fa)(fa)(fa)等(deng)多種測量(liang)方(fang)(fang)(fang)法(fa)(fa)(fa)(fa)。不(bu)同的(de)(de)測量(liang)方(fang)(fang)(fang)法(fa)(fa)(fa)(fa)，其(qi)適用范圍各有側重，褒貶不(bu)一。因此結(jie)合多種測量(liang)方(fang)(fang)(fang)法(fa)(fa)(fa)(fa)的(de)(de)多通(tong)道(dao)式復(fu)合測量(liang)法(fa)(fa)(fa)(fa)也有研究(jiu)，如橢圓偏(pian)(pian)振(zhen)(zhen)法(fa)(fa)(fa)(fa)和(he)(he)光(guang)(guang)(guang)度(du)(du)法(fa)(fa)(fa)(fa)結(jie)合的(de)(de)光(guang)(guang)(guang)譜橢偏(pian)(pian)法(fa)(fa)(fa)(fa)，彩(cai)色共(gong)焦光(guang)(guang)(guang)譜干(gan)涉和(he)(he)白(bai)光(guang)(guang)(guang)顯微干(gan)涉的(de)(de)結(jie)合法(fa)(fa)(fa)(fa)等(deng)。崇(chong)明(ming)區膜厚(hou)儀大概價格多少(shao)

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