光譜共焦(jiao)(jiao)位(wei)移傳(chuan)感器在金屬(shu)內(nei)(nei)壁輪(lun)廓掃描(miao)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)中(zhong)具有大量(liang)(liang)的(de)應(ying)用，以(yi)(yi)下是幾種(zhong)典型應(ying)用：尺寸測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)利用光譜共焦(jiao)(jiao)位(wei)移傳(chuan)感器可以(yi)(yi)精(jing)確地(di)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)金屬(shu)內(nei)(nei)壁的(de)尺寸，如(ru)直徑(jing)、圓度(du)等。通過測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)內(nei)(nei)壁不(bu)同位(wei)置的(de)直徑(jing)，可以(yi)(yi)評(ping)估內(nei)(nei)壁的(de)形(xing)(xing)變和扭曲程(cheng)度(du)，進(jin)(jin)而評(ping)估加工(gong)質量(liang)(liang)。表(biao)面(mian)形(xing)(xing)貌測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)光譜共焦(jiao)(jiao)位(wei)移傳(chuan)感器可以(yi)(yi)高精(jing)度(du)地(di)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)金屬(shu)內(nei)(nei)壁的(de)表(biao)面(mian)形(xing)(xing)貌，如(ru)粗糙度(du)、峰谷分布等。通過對表(biao)面(mian)形(xing)(xing)貌數據進(jin)(jin)行處理和分析，可以(yi)(yi)評(ping)估加工(gong)表(biao)面(mian)的(de)質量(liang)(liang)，進(jin)(jin)而優化加工(gong)參數和提高加工(gong)效率。

光譜(pu)共焦位移(yi)傳(chuan)感器可(ke)以(yi)應用于材(cai)料科學、生(sheng)物醫學、納米(mi)技術(shu)等多個領(ling)域(yu)。徐(xu)州光譜(pu)共焦詳情

隨著(zhu)工業快速的(de)(de)發展，對精(jing)(jing)密測(ce)量(liang)技(ji)(ji)(ji)術的(de)(de)要(yao)求越來越高(gao)(gao)(gao)(gao)，位(wei)移(yi)測(ce)量(liang)技(ji)(ji)(ji)術作為幾何量(liang)精(jing)(jing)密測(ce)量(liang)的(de)(de)基礎，不僅需要(yao)超高(gao)(gao)(gao)(gao)測(ce)量(liang)精(jing)(jing)度(du)(du)，而且需要(yao)對環境和材(cai)料(liao)的(de)(de)大量(liang)適應(ying)性，并(bing)且逐步趨(qu)于實時、無(wu)損(sun)檢測(ce)。與傳(chuan)統接觸式測(ce)量(liang)方(fang)法相比，光譜(pu)(pu)(pu)共焦(jiao)(jiao)位(wei)移(yi)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)具有(you)高(gao)(gao)(gao)(gao)速度(du)(du)，高(gao)(gao)(gao)(gao)精(jing)(jing)度(du)(du)，高(gao)(gao)(gao)(gao)適應(ying)性等明顯優勢(shi)。本文通過對光譜(pu)(pu)(pu)共焦(jiao)(jiao)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)應(ying)用(yong)場(chang)景的(de)(de)分析，有(you)助于廣大讀者進一步加深對光譜(pu)(pu)(pu)共焦(jiao)(jiao)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)技(ji)(ji)(ji)術的(de)(de)理解。得益于納米級精(jing)(jing)度(du)(du)及(ji)超好的(de)(de)角度(du)(du)特(te)性，光譜(pu)(pu)(pu)共焦(jiao)(jiao)位(wei)移(yi)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)可(ke)用(yong)于對表面(mian)粗糙度(du)(du)進行高(gao)(gao)(gao)(gao)精(jing)(jing)度(du)(du)測(ce)量(liang)。相對于傳(chuan)統的(de)(de)接觸式粗糙度(du)(du)儀，光譜(pu)(pu)(pu)共焦(jiao)(jiao)位(wei)移(yi)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)以更高(gao)(gao)(gao)(gao)的(de)(de)速度(du)(du)采集粗糙度(du)(du)輪(lun)廓，并(bing)且對產品表面(mian)無(wu)任何損(sun)傷。高(gao)(gao)(gao)(gao)速光譜(pu)(pu)(pu)共焦(jiao)(jiao)零售價格光譜(pu)(pu)(pu)共焦(jiao)(jiao)位(wei)移(yi)傳(chuan)感(gan)(gan)器(qi)可(ke)以實現(xian)對不同材(cai)料(liao)的(de)(de)位(wei)移(yi)測(ce)量(liang)，包括金屬(shu)、陶(tao)瓷、塑料(liao)等。

采(cai)用(yong)對比測試方法，首先對基于(yu)(yu)(yu)白(bai)光(guang)(guang)共(gong)(gong)焦光(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)技術的(de)(de)(de)靶(ba)丸(wan)(wan)外表(biao)面(mian)輪(lun)(lun)廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)測量(liang)精度進行(xing)了考核，圖(tu)5(a)是靶(ba)丸(wan)(wan)外表(biao)面(mian)輪(lun)(lun)廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)的(de)(de)(de)原子(zi)(zi)力(li)顯(xian)微(wei)鏡輪(lun)(lun)廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)儀(yi)(yi)(yi)和白(bai)光(guang)(guang)共(gong)(gong)焦光(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)輪(lun)(lun)廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)儀(yi)(yi)(yi)的(de)(de)(de)測量(liang)曲線。為了便于(yu)(yu)(yu)比較，將原子(zi)(zi)力(li)顯(xian)微(wei)鏡輪(lun)(lun)廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)儀(yi)(yi)(yi)的(de)(de)(de)測量(liang)數(shu)據(ju)進行(xing)了偏移(yi)。從(cong)圖(tu)中(zhong)可以看出，二者的(de)(de)(de)低(di)階輪(lun)(lun)廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)整體相(xiang)似(si)，局(ju)部的(de)(de)(de)輪(lun)(lun)廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)信(xin)息存在(zai)(zai)一(yi)定的(de)(de)(de)偏差，原因在(zai)(zai)于(yu)(yu)(yu)二者在(zai)(zai)靶(ba)丸(wan)(wan)赤(chi)道附近的(de)(de)(de)精確(que)測量(liang)圓周輪(lun)(lun)廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)結果不(bu)一(yi)致(zhi)(zhi);此外，白(bai)光(guang)(guang)共(gong)(gong)焦光(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)的(de)(de)(de)信(xin)噪比較原子(zi)(zi)力(li)低(di)，這表(biao)明白(bai)光(guang)(guang)共(gong)(gong)焦光(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)適用(yong)于(yu)(yu)(yu)靶(ba)丸(wan)(wan)表(biao)面(mian)低(di)階的(de)(de)(de)輪(lun)(lun)廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)誤差的(de)(de)(de)測量(liang)。圖(tu)5(b)是靶(ba)丸(wan)(wan)外表(biao)面(mian)輪(lun)(lun)廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)原子(zi)(zi)力(li)顯(xian)微(wei)鏡輪(lun)(lun)廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)儀(yi)(yi)(yi)測量(liang)數(shu)據(ju)和白(bai)光(guang)(guang)共(gong)(gong)焦光(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)輪(lun)(lun)廓(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)(kuo)儀(yi)(yi)(yi)測量(liang)數(shu)據(ju)的(de)(de)(de)功率(lv)譜(pu)(pu)(pu)曲線，從(cong)圖(tu)中(zhong)可以看出，在(zai)(zai)模數(shu)低(di)于(yu)(yu)(yu)100的(de)(de)(de)功率(lv)譜(pu)(pu)(pu)范(fan)圍(wei)內，兩種方法的(de)(de)(de)測量(liang)結果一(yi)致(zhi)(zhi)性較好(hao)，當模數(shu)大于(yu)(yu)(yu)100時(shi)，白(bai)光(guang)(guang)共(gong)(gong)焦光(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)的(de)(de)(de)測量(liang)數(shu)據(ju)大于(yu)(yu)(yu)原子(zi)(zi)力(li)顯(xian)微(wei)鏡的(de)(de)(de)測量(liang)數(shu)據(ju)，這也反應了白(bai)光(guang)(guang)共(gong)(gong)焦光(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)儀(yi)(yi)(yi)在(zai)(zai)高頻段測量(liang)數(shu)據(ju)信(xin)噪比相(xiang)對較差的(de)(de)(de)特點。由于(yu)(yu)(yu)光(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)傳感器Z向分辨(bian)率(lv)比原子(zi)(zi)力(li)低(di)一(yi)個(ge)量(liang)級，同時(shi)，受環(huan)境(jing)振動、光(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)儀(yi)(yi)(yi)采(cai)樣率(lv)及樣品表(biao)面(mian)散(san)射光(guang)(guang)等因素的(de)(de)(de)影響，共(gong)(gong)焦光(guang)(guang)譜(pu)(pu)(pu)檢測數(shu)據(ju)高頻隨機噪聲可達100nm左右。

光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)位(wei)移(yi)(yi)(yi)傳感器(qi)基(ji)本原理如(ru)圖1所示(shi)，由光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)源、分光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)鏡(jing)、光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)學(xue)色散鏡(jing)頭組(zu)、小孔(kong)以及(ji)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)儀等部(bu)分組(zu)成(cheng)(cheng)。傳感器(qi)通過(guo)(guo)色散鏡(jing)頭進(jin)(jin)行(xing)(xing)(xing)色散，將(jiang)位(wei)移(yi)(yi)(yi)信(xin)息(xi)轉(zhuan)(zhuan)換(huan)成(cheng)(cheng)波(bo)長(chang)(chang)信(xin)息(xi)，使用(yong)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)儀進(jin)(jin)行(xing)(xing)(xing)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)分解得(de)出波(bo)長(chang)(chang)的(de)(de)(de)(de)變(bian)化信(xin)息(xi)，再(zai)反解得(de)出被測位(wei)移(yi)(yi)(yi)。其中色散鏡(jing)頭作為光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)學(xue)部(bu)分完成(cheng)(cheng)了(le)波(bo)長(chang)(chang)和(he)(he)位(wei)移(yi)(yi)(yi)的(de)(de)(de)(de)一(yi)一(yi)映射(she)(she)(she)，實(shi)(shi)現了(le)波(bo)長(chang)(chang)和(he)(he)位(wei)移(yi)(yi)(yi)之間的(de)(de)(de)(de)編碼(ma)轉(zhuan)(zhuan)化。光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)儀則實(shi)(shi)現波(bo)長(chang)(chang)的(de)(de)(de)(de)測量(liang)(liang)及(ji)位(wei)移(yi)(yi)(yi)反解輸出。當(dang)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)信(xin)息(xi)突破(po)小孔(kong)的(de)(de)(de)(de)限制，借(jie)助平面光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)柵、凹面反射(she)(she)(she)鏡(jing)進(jin)(jin)行(xing)(xing)(xing)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)線(xian)的(de)(de)(de)(de)衍射(she)(she)(she)和(he)(he)匯(hui)聚，將(jiang)反射(she)(she)(she)出來的(de)(de)(de)(de)匯(hui)聚光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)照射(she)(she)(she)在(zai)線(xian)陣CCD上進(jin)(jin)行(xing)(xing)(xing)光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)電轉(zhuan)(zhuan)換(huan)，借(jie)助光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)信(xin)號采集實(shi)(shi)現模數轉(zhuan)(zhuan)換(huan)， 通過(guo)(guo)解碼(ma)得(de)到位(wei)移(yi)(yi)(yi)信(xin)息(xi)。光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)(pu)共(gong)焦(jiao)位(wei)移(yi)(yi)(yi)傳感器(qi)可以實(shi)(shi)現對(dui)材料(liao)的(de)(de)(de)(de)變(bian)形(xing)過(guo)(guo)程(cheng)進(jin)(jin)行(xing)(xing)(xing)精確(que)測量(liang)(liang)，對(dui)于研究材料(liao)的(de)(de)(de)(de)變(bian)形(xing)行(xing)(xing)(xing)為具有重要意義(yi)。

光譜共(gong)(gong)焦(jiao)傳(chuan)感器(qi)可(ke)以(yi)提供結合(he)高(gao)精(jing)度(du)(du)和(he)高(gao)速的(de)新現(xian)代技(ji)術(shu)(shu)。這(zhe)些(xie)特性(xing)使這(zhe)些(xie)多功(gong)能距離(li)(li)和(he)位移傳(chuan)感器(qi)非(fei)(fei)常(chang)適(shi)合(he)工業 4.0 的(de)高(gao)要求(qiu)。在(zai)(zai)工業 4.0 的(de)世(shi)界中，傳(chuan)感器(qi)必須能夠進(jin)行高(gao)速測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)并(bing)提供高(gao)精(jing)度(du)(du)結果，以(yi)確保可(ke)靠(kao)的(de)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)保證。光學(xue)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)技(ji)術(shu)(shu)是(shi)非(fei)(fei)接觸式的(de)，于(yu)(yu)目標材(cai)料分開(kai)和(he)表(biao)面特性(xing)，因此(ci)它們對生產(chan)和(he)檢測(ce)(ce)過程變得越(yue)來(lai)越(yue)重要。這(zhe)是(shi)“實時(shi)”生產(chan)過程中的(de)一個主要優(you)勢，在(zai)(zai)這(zhe)種過程中，觸覺測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)技(ji)術(shu)(shu)正在(zai)(zai)發(fa)揮(hui)其極限(xian)，尤其是(shi)當目標位于(yu)(yu)難(nan)以(yi)接近的(de)區域時(shi)。光譜共(gong)(gong)焦(jiao)傳(chuan)感器(qi)提供突(tu)破性(xing)的(de)技(ji)術(shu)(shu)、高(gao)精(jing)度(du)(du)和(he)高(gao)速度(du)(du)。此(ci)外，共(gong)(gong)焦(jiao)色差(cha)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)技(ji)術(shu)(shu)允許進(jin)行距離(li)(li)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)、透明材(cai)料的(de)多層厚度(du)(du)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)、強度(du)(du)評估(gu)以(yi)及鉆孔和(he)凹(ao)槽內的(de)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)。測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)過程是(shi)無磨損的(de)、非(fei)(fei)接觸式的(de)，并(bing)且實際上與(yu)表(biao)面特性(xing)無關。由于(yu)(yu)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)光斑尺(chi)寸極小(xiao)，即使是(shi)非(fei)(fei)常(chang)小(xiao)的(de)物體也能被檢測(ce)(ce)到。因此(ci)，共(gong)(gong)焦(jiao)色度(du)(du)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)技(ji)術(shu)(shu)適(shi)用(yong)于(yu)(yu)在(zai)(zai)線質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)控制(zhi)。連(lian)續光譜位置(zhi)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)方(fang)法可(ke)以(yi)實現(xian)光譜的(de)位置(zhi)測(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)。浙江光譜共(gong)(gong)焦(jiao)常(chang)用(yong)解決方(fang)案

光譜共(gong)焦技(ji)術(shu)的(de)應(ying)用將有(you)助(zhu)于推(tui)動中國科(ke)技(ji)創新(xin)的(de)發展。徐州(zhou)光譜共(gong)焦詳情

光譜(pu)共焦(jiao)技(ji)術將軸向距離與波(bo)長建立(li)起(qi)一(yi)套(tao)編碼規則，是一(yi)種(zhong)高(gao)精(jing)度、非接觸的(de)光學測(ce)(ce)量(liang)(liang)技(ji)術。基于(yu)光譜(pu)共焦(jiao)技(ji)術的(de)傳感(gan)器(qi)作為一(yi)種(zhong)亞微米級(ji)、快速精(jing)確測(ce)(ce)量(liang)(liang)的(de)傳感(gan)器(qi)，已(yi)經被大量(liang)(liang)應(ying)(ying)用于(yu)表面微觀形狀、厚度測(ce)(ce)量(liang)(liang)、位(wei)移測(ce)(ce)量(liang)(liang)、在(zai)線監(jian)控(kong)及過程控(kong)制等工業測(ce)(ce)量(liang)(liang)領域(yu)。展(zhan)(zhan)望其(qi)未來，隨(sui)著光譜(pu)共焦(jiao)傳感(gan)技(ji)術的(de)發展(zhan)(zhan)，必(bi)將在(zai)微電子、線寬測(ce)(ce)量(liang)(liang)、納米測(ce)(ce)試(shi)、超精(jing)密(mi)幾何(he)量(liang)(liang)計量(liang)(liang)測(ce)(ce)試(shi)等領域(yu)得到更多(duo)的(de)應(ying)(ying)用。光譜(pu)共焦(jiao)技(ji)術是在(zai)共焦(jiao)顯微術基礎上(shang)發展(zhan)(zhan)而(er)來，其(qi)無需軸向掃描，直接由波(bo)長對應(ying)(ying)軸向距離信息，從而(er)大幅提(ti)高(gao)測(ce)(ce)量(liang)(liang)速度。徐州光譜(pu)共焦(jiao)詳(xiang)情

本文來自四川(chuan)精碳(tan)偉業環保科(ke)技有限責任公司：//wasul.cn/Article/5c2699968.html