集成(cheng)于2D掃描系統上，光譜共(gong)焦(jiao)位(wei)移傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)可以(yi)(yi)(yi)提供針對負(fu)載表面(mian)形貌的(de)(de)2D和(he)(he)高(gao)度測量(liang)數據。創(chuang)新(xin)的(de)(de)光譜共(gong)焦(jiao)原(yuan)理(li)使本傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)可以(yi)(yi)(yi)直接(jie)透過(guo)透明件(jian)工件(jian)的(de)(de)前后表面(mian)測量(liang)厚度，整個過(guo)程需要(yao)使用(yong)一個傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)從工件(jian)的(de)(de)一個側面(mian)測量(liang)。相對于三角反(fan)射原(yuan)理(li)的(de)(de)激(ji)光位(wei)移傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)，本儀器(qi)因采用(yong)同(tong)(tong)軸光，從而可以(yi)(yi)(yi)更有(you)效地測量(liang)弧(hu)工件(jian)的(de)(de)厚度。高(gao)采樣頻率，小(xiao)尺寸體積和(he)(he)卡放的(de)(de)數據接(jie)口，使本儀器(qi)非常容(rong)易集成(cheng)至在線生產和(he)(he)檢測設備中(zhong)，實現(xian)線上檢測。由于采用(yong)超高(gao)的(de)(de)采樣頻率和(he)(he)超高(gao)精度,光譜共(gong)焦(jiao)傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)可以(yi)(yi)(yi)對震(zhen)動(dong)(dong)物(wu)件(jian)進(jin)行(xing)測量(liang),傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)采用(yong)的(de)(de)非接(jie)觸(chu)設計，避免測量(liang)過(guo)程中(zhong)對震(zhen)動(dong)(dong)物(wu)件(jian)造成(cheng)干擾，同(tong)(tong)時可以(yi)(yi)(yi)對復雜區域進(jin)行(xing)詳細的(de)(de)測量(liang)和(he)(he)分析(xi)。光譜共(gong)焦(jiao)技(ji)術的(de)(de)研(yan)究(jiu)和(he)(he)應用(yong)將推動(dong)(dong)科(ke)學技(ji)術的(de)(de)進(jin)步(bu)。徐匯區光譜共(gong)焦(jiao)詳情

非(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)球(qiu)(qiu)(qiu)(qiu)(qiu)面(mian)中(zhong)(zhong)心(xin)偏(pian)(pian)差的(de)測量(liang)(liang)手段(duan)主(zhu)要包括接觸(chu)式(百分(fen)表)和非(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)接觸(chu)式(光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)學(xue)傳感器(qi))。文章基于自(zi)準直定心(xin)原(yuan)理和光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)共焦位(wei)移(yi)傳感技術，對高階非(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)球(qiu)(qiu)(qiu)(qiu)(qiu)面(mian)的(de)中(zhong)(zhong)心(xin)偏(pian)(pian)差進(jin)行了(le)非(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)接觸(chu)精密測量(liang)(liang)。光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)學(xue)加工人(ren)員根(gen)據測量(liang)(liang)出的(de)校正量(liang)(liang)和位(wei)置(zhi)方(fang)(fang)向(xiang)對球(qiu)(qiu)(qiu)(qiu)(qiu)面(mian)進(jin)行拋光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)，使非(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)球(qiu)(qiu)(qiu)(qiu)(qiu)面(mian)透鏡(jing)的(de)中(zhong)(zhong)心(xin)偏(pian)(pian)差滿足光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)學(xue)系統(tong)設(she)計的(de)要求。由(you)于非(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)球(qiu)(qiu)(qiu)(qiu)(qiu)面(mian)已加工到一定精度要求，因此對球(qiu)(qiu)(qiu)(qiu)(qiu)面(mian)的(de)拋光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)和磨削是糾正非(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)球(qiu)(qiu)(qiu)(qiu)(qiu)面(mian)透鏡(jing)中(zhong)(zhong)心(xin)偏(pian)(pian)差的(de)主(zhu)要方(fang)(fang)法(fa)。利用(yong)軸對稱高階非(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)(fei)球(qiu)(qiu)(qiu)(qiu)(qiu)面(mian)曲(qu)線的(de)數學(xue)模型計算被測環D帶(dai)的(de)旋轉角度θ，即光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)共焦位(wei)移(yi)傳感器(qi)的(de)工作(zuo)角。昌(chang)平區光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)共焦生產廠家哪(na)家好光(guang)(guang)(guang)(guang)(guang)譜(pu)共焦技術在航(hang)空航(hang)天(tian)領域可以用(yong)于航(hang)空發動機(ji)和航(hang)天(tian)器(qi)部件的(de)精度檢測。

光(guang)譜(pu)共焦位(wei)移傳(chuan)感(gan)器(qi)基本原(yuan)理如圖(tu)1所示，由光(guang)源、分(fen)(fen)光(guang)鏡(jing)(jing)、光(guang)學(xue)色散(san)鏡(jing)(jing)頭組、小孔以及(ji)(ji)光(guang)譜(pu)儀(yi)等部分(fen)(fen)組成。傳(chuan)感(gan)器(qi)通(tong)過色散(san)鏡(jing)(jing)頭進行色散(san)，將位(wei)移信(xin)息轉(zhuan)換成波(bo)(bo)長信(xin)息，使用光(guang)譜(pu)儀(yi)進行光(guang)譜(pu)分(fen)(fen)解得出(chu)(chu)波(bo)(bo)長的(de)(de)變化信(xin)息，再反(fan)解得出(chu)(chu)被測位(wei)移。其(qi)中色散(san)鏡(jing)(jing)頭作(zuo)為光(guang)學(xue)部分(fen)(fen)完成了(le)波(bo)(bo)長和(he)位(wei)移的(de)(de)一一映射(she)(she)，實現了(le)波(bo)(bo)長和(he)位(wei)移之(zhi)間的(de)(de)編碼轉(zhuan)化。光(guang)譜(pu)儀(yi)則(ze)實現波(bo)(bo)長的(de)(de)測量及(ji)(ji)位(wei)移反(fan)解輸出(chu)(chu)。當光(guang)譜(pu)信(xin)息突破小孔的(de)(de)限制，借助平面光(guang)柵、凹面反(fan)射(she)(she)鏡(jing)(jing)進行光(guang)線(xian)的(de)(de)衍射(she)(she)和(he)匯聚(ju)，將反(fan)射(she)(she)出(chu)(chu)來的(de)(de)匯聚(ju)光(guang)照射(she)(she)在線(xian)陣CCD上進行光(guang)電轉(zhuan)換，借助光(guang)譜(pu)信(xin)號采集實現模數轉(zhuan)換， 通(tong)過解碼得到位(wei)移信(xin)息。

為了(le)(le)提(ti)高加(jia)工檢測(ce)(ce)效率，實(shi)現(xian)尺(chi)寸形位(wei)公差與微(wei)觀輪廓(kuo)的(de)同平臺(tai)(tai)測(ce)(ce)量，提(ti)出一種基于光譜共(gong)焦(jiao)位(wei)移傳感器在現(xian)場坐標(biao)測(ce)(ce)量平臺(tai)(tai)上集成(cheng)表(biao)面(mian)粗(cu)糙(cao)度(du)(du)測(ce)(ce)量的(de)方法(fa)。搭(da)建實(shi)驗(yan)測(ce)(ce)量系(xi)統且在Lab VIEW平臺(tai)(tai)上開發系(xi)統的(de)硬件通訊控制模塊，并配套(tao)了(le)(le)高斯輪廓(kuo)濾波(bo)處理及(ji)表(biao)面(mian)粗(cu)糙(cao)度(du)(du)的(de)評價環境，建立了(le)(le)非(fei)接觸(chu)的(de)表(biao)面(mian)粗(cu)糙(cao)度(du)(du)測(ce)(ce)量能力。對標(biao)準(zhun)臺(tai)(tai)階(jie)、表(biao)面(mian)粗(cu)糙(cao)度(du)(du)標(biao)準(zhun)樣塊和曲面(mian)輪廓(kuo)樣品進行了(le)(le)測(ce)(ce)量，實(shi)驗(yan)結果表(biao)明(ming):該測(ce)(ce)量系(xi)統具(ju)(ju)有(you)(you)較高的(de)測(ce)(ce)量精(jing)度(du)(du)和重(zhong)復性(xing)，粗(cu)糙(cao)度(du)(du)參數Ｒa的(de)測(ce)(ce)量重(zhong)復性(xing)為0.0026μm，在優化零件檢測(ce)(ce)流(liu)程(cheng)和提(ti)高整體檢測(ce)(ce)效率等方面(mian)具(ju)(ju)有(you)(you)一定(ding)的(de)應用前景。光譜共(gong)焦(jiao)技術(shu)具(ju)(ju)有(you)(you)軸(zhou)向按層分(fen)析功能，精(jing)度(du)(du)可以(yi)達到納米級別。

硅(gui)(gui)片(pian)柵線(xian)(xian)的(de)(de)(de)(de)厚(hou)度(du)(du)(du)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)方法(fa)我(wo)們(men)(men)還用創視智能(neng)TS-C系(xi)列(lie)(lie)光(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)焦傳感器和CCS控(kong)制器，TS-C系(xi)列(lie)(lie)光(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)焦位移(yi)傳感器能(neng)夠實現0.025 μm的(de)(de)(de)(de)重復精度(du)(du)(du)，±0.02% of F.S.的(de)(de)(de)(de)線(xian)(xian)性精度(du)(du)(du)，10kHz的(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)速度(du)(du)(du)，以及±60°的(de)(de)(de)(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)角度(du)(du)(du)，能(neng)夠適應鏡面(mian)、透明、半透明、膜層、金屬粗(cu)糙面(mian)、多層玻(bo)璃等材料表面(mian)，支持(chi)485、USB、以太網、模擬量(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)數據傳輸接(jie)口。。我(wo)們(men)(men)主(zhu)要測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)太陽能(neng)光(guang)伏板硅(gui)(gui)片(pian)刪(shan)線(xian)(xian)的(de)(de)(de)(de)厚(hou)度(du)(du)(du)，所以我(wo)們(men)(men)這次用單(dan)探頭在(zai)二維運動(dong)平(ping)臺上進行(xing)掃(sao)(sao)描(miao)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)。柵線(xian)(xian)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)方法(fa)：首先我(wo)們(men)(men)將需(xu)要掃(sao)(sao)描(miao)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)硅(gui)(gui)片(pian)選擇(ze)三個區域進行(xing)標(biao)記(ji)如(ru)圖(tu)1，用光(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)焦C1200單(dan)探頭單(dan)側測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)，柵線(xian)(xian)厚(hou)度(du)(du)(du)是柵線(xian)(xian)高度(du)(du)(du)-基(ji)底的(de)(de)(de)(de)高度(du)(du)(du)差。二維運動(dong)平(ping)臺掃(sao)(sao)描(miao)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)（由于(yu)柵線(xian)(xian)不是一(yi)個平(ping)整(zheng)面(mian)，自身(shen)有一(yi)定的(de)(de)(de)(de)曲率，對(dui)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)區域的(de)(de)(de)(de)選擇(ze)隨機性影(ying)響較大）光(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)焦技術具有很大的(de)(de)(de)(de)市場潛力。崇明區光(guang)譜(pu)(pu)(pu)共(gong)焦供應

光(guang)譜共(gong)焦位移傳感器可以實現對材(cai)(cai)料的微小變形進(jin)行(xing)精確(que)測量，對于研究材(cai)(cai)料的性能具有重要意義(yi)。徐匯區(qu)光(guang)譜共(gong)焦詳(xiang)情

光(guang)(guang)譜共焦(jiao)技(ji)術(shu)是(shi)在(zai)共焦(jiao)顯微(wei)術(shu)基(ji)礎上發展(zhan)而來(lai)(lai)，其無需軸向掃描(miao)，直接(jie)由(you)波長對應(ying)軸向距離信息，從而大幅提(ti)高(gao)測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)速度(du)。而基(ji)于光(guang)(guang)譜共焦(jiao)技(ji)術(shu)的(de)(de)傳感器是(shi)近年來(lai)(lai)出現的(de)(de)一種高(gao)精(jing)度(du)、非(fei)接(jie)觸式的(de)(de)新型傳感器，精(jing)度(du)理論(lun)上可達(da) nm 量(liang)(liang)(liang)級(ji)。由(you)于光(guang)(guang)譜共焦(jiao)傳感器對被測(ce)(ce)(ce)(ce)表(biao)面狀況要求低，允許被測(ce)(ce)(ce)(ce)表(biao)面有(you)更大的(de)(de)傾斜角，測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)速度(du)快(kuai)，實時性高(gao)，迅速成為(wei)工業測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)的(de)(de)熱門傳感器，大量(liang)(liang)(liang)應(ying)用(yong)于精(jing)密定位、薄膜厚度(du)測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)、微(wei)觀輪(lun)廓精(jing)密測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)等領域。本文在(zai)論(lun)述光(guang)(guang)譜共焦(jiao)技(ji)術(shu)原理的(de)(de)基(ji)礎上，列舉了光(guang)(guang)譜共焦(jiao)傳感器在(zai)幾何量(liang)(liang)(liang)計量(liang)(liang)(liang)測(ce)(ce)(ce)(ce)試(shi)中(zhong)的(de)(de)典型應(ying)用(yong)，探討共焦(jiao)技(ji)術(shu)在(zai)未(wei)來(lai)(lai)精(jing)密測(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)的(de)(de)進一步應(ying)用(yong)，展(zhan)望其發展(zhan)前景。徐匯區光(guang)(guang)譜共焦(jiao)詳情

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