激(ji)光(guang)(guang)(guang)位(wei)(wei)移(yi)傳感(gan)器(qi)(qi)在工業生產中具有重(zhong)要(yao)的(de)(de)作用(yong)(yong)，其(qi)應(ying)用(yong)(yong)主要(yao)是用(yong)(yong)于(yu)非標的(de)(de)檢測(ce)(ce)設備中。國內所使(shi)用(yong)(yong)的(de)(de)激(ji)光(guang)(guang)(guang)非接(jie)觸測(ce)(ce)量儀(yi)器(qi)(qi)幾乎主要(yao)依(yi)靠國外進口。因此，激(ji)光(guang)(guang)(guang)位(wei)(wei)移(yi)傳感(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)研究和(he)生產具有非常重(zhong)要(yao)的(de)(de)意義，可(ke)以(yi)(yi)提高(gao)國內工業生產的(de)(de)自主創新能(neng)力和(he)技(ji)術水平。激(ji)光(guang)(guang)(guang)位(wei)(wei)移(yi)傳感(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)系統特點及研究意義也非常重(zhong)要(yao)，其(qi)測(ce)(ce)量原理是利用(yong)(yong)激(ji)光(guang)(guang)(guang)單色和(he)準直(zhi)(zhi)特性將垂直(zhi)(zhi)入射測(ce)(ce)距面(mian)上(shang)的(de)(de)激(ji)光(guang)(guang)(guang)點通(tong)過光(guang)(guang)(guang)學系統將其(qi)縮小的(de)(de)實像成像在接(jie)收光(guang)(guang)(guang)敏(min)面(mian)上(shang)。通(tong)過計(ji)算光(guang)(guang)(guang)斑(ban)實際的(de)(de)位(wei)(wei)移(yi)大小，就(jiu)可(ke)以(yi)(yi)實現對物件位(wei)(wei)移(yi)量的(de)(de)測(ce)(ce)量。激(ji)光(guang)(guang)(guang)位(wei)(wei)移(yi)傳感(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)研究成果可(ke)以(yi)(yi)應(ying)用(yong)(yong)于(yu)其(qi)他測(ce)(ce)量儀(yi)器(qi)(qi)的(de)(de)研發(fa)。鷹潭位(wei)(wei)移(yi)傳感(gan)器(qi)(qi)常用(yong)(yong)解決方(fang)案

激(ji)光(guang)位(wei)(wei)(wei)移傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)測量(liang)原理：激(ji)光(guang)發射(she)(she)器(qi)(qi)發出一(yi)束平行(xing)光(guang)，經(jing)會聚透鏡聚焦在(zai)被測物(wu)體表面，產生漫(man)反射(she)(she)光(guang)線(xian)，部分光(guang)線(xian)通過接(jie)收透鏡成像(xiang)(xiang)在(zai)CCD光(guang)敏面上(shang)(shang)。當被測物(wu)體沿(yan)著光(guang)束的(de)(de)(de)(de)入(ru)射(she)(she)方向(xiang)移動時(shi)，物(wu)體表面的(de)(de)(de)(de)散射(she)(she)光(guang)斑(ban)相(xiang)對于成像(xiang)(xiang)物(wu)鏡的(de)(de)(de)(de)位(wei)(wei)(wei)置(zhi)發生了(le)改變(bian)，相(xiang)應地在(zai)光(guang)敏器(qi)(qi)件(jian)上(shang)(shang)的(de)(de)(de)(de)像(xiang)(xiang)點(dian)位(wei)(wei)(wei)置(zhi)也發生了(le)變(bian)化(hua)。精確地測量(liang)像(xiang)(xiang)點(dian)在(zai)線(xian)陣CCD光(guang)敏面上(shang)(shang)的(de)(de)(de)(de)位(wei)(wei)(wei)移，就可(ke)以得到被測物(wu)體的(de)(de)(de)(de)位(wei)(wei)(wei)移變(bian)化(hua)量(liang)。由于測量(liang)時(shi)激(ji)光(guang)的(de)(de)(de)(de)入(ru)射(she)(she)光(guang)束和反射(she)(she)光(guang)束構(gou)成了(le)一(yi)個(ge)三角形，故該方法(fa)稱為激(ji)光(guang)三角法(fa)。威海小型位(wei)(wei)(wei)移傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)激(ji)光(guang)位(wei)(wei)(wei)移傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)(de)(de)技(ji)術發展(zhan)對于推動光(guang)學科學的(de)(de)(de)(de)發展(zhan)具有(you)重要的(de)(de)(de)(de)意義。

激光三(san)角(jiao)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)是(shi)一(yi)種成(cheng)熟的(de)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)方法(fa)(fa),具有(you)原理(li)簡單,測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)精度(du)(du)(du)(du)高(gao)以(yi)及(ji)抗干擾(rao)能力(li)強等優(you)點。目前(qian),國外多家公(gong)司都有(you)這個(ge)領域(yu)的(de)產(chan)品(pin)系列。激光位(wei)(wei)(wei)移傳(chuan)感(gan)器有(you)多種型號,適(shi)用(yong)(yong)于(yu)不(bu)同的(de)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)距離(li)范圍,測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)精度(du)(du)(du)(du)處較高(gao)水(shui)平(ping),但價(jia)格也普遍偏高(gao)。近(jin)年來,國內各大(da)院校和研(yan)究機(ji)構在激光三(san)角(jiao)測(ce)(ce)(ce)距傳(chuan)感(gan)器的(de)設(she)計和應用(yong)(yong)上取得了(le)一(yi)定研(yan)究成(cheng)果(guo),也有(you)少數企業(ye)推出了(le)自主研(yan)發的(de)產(chan)品(pin)。隨著工業(ye)水(shui)平(ping)的(de)提(ti)升,以(yi)及(ji)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)需求的(de)多樣化(hua),有(you)必要(yao)自主設(she)計適(shi)用(yong)(yong)于(yu)特定測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)條件下的(de)高(gao)精度(du)(du)(du)(du)激光位(wei)(wei)(wei)移傳(chuan)感(gan)器。針對(dui)現有(you)項目,需要(yao)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)出環(huan)規的(de)直徑,要(yao)求傳(chuan)感(gan)器工作距離(li)不(bu)小于(yu)50mm,測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)精度(du)(du)(du)(du)優(you)于(yu)10μm,并(bing)且被測(ce)(ce)(ce)面為漫反(fan)射較弱的(de)光滑表(biao)(biao)面,其表(biao)(biao)面粗糙度(du)(du)(du)(du)Ra小于(yu)μm。本文(wen)分析了(le)工作距離(li)不(bu)小于(yu)50mm時(shi)利(li)用(yong)(yong)激光三(san)角(jiao)法(fa)(fa)測(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)光滑表(biao)(biao)面位(wei)(wei)(wei)移的(de)精度(du)(du)(du)(du)提(ti)高(gao)問題,對(dui)傳(chuan)感(gan)器結構參數進(jin)行優(you)化(hua)設(she)計,并(bing)搭建了(le)一(yi)套基于(yu)線陣CCD的(de)激光三(san)角(jiao)測(ce)(ce)(ce)距裝置進(jin)行實(shi)驗驗證。

激光(guang)(guang)(guang)(guang)位(wei)移(yi)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)分(fen)(fen)(fen)辨(bian)(bian)率(lv)是指它能(neng)夠測量(liang)(liang)(liang)到的(de)(de)(de)(de)(de)(de)小(xiao)位(wei)移(yi)量(liang)(liang)(liang)，通常(chang)用(yong)(yong)微(wei)米或納米表示。分(fen)(fen)(fen)辨(bian)(bian)率(lv)是激光(guang)(guang)(guang)(guang)位(wei)移(yi)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)性能(neng)指標之一，決定(ding)(ding)了其測量(liang)(liang)(liang)精(jing)(jing)度(du)(du)和(he)可(ke)(ke)靠性。分(fen)(fen)(fen)辨(bian)(bian)率(lv)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)測試方法一般(ban)為將被(bei)測物體移(yi)動一個已知的(de)(de)(de)(de)(de)(de)小(xiao)位(wei)移(yi)，然后測量(liang)(liang)(liang)激光(guang)(guang)(guang)(guang)位(wei)移(yi)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)輸(shu)出的(de)(de)(de)(de)(de)(de)信號(hao)變化量(liang)(liang)(liang)，即(ji)為分(fen)(fen)(fen)辨(bian)(bian)率(lv)。在(zai)測試分(fen)(fen)(fen)辨(bian)(bian)率(lv)時，需要注(zhu)意(yi)被(bei)測物體的(de)(de)(de)(de)(de)(de)表面(mian)狀態和(he)光(guang)(guang)(guang)(guang)斑的(de)(de)(de)(de)(de)(de)大(da)(da)小(xiao)等(deng)因素，以保證(zheng)測試結果(guo)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)準確性。為了優化激光(guang)(guang)(guang)(guang)位(wei)移(yi)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)分(fen)(fen)(fen)辨(bian)(bian)率(lv)，可(ke)(ke)以采(cai)用(yong)(yong)一些方法進行(xing)優化。首先，可(ke)(ke)以優化光(guang)(guang)(guang)(guang)學(xue)系(xi)(xi)統設(she)計，提高(gao)光(guang)(guang)(guang)(guang)斑的(de)(de)(de)(de)(de)(de)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)和(he)穩定(ding)(ding)性，以減小(xiao)光(guang)(guang)(guang)(guang)斑大(da)(da)小(xiao)和(he)形變對分(fen)(fen)(fen)辨(bian)(bian)率(lv)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)影響(xiang)。其次，可(ke)(ke)以采(cai)用(yong)(yong)更(geng)高(gao)精(jing)(jing)度(du)(du)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)信號(hao)處理電路(lu)和(he)算法，以提高(gao)測量(liang)(liang)(liang)信號(hao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)精(jing)(jing)度(du)(du)和(he)穩定(ding)(ding)性。還可(ke)(ke)以對光(guang)(guang)(guang)(guang)學(xue)系(xi)(xi)統進行(xing)精(jing)(jing)細(xi)調整，以消(xiao)除光(guang)(guang)(guang)(guang)學(xue)系(xi)(xi)統中的(de)(de)(de)(de)(de)(de)誤差和(he)偏差，從而提高(gao)激光(guang)(guang)(guang)(guang)位(wei)移(yi)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)分(fen)(fen)(fen)辨(bian)(bian)率(lv)。此外(wai)，還可(ke)(ke)以針對具體應用(yong)(yong)場景(jing)，選擇適當的(de)(de)(de)(de)(de)(de)激光(guang)(guang)(guang)(guang)位(wei)移(yi)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)型號(hao)和(he)參數，以滿足不同(tong)精(jing)(jing)度(du)(du)要求(qiu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)測量(liang)(liang)(liang)需求(qiu)。激光(guang)(guang)(guang)(guang)位(wei)移(yi)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)在(zai)測量(liang)(liang)(liang)精(jing)(jing)度(du)(du)、測量(liang)(liang)(liang)范(fan)圍、測量(liang)(liang)(liang)速度(du)(du)等(deng)方面(mian)還有很大(da)(da)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)發展空(kong)間。

激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)位(wei)(wei)(wei)(wei)移(yi)(yi)(yi)(yi)傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)在(zai)鋰電(dian)(dian)極(ji)片測(ce)(ce)(ce)厚(hou)行業應(ying)用(yong)。其采用(yong)的激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)光(guang)(guang)點(dian)呈橢圓形，長(chang)軸直徑(jing)遠(yuan)大于(yu)正(zheng)(zheng)負極(ji)材料顆(ke)(ke)粒(li)，在(zai)測(ce)(ce)(ce)量(liang)時(shi)能起到厚(hou)度平均的作用(yong)，不會因為(wei)極(ji)片表面(mian)的顆(ke)(ke)粒(li)太大導致(zhi)測(ce)(ce)(ce)量(liang)過程(cheng)中出現極(ji)小范圍內的波峰和波谷(gu)。因此，采用(yong)該激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)位(wei)(wei)(wei)(wei)移(yi)(yi)(yi)(yi)傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)做(zuo)測(ce)(ce)(ce)厚(hou)儀用(yong)于(yu)測(ce)(ce)(ce)量(liang)鋰電(dian)(dian)池正(zheng)(zheng)負極(ji)極(ji)片厚(hou)度是合適的。 激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)位(wei)(wei)(wei)(wei)移(yi)(yi)(yi)(yi)傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)具有非接觸式的測(ce)(ce)(ce)量(liang)特點(dian)，可以(yi)實現在(zai)線測(ce)(ce)(ce)量(liang)位(wei)(wei)(wei)(wei)移(yi)(yi)(yi)(yi)、三(san)維尺寸、厚(hou)度、表面(mian)輪廓、物體形變、振動、液(ye)位(wei)(wei)(wei)(wei)等多(duo)種測(ce)(ce)(ce)量(liang)功能。在(zai)鋰電(dian)(dian)極(ji)片測(ce)(ce)(ce)厚(hou)行業中，激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)位(wei)(wei)(wei)(wei)移(yi)(yi)(yi)(yi)傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)可以(yi)快速、準確地(di)測(ce)(ce)(ce)量(liang)電(dian)(dian)極(ji)片的厚(hou)度，提高生(sheng)產(chan)效率和產(chan)品質量(liang)。激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)技術(shu)的發展推動了激(ji)(ji)(ji)光(guang)(guang)位(wei)(wei)(wei)(wei)移(yi)(yi)(yi)(yi)傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)的研(yan)究和應(ying)用(yong)。浦東新(xin)區位(wei)(wei)(wei)(wei)移(yi)(yi)(yi)(yi)傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)源頭(tou)直供廠家(jia)

激光位移傳(chuan)感器(qi)具有抗干擾能力強和非接(jie)觸式的測量特(te)點。鷹(ying)潭位移傳(chuan)感器(qi)常(chang)用解決(jue)方案

壓縮機在(zai)承受載(zai)荷時(shi)會發生微小(xiao)變(bian)形，變(bian)形的(de)大小(xiao)將直(zhi)接(jie)影響零部件之間的(de)裝配以(yi)及余隙容積等，因此準確測(ce)(ce)(ce)(ce)試結(jie)構(gou)的(de)變(bian)形對(dui)結(jie)構(gou)設計驗證至關重要。測(ce)(ce)(ce)(ce)試與(yu)分(fen)析結(jie)構(gou)微變(bian)形的(de)方(fang)法(fa)有(you)(you)很多種[1-8]，傳統(tong)常(chang)用的(de)是(shi)(shi)(shi)千(qian)分(fen)表(biao)（如(ru)圖1所示）測(ce)(ce)(ce)(ce)試，通(tong)(tong)過(guo)機械探(tan)針接(jie)觸(chu)被測(ce)(ce)(ce)(ce)物體(ti)表(biao)面(mian)(mian)，讀取表(biao)盤的(de)指針獲得結(jie)構(gou)的(de)變(bian)形量，該(gai)方(fang)法(fa)的(de)精度可以(yi)達(da)到(dao)1um，但是(shi)(shi)(shi)千(qian)分(fen)表(biao)在(zai)使用過(guo)程(cheng)中存(cun)在(zai)一些(xie)缺陷：首先，探(tan)針必須與(yu)被測(ce)(ce)(ce)(ce)物體(ti)接(jie)觸(chu)，而對(dui)某些(xie)復(fu)雜(za)結(jie)構(gou)的(de)待測(ce)(ce)(ce)(ce)表(biao)面(mian)(mian)，不太容易將探(tan)針伸進去；其次，千(qian)分(fen)表(biao)是(shi)(shi)(shi)靠人工讀數(shu)(shu)，當結(jie)構(gou)變(bian)形比較快(kuai)(kuai)時(shi)（如(ru)振(zhen)動），人工讀數(shu)(shu)是(shi)(shi)(shi)很難實(shi)現(xian)的(de)。因此，在(zai)這樣(yang)的(de)背景下，需要開發新的(de)測(ce)(ce)(ce)(ce)試方(fang)法(fa)來解(jie)決(jue)這些(xie)問題。本(ben)文應用激光三角(jiao)位(wei)移(yi)傳感(gan)器(qi)（如(ru)圖2所示）一套位(wei)移(yi)測(ce)(ce)(ce)(ce)試系(xi)(xi)(xi)統(tong)，該(gai)系(xi)(xi)(xi)統(tong)很好(hao)地解(jie)決(jue)了千(qian)分(fen)表(biao)存(cun)在(zai)的(de)缺陷，實(shi)現(xian)了非接(jie)觸(chu)式快(kuai)(kuai)速測(ce)(ce)(ce)(ce)試，同(tong)時(shi)通(tong)(tong)過(guo)數(shu)(shu)據(ju)采集卡和軟件系(xi)(xi)(xi)統(tong)可以(yi)快(kuai)(kuai)速記錄(lu)測(ce)(ce)(ce)(ce)試數(shu)(shu)據(ju)，并(bing)且在(zai)軟件里面(mian)(mian)快(kuai)(kuai)速進行數(shu)(shu)據(ju)處理(li)，提取有(you)(you)價值的(de)信息。鷹潭位(wei)移(yi)傳感(gan)器(qi)常(chang)用解(jie)決(jue)方(fang)案

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